CN208737221U - 一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机 - Google Patents
一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208737221U CN208737221U CN201821681841.3U CN201821681841U CN208737221U CN 208737221 U CN208737221 U CN 208737221U CN 201821681841 U CN201821681841 U CN 201821681841U CN 208737221 U CN208737221 U CN 208737221U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support plate
- fixedly connected
- connecting tube
- sapphire substrate
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，包括工作台，所述工作台的顶侧中央固定连接有连接管，连接管的顶端固定连接有支撑盘，支撑盘的顶侧开设有凹槽，且连接管的顶端和凹槽相连通，支撑盘的外壁阵列焊接有四个支撑板，支撑板的顶侧开设有腰型通口，腰型通口内滑动安装有L形连接杆，支撑盘的底侧四周阵列焊接有四个固定座，四个所述L形连接杆的水平段的一端分别滑动贯穿四个固定座延伸至外部固定连接有连接块。本实用新型中，通过支撑板、腰型通口、L形连接杆、固定座、连接块、第一弹簧、螺杆、限位杆、连接盘和转杆的设计，可以方便将基板的中心和支撑盘的中心对准，确保光刻的位置准确。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机。
背景技术
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻的意思是用光来制作一个图形，光刻的过程为先在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
目前，在图案化蓝宝石基板的生产过程中，需要通过光刻机来完成，现有的光刻机，在对基板安装时，很难将基板的中心对准，影响光刻质量，同时在取出基板时较为麻烦，为此我们设计出一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，包括工作台，所述工作台的顶侧中央固定连接有连接管，连接管的顶端固定连接有支撑盘，支撑盘的顶侧开设有凹槽，且连接管的顶端和凹槽相连通，支撑盘的外壁阵列焊接有四个支撑板，支撑板的顶侧开设有腰型通口，腰型通口内滑动安装有L形连接杆，支撑盘的底侧四周阵列焊接有四个固定座，四个所述L形连接杆的水平段的一端分别滑动贯穿四个固定座延伸至外部固定连接有连接块，L形连接杆的外壁位于固定座和连接块之间套设有第一弹簧，所述连接管的外壁分别设有螺杆和限位杆，螺杆的两端通过安装座转动连接在连接管的外壁上，限位杆的两端通过安装座固定连接在连接管的外壁上，螺杆和限位杆之间安装有连接盘，连接盘分别和连接管、限位杆滑动连接，连接盘和螺杆螺纹连接，连接盘的外壁和四个连接块相互靠近的一侧之间均铰接有转杆，支撑盘的槽底位于连接管的两侧对称滑动安装有顶杆，顶杆的顶端焊接有顶板，且顶杆的外壁位于支撑盘和顶板之间套设有第二弹簧，顶杆的底端延伸至支撑盘的下方滑动贯穿连接盘的顶侧延伸之外部固定连接卡盘。
优选的，所述连接管的底端延伸至工作台的外部固定连接有真空泵，四个所述L形连接杆的顶端延伸至腰型通口的外部，且四个L形连接杆的顶端相互靠近的一侧均固定连接有夹板。
优选的，所述支撑盘内的凹槽呈圆形，且支撑盘的顶侧边缘固定连接有密封垫。
优选的，所述螺杆的底端延伸至安装座的外部固定连接在正反电机的输出轴上，正反电机固定安装在安装座上。
优选的，四个所述夹板相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫，所述顶杆和支撑盘之间安装有密封机构。
优选的，所述工作台的顶侧固定连接有支架，工作台的底侧固定安装有支撑腿。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型中，通过支撑板、腰型通口、L形连接杆、固定座、连接块、第一弹簧、螺杆、限位杆、连接盘和转杆的设计，可以方便将基板的中心和支撑盘的中心对准，确保光刻的位置准确，通过顶杆、顶板和第二弹簧的设计，可以方便取出基板。
本实用新型结构新颖，使用方便，在对基板固定时，能够方便将基板对准，同时方便基板的拿取，从而提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机的主视剖析结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机的支撑盘处俯视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机的连接板处俯视剖析结构示意图。
