CN208776832U - 传送装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种传送装置，用于玻璃基板的传送，包括基座，以及设置在所述基座上用于固定玻璃板的若干个夹钳，所述夹钳与所述基座之间设置有绝缘保护装置。通过绝缘保护装置，在基座和夹钳之间设置有一个保护装置，当镀膜过程中，可以防止膜层镀在两者之间，形成导电连接，防止异常放电，提高镀膜质量。

Description

传送装置

技术领域

本实用新型涉及一种机械设备，特备是一种传送装置。

背景技术

PVD镀膜机中，传送装置是一个很重要的部件，其主要作用是将玻璃板传送至指定位置，方便工艺操作，其传送的稳定性，对镀膜均一性有着重要的影响。因为传送装置裸露在腔室环境中，所以镀膜过程中，传送装置表面也会被镀上一层膜。

发明内容

本申请提供了一种传送装置，用于玻璃基板的传送，包括基座，以及设置在所述基座上用于固定玻璃板的若干个夹钳，所述夹钳与所述基座之间设置有绝缘保护装置。

在一种实施方式中，所述绝缘保护装置为锡纸。

在另外一种实施正式中，所述锡纸通过粘接的形式与夹钳与所述基座之间固定。

同时还可以以下述方式实现，所述锡纸通过螺钉的形式与夹钳与所述基座之间固定。

通过绝缘保护装置，在基座和夹钳之间设置有一个保护装置，当镀膜过程中，可以防止膜层镀在两者之间，形成导电连接，防止异常放电，提高镀膜质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型的一个实施例示意图

1、基座；2、夹钳；3、绝缘保护装置

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在以下的详细描述中，可以参看作为本申请一部分用来说明本申请的特定实施例的各个说明书附图。在附图中，相似的附图标记在不同图式中描述大体上类似的组件。本申请的各个特定实施例在以下进行了足够详细的描述，使得具备本领域相关知识和技术的普通技术人员能够实施本申请的技术方案。应当理解，还可以利用其它实施例或者对本申请的实施例进行结构、逻辑或者电性的改变。

在本申请的一个实施例中传送装置，用于玻璃基板的传送，包括基座1，以及设置在所述基座上用于固定玻璃板的若干个夹钳2，所述夹钳与所述基座之间设置有绝缘保护装置3。

与现有技术中最主要的区别就在于，相比于裸露的夹钳与基座之间，设置一个用于遮盖的绝缘保护装置，由于镀膜过程中会将夹钳与基座之间的位置遮挡住，此时多余膜层就会覆盖在绝缘保护装置上，当镀膜过厚时会产生异常放电，此时将绝缘保护装置更换即可，不用将工件取出清洗，大大提高工作效率，同时也提高了镀膜的均一性。

在一种实施方式中，所述绝缘保护装置为锡纸，此处亦或替换为铝箔。

在另外一种实施正式中，所述锡纸通过粘接的形式与夹钳与所述基座之间固定。

同时还可以以下述方式实现，所述锡纸通过螺钉的形式与夹钳与所述基座之间固定。相比于粘接的固定此种方式更容易更换绝缘保护装置。

上述实施例仅供说明本发明之用，而并非是对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此，所有等同的技术方案也应属于本发明公开的范畴。

Claims (4)

1.一种传送装置，用于玻璃基板的传送，其特征在于，包括基座，以及设置在所述基座上用于固定玻璃板的若干个夹钳，所述夹钳与所述基座之间设置有绝缘保护装置。

2.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述绝缘保护装置为锡纸。

3.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述锡纸通过粘接的形式与夹钳与所述基座之间固定。

4.根据权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述锡纸通过螺钉的形式与夹钳与所述基座之间固定。