CN208712373U - 一种清洗药液槽的管路系统 - Google Patents

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左国军
余兴梅
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Abstract

本实用新型公开了一种清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在人工便于操作的固定板上。将各种药液和纯水的输入管路相互连接,再将控制药液输入或纯水输入的手阀汇集在同一安装固定板上。人工在清洗药液槽的过程中,酸或碱药液不会对人体造成伤害,简化了繁琐的操作步骤,高效地去除药液的残留。

Description

一种清洗药液槽的管路系统
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片的槽式清洗设备和湿法处理设备,尤其涉及一种用于清洗药液槽的管路系统。
背景技术
在太阳能硅片的槽式清洗设备和槽式湿法处理设备中,同一个槽体在不同的工艺(俗称不同酸或碱药液的切换)使用时,需先达到酸碱的平衡,再对槽体进行冲洗。通常的做法是攀爬设备顶部需手动接管,对槽内进行酸或碱药液的加液,进行槽内的酸碱平衡,最后再注纯水清洗槽内的药业残留。上述加酸或碱药液加注时,存在液体会漏或溅出腐蚀到人体的风险,具有安全隐患,且工序繁琐,操作不便。
因此,如何克服现有槽体工艺切换清洗槽体内腔时,存在安全隐患和操作不便的缺陷是业界亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有槽体工艺切换清洗槽体内腔时,存在安全隐患和操作不便的技术问题,提出一种高效的安全可靠的清洗药液槽的管路系统。
本实用新型提出的一种清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在无需攀爬人工便于操作的固定板上。
较优的,所述的每一旁路管道均连通一计量药液桶,该计量药液桶的出液口通向所述的药液槽,该计量药液桶的进入管道和出口管道上均设有气阀。
较优的,所述的气阀和计量药液桶的计量器均与自动控制器连接。
一种清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在无需攀爬人工便于操作的固定板上。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例的流程示意图。
具体实施方式
如图1所示,为本实用新型较佳实施例的流程示意图。本实用新型较佳实施例提供的清洗药液槽的管路系统,其包括:多种药液和纯水的进水管1、2、3、…4、5、6,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀M1、M3、M5、…M7、M9和第二手阀M2、M4、M6、…M8、M10,在第一手阀和第二手阀之间的管路上均设有通向药液槽15、16、17的旁路管道7、8、9、…10、11。纯水的进水管6上设有纯水手阀M12。所有的第一手阀和第二手阀及纯水水阀均安装在无需攀爬人工便于操作的固定板上。本实施例中,所述的每一旁路管道7、8、9、…10、11均连通一计量药液桶12、13、14,该计量药液桶的出液口通向药液槽15、16、17,该计量药液桶的进入管道和出口管道上均设有气阀18、19。进一步的所述气阀18、19和计量药液桶12、13、14的计量器均与自动控制器连接。
请结合图1,本实用新型是这样工作的:当需要使用KOH药液清洗药液槽时,手动打开KOH药液进水管的第一手阀M1和其他药液进水管的第二手阀M2,M4,M6,…M8,M10,关闭其他药液进水管上的第一手阀M3、M5、…M7、M9和纯水进水管6的纯水手阀M12,KOH药液通过各旁路管道9、10、11…流向计量药液桶12、13、14…。此时,自动控制器打开进入管道的气阀18,让KOH药液进入计量药液桶12、13、14并计量,到达所需加入的药液量时,自动控制器关闭进入管道的气阀18,打开出口管道的气阀19,就可对所有的药液槽15、16、17加注KOH药液。同理,可以更换加注不同的药液。当槽内酸碱平衡,需要加注纯水清洗时,先关闭所有药液进水管上的第一手阀M1、M3、M5、…M7、M9,再打开纯水手阀M12和各药液进水管的第二手阀M2,M4,M6,…M8,M10,纯水便通过各旁路管道9、10、11流向计量药液桶12、13、14后再流入药液槽15、16、17冲洗。
本实用新型将用于清洗药液槽的各种药液和纯水的输入管路相互连接,再将控制药液输入或纯水输入的手阀汇集在同一安装固定板上,该安装固定板设于无需攀爬便于人工可操作的合适区域。如此,人工在清洗药液槽的过程中,酸或碱药液不会对人体造成伤害,简化了繁琐的操作步骤,通过控制人们可轻松达到槽内的酸碱平衡及用DI水清洗药液槽,高效地去除药液的残留。
以上所述实施例主要是为了说明本实用新型的创作构思,应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.一种清洗药液槽的管路系统,其特征在于,包括多种药液和纯水的进水管,各进水管的出水端相互连通,每一种药液的进水管上均设有第一手阀和第二手阀,在所述的第一手阀和第二手阀之间的管路上设有通向药液槽的旁路管道,所述纯水的进水管上设有一纯水手阀;所有的第一手阀和第二手阀及纯水手阀均安装在人工便于操作的固定板上。
2.如权利要求1所述的管路系统,其特征在于,所述的每一旁路管道均连通一计量药液桶,该计量药液桶的出液口通向所述的药液槽,该计量药液桶的进入管道和出口管道上均设有气阀。
3.如权利要求2所述的管路系统,其特征在于,所述的气阀和计量药液桶的计量器均与自动控制器连接。
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