图中：1工作台、2连接管、3支撑盘、4支撑板、5腰型通口、6L形连接杆、7固定座、8连接块、9第一弹簧、10螺杆、11限位杆、12连接盘、13转杆、14顶杆、15顶板、16第二弹簧、17真空泵。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，包括工作台1，工作台1的顶侧中央固定连接有连接管2，连接管2的顶端固定连接有支撑盘3，支撑盘3的顶侧开设有凹槽，且连接管2的顶端和凹槽相连通，支撑盘3的外壁阵列焊接有四个支撑板4，支撑板4的顶侧开设有腰型通口5，腰型通口5内滑动安装有L形连接杆6，支撑盘3的底侧四周阵列焊接有四个固定座7，四个L形连接杆6的水平段的一端分别滑动贯穿四个固定座7延伸至外部固定连接有连接块8，L形连接杆6的外壁位于固定座7和连接块8之间套设有第一弹簧9，连接管2的外壁分别设有螺杆10和限位杆11，螺杆10的两端通过安装座转动连接在连接管2的外壁上，限位杆11的两端通过安装座固定连接在连接管2的外壁上，螺杆10和限位杆11之间安装有连接盘12，连接盘12分别和连接管2、限位杆11滑动连接，连接盘12和螺杆10螺纹连接，连接盘12的外壁和四个连接块8相互靠近的一侧之间均铰接有转杆13，支撑盘3的槽底位于连接管2的两侧对称滑动安装有顶杆14，顶杆14的顶端焊接有顶板15，且顶杆14的外壁位于支撑盘3和顶板15之间套设有第二弹簧16，顶杆14的底端延伸至支撑盘3的下方滑动贯穿连接盘12的顶侧延伸之外部固定连接卡盘，连接管2的底端延伸至工作台1的外部固定连接有真空泵17，四个L形连接杆6的顶端延伸至腰型通口5的外部，且四个L形连接杆6的顶端相互靠近的一侧均固定连接有夹板，支撑盘3内的凹槽呈圆形，且支撑盘3的顶侧边缘固定连接有密封垫，螺杆10的底端延伸至安装座的外部固定连接在正反电机的输出轴上，正反电机固定安装在安装座上，四个夹板相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫，顶杆14和支撑盘3之间安装有密封机构，工作台1的顶侧固定连接有支架，工作台1的底侧固定安装有支撑腿，本实用新型中，通过支撑板4、腰型通口5、L形连接杆6、固定座7、连接块8、第一弹簧9、螺杆10、限位杆11、连接盘12和转杆13的设计，可以方便将基板的中心和支撑盘3的中心对准，确保光刻的位置准确，通过顶杆14、顶板15和第二弹簧16的设计，可以方便取出基板，本实用新型结构新颖，使用方便，在对基板固定时，能够方便将基板对准，同时方便基板的拿取，从而提高生产效率。
工作原理：使用时，将基板放置在支撑盘3的顶侧，然后通过控制器控制正反电机启动带动螺杆10转动，使得连接盘12下降，连接盘12下降带动顶杆14下降，从而使得顶板15下降，连接盘12通过四个转杆13带动四个L形连接杆6靠向连接管2，从而使得基板被四个夹板挤压，从而将基板的中心和支撑盘3的中心对准，然后真空泵17启动将连接管2内的空气抽走，从而使得基板被吸附在支撑盘3的顶侧上，完成基板的固定，在光刻时提高准确度，在光刻完成后，正反电机反向转动带动连接盘12上升，从而使得四个L形连接杆6远离连接管2，实现夹板和基板的分离，同时使得顶杆14底端的卡盘和连接盘12分离，然后真空泵17停止工作，由于第二弹簧16的弹性作用，使得顶杆14逐渐上升，将基板顶出和支撑盘3分离，从而便于拿取。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的顶侧中央固定连接有连接管(2)，连接管(2)的顶端固定连接有支撑盘(3)，支撑盘(3)的顶侧开设有凹槽，且连接管(2)的顶端和凹槽相连通，支撑盘(3)的外壁阵列焊接有四个支撑板(4)，支撑板(4)的顶侧开设有腰型通口(5)，腰型通口(5)内滑动安装有L形连接杆(6)，支撑盘(3)的底侧四周阵列焊接有四个固定座(7)，四个所述L形连接杆(6)的水平段的一端分别滑动贯穿四个固定座(7)延伸至外部固定连接有连接块(8)，L形连接杆(6)的外壁位于固定座(7)和连接块(8)之间套设有第一弹簧(9)，所述连接管(2)的外壁分别设有螺杆(10)和限位杆(11)，螺杆(10)的两端通过安装座转动连接在连接管(2)的外壁上，限位杆(11)的两端通过安装座固定连接在连接管(2)的外壁上，螺杆(10)和限位杆(11)之间安装有连接盘(12)，连接盘(12)分别和连接管(2)、限位杆(11)滑动连接，连接盘(12)和螺杆(10)螺纹连接，连接盘(12)的外壁和四个连接块(8)相互靠近的一侧之间均铰接有转杆(13)，支撑盘(3)的槽底位于连接管(2)的两侧对称滑动安装有顶杆(14)，顶杆(14)的顶端焊接有顶板(15)，且顶杆(14)的外壁位于支撑盘(3)和顶板(15)之间套设有第二弹簧(16)，顶杆(14)的底端延伸至支撑盘(3)的下方滑动贯穿连接盘(12)的顶侧延伸之外部固定连接卡盘。
2.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，其特征在于，所述连接管(2)的底端延伸至工作台(1)的外部固定连接有真空泵(17)，四个所述L形连接杆(6)的顶端延伸至腰型通口(5)的外部，且四个L形连接杆(6)的顶端相互靠近的一侧均固定连接有夹板。
3.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，其特征在于，所述支撑盘(3)内的凹槽呈圆形，且支撑盘(3)的顶侧边缘固定连接有密封垫。
4.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，其特征在于，所述螺杆(10)的底端延伸至安装座的外部固定连接在正反电机的输出轴上，正反电机固定安装在安装座上。
5.根据权利要求2所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，其特征在于，四个所述夹板相互靠近的一侧均固定连接有橡胶垫，所述顶杆(14)和支撑盘(3)之间安装有密封机构。
