CN208733212U - 一种分体式防着板组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种分体式防着板组件,包含固定板、拆换板和连接支架;所述连接支架设置在固定板的后侧,固定板的下端与拆换板的上端通过相互交错的搭接结构拼接,并通过螺栓固定,形成一个整体,固定板和拆换板的前侧表面平滑连接;所述拆换板的下端设置有向前的延伸部,固定板的前侧表面为光面,拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构;由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部,因此,长时间使用后,只需要更换并清理位于下部的拆换板部分即可,不需要对防着板组件整体进行拆换清理,减少了材料的使用,降低了成本,并且提高了拆换和清理的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种分体式防着板组件。
背景技术
真空溅镀是在真空环境下,使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子,通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积,使其具有某种特殊功能薄膜的技术;因溅镀过程中,溅镀源会随机方向溅射,除了在目标基体表面附着外,还有一部分会附着在周围其他部位的表面,为保护其他结构件避免附着、沉积膜层,需要使用防着板进行覆盖防护;现有的防着板大多为一体式结构,长时间使用后需要整体更换,并对换下的板材进行清理,增加了成本,并且降低了效率。
实用新型内容
针对上述存在的技术问题,本实用新型的目的是:提出了一种分体式防着板组件。
本实用新型的技术解决方案是这样实现的:一种分体式防着板组件,包含固定板、拆换板和连接支架;所述连接支架设置在固定板的后侧,固定板的下端与拆换板的上端通过相互交错的搭接结构拼接,并通过螺栓固定,形成一个整体,固定板和拆换板的前侧表面平滑连接;所述拆换板的下端设置有向前的延伸部,固定板的前侧表面为光面,拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。
优选的,所述固定板和拆换板的前侧工作表面为斜面或圆弧面,延伸部的工作表面为水平面。
优选的,所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。
由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
本实用新型的分体式防着板组件,由固定板和拆换板两部分组成,由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部,因此,长时间使用后,只需要更换并清理位于下部的拆换板部分即可,不需要对防着板组件整体进行拆换清理,减少了材料的使用,降低了成本,并且提高了拆换和清理的效率。
附图说明
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
附图1为本实用新型的一种分体式防着板组件的示意图;
附图2为本实用新型的颗粒凸起结构的示意图。
具体实施方式
下面结合附图来说明本实用新型。
如附图1-2所示,本实用新型所述的一种分体式防着板组件,包含一种分体式防着板组件,包含固定板11、拆换板12和连接支架14;所述连接支架14设置在固定板11的后侧,固定板11通过连接支架14固定,固定板11的下端与拆换板12的上端通过相互交错的搭接结构拼接,并通过螺栓15固定,形成一个整体,固定板11和拆换板12的前侧表面平滑连接;所述拆换板12的下端设置有向前的延伸部13。
所述固定板11和拆换板12的工作表面为斜面或圆弧面,以提高整体接受靶材溅射的范围;并将固定板11的前侧表面设置为光面,在拆换板12和延伸部13的工作表面设置均匀分布的颗粒凸起结构21,使靶材主要附着在拆换板12和延伸部13上,并增加承受面积,长时间使用后只需要更换和清理拆换板12即可,颗粒凸起结构21的截面形状可以设置为梯形。
以上仅是本实用新型的具体应用范例,对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案,均落在本实用新型权利保护范围之内。
Claims (3)
1.一种分体式防着板组件,其特征在于:包含固定板(11)、拆换板(12)和连接支架(14);所述连接支架(14)设置在固定板(11)的后侧,固定板(11)的下端与拆换板(12)的上端通过相互交错的搭接结构拼接,并通过螺栓(15)固定,形成一个整体,固定板(11)和拆换板(12)的前侧表面平滑连接;所述拆换板(12)的下端设置有向前的延伸部(13),固定板(11)的前侧表面为光面,拆换板(12)和延伸部(13)的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构(21)。
2.根据权利要求1所述的分体式防着板组件,其特征在于:所述固定板(11)和拆换板(12)的前侧工作表面为斜面或圆弧面,延伸部(13)的工作表面为水平面。
3.根据权利要求1所述的分体式防着板组件,其特征在于:所述颗粒凸起结构(21)的截面形状呈梯形。
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