6.根据权利要求1所述的一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机，其特征在于，所述工作台(1)的顶侧固定连接有支架，工作台(1)的底侧固定安装有支撑腿。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821681841.3U CN208737221U (zh) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821681841.3U CN208737221U (zh) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208737221U true CN208737221U (zh) | 2019-04-12 |
Family
ID=66035859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821681841.3U Expired - Fee Related CN208737221U (zh) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208737221U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110316694A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-11 | 嘉兴学院 | 一种具有微纳米形态模具的加工方法 |
| CN112612182A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-04-06 | 胡满 | 一种高精度芯片光刻机及生产工艺 |
| CN112764318A (zh) * | 2019-10-21 | 2021-05-07 | 佳能株式会社 | 支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法 |
-
2018
- 2018-10-17 CN CN201821681841.3U patent/CN208737221U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110316694A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-11 | 嘉兴学院 | 一种具有微纳米形态模具的加工方法 |
| CN110316694B (zh) * | 2019-07-09 | 2022-03-15 | 嘉兴学院 | 一种具有微纳米形态模具的加工方法 |
| CN112764318A (zh) * | 2019-10-21 | 2021-05-07 | 佳能株式会社 | 支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法 |
| CN112612182A (zh) * | 2020-12-09 | 2021-04-06 | 胡满 | 一种高精度芯片光刻机及生产工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN208737221U (zh) | 一种用于图案化蓝宝石基板的光刻机 | |
| KR102078238B1 (ko) | 공기-환기 장치를 구비한 유리-닦기 로봇 | |
| CN109088583A (zh) | 可调节角度的夹持式光伏太阳能板辅助安装装置 | |
| TW201929411A (zh) | 薄膜與晶片的分離裝置和分離方法 | |
| CN206774513U (zh) | 一种拾取芯片装置 | |
| CN107870121A (zh) | 一种可调节孔径大小的波纹管夹紧装置 | |
| CN117389122A (zh) | 一种定影辊辅助清理装置 | |
| CN216015404U (zh) | 一种用于光电器件生产的辅助夹持机构 | |
| CN206925538U (zh) | 一种门锁装配机用的装扭簧组件 | |
| CN206363076U (zh) | 一种通用掩模夹具 | |
| CN209207293U (zh) | 一种加工薄壁弯管零件的新型夹具 | |
| CN107981828A (zh) | 一种水表用表面清洗装置 | |
| CN207380441U (zh) | 一种激光直写仪加工夹具 | |
| CN209275605U (zh) | 一种二极管用旋转推送整理装置 | |
| CN208445937U (zh) | 一种贴片机真空吸附装置 | |
| CN208555201U (zh) | 一种冲版机自动清洗控制装置 | |
| CN109300824A (zh) | 一种集成电路载片装置 | |
| CN208207252U (zh) | 一种高效镜片涂墨装置 | |
| CN109963422A (zh) | 一种通讯设备散热保护装置 | |
| CN207591904U (zh) | 一种蛋白免水擦浴凝胶配置装置 | |
| CN208246370U (zh) | 一种马达180度开合结构 | |
| CN206203407U (zh) | 一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置 | |
| CN206717518U (zh) | 一种波纹管加工用切割装置 | |
| CN219540782U (zh) | 防堵胶的点胶阀 | |
| CN110441996B (zh) | 一种半导体芯片生产用浸没式光刻机及其方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190412 Termination date: 20191017 |