CN208706574U - 一种防止光阻回流的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体处理系统中对光阻处理的领域，具体的说是一种更换光阻瓶时防止光阻回流的装置，包括光阻管路、光阻瓶盖、光阻瓶、防空管堵、光阻瓶托板及称重传感器，光阻瓶放置在光阻瓶托板上，光阻瓶托板上安装有称重传感器；光阻管路安装在光阻瓶盖上，并伸入光阻瓶中，光阻管路位于光阻瓶内的末端安装有防空管堵，防空管堵的上表面高于光阻管路末端出口的端面。本实用新型可以防止更换光阻时管道内光阻回流，一方面可以减少因光阻管道空管造成后续管路排泡的工作量，提高工作效率，另一方面减少光阻的浪费，节约成本。

Description

一种防止光阻回流的装置

技术领域

本实用新型属于半导体处理系统中对光阻处理的领域，具体的说是一种更换光阻瓶时防止光阻回流的装置。

背景技术

在半导体处理系统中，光阻是光刻阶段涂胶工艺必不可少的材料，通常来说半导体生产企业购买的光阻都是通过光阻瓶来盛放，在涂胶工艺过程中光阻瓶的更换十分频繁。在更换光阻瓶时，光阻管路中的光阻通常会回流到光阻瓶中，这样一方面光阻管路中就形成一段空管，后续再进行工艺时需要将空管中的气泡排出，耗费人力时间；另一方面，因为光阻是价格昂贵的耗材，回流的光阻无法继续使用就造成较大的浪费。

实用新型内容

为了解决光阻回流的问题，本实用新型的目的在于提供一种防止光阻回流的装置。该装置可防止光阻回流形成空管，节约了人力成本和时间成本，同时减少了光阻的浪费。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型包括光阻管路、光阻瓶盖、光阻瓶、防空管堵、光阻瓶托板及称重传感器，其中光阻瓶放置在光阻瓶托板上，该光阻瓶托板上安装有称重传感器；所述光阻管路安装在光阻瓶盖上，并伸入光阻瓶中，该光阻管路位于所述光阻瓶内的末端安装有防空管堵，所述防空管堵的上表面高于光阻管路末端出口的端面；

其中：所述防空管堵为上端开口的内部中空结构，与所述光阻管路的末端螺纹连接或过盈配合连接；

所述防空管堵的内侧壁上开设有凹槽，该凹槽的下边缘沿径向向内延伸，所述光阻管路的末端抵接于凹槽向内延伸的部分；

所述光阻瓶内的光阻重量通过称重传感器检测，该称重传感器的设定重量值需保证光阻瓶内剩余光阻的液面高过防空管堵的上表面；

所述光阻管路在更换光阻瓶时与光阻瓶盖共同取下；

所述光阻管路伸入光阻瓶内的长度可调。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型可以不改变原有的操作习惯，可以防止光阻回流滴落在净化厂房，提高了洁净程度；而且，本实用新型的结构成本增加较少，节约成本能力提高。

2.本实用新型操作方便，换光阻步骤简单。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型防空管堵与光阻管路的安装立体结构示意图；

图3为本实用新型防空管堵与光阻管路的安装剖视图；

其中：1为光阻管路，2为光阻瓶盖，3为光阻瓶，4为防空管堵，5为光阻瓶托板，6为称重传感器，7为凹槽，8为上表面。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

如图1～3所示，本实用新型包括光阻管路1、光阻瓶盖2、光阻瓶3、防空管堵4、光阻瓶托板5及称重传感器6，其中光阻瓶3放置在光阻瓶托板5上，该光阻瓶托板5的底部安装有称重传感器6。

光阻管路1固定安装在光阻瓶盖2上，再与光阻瓶盖2一起安装在光阻瓶3上；光阻管路1的末端并伸入光阻瓶3中，光阻管路1伸入到光阻瓶3内的长度可调整；在光阻管路1位于光阻瓶3内的末端安装有防空管堵4，该防空管堵4的上表面8高于光阻管路1末端出口的端面。防空管堵4为上端开口的内部中空结构，与光阻管路1的末端螺纹连接或过盈配合连接。防空管堵4的内侧壁上开设有凹槽7，该凹槽7的下边缘沿径向向内延伸；光阻管路1的末端抵接于凹槽7向内延伸的部分，可进一步避免光阻管路1与防空管堵4发生相对窜动。

称重传感器6用于检测光阻瓶3内的光阻重量，可根据重量设定值来提示更换光阻瓶3。称重传感器6的设定重量值需保证光阻瓶3内剩余光阻液面超过防空管堵4上表面。光阻管路1在更换光阻瓶3时与光阻瓶盖2共同取下。

本实用新型的工作原理为：

光阻管路1与光阻瓶盖2安装在一起后再安装到光阻瓶3上，该光阻管路1伸入到光阻瓶3中，伸入的长度可以根据需要调节。称重传感器6可以设定重量值，该设定的重量值需保证光阻瓶3内剩余光阻的液面高过防空管堵4的上表面8。当称重传感器6检测到光阻瓶3剩余光阻量不足时，发出报警，提示光阻瓶3需要更换。更换光阻瓶3时，只需要将光阻瓶盖2取下，连带光阻管路1和防空管堵4一起从原来的光阻瓶3中取出，由于防空管堵4中有光阻，且液面高于光阻管路1的末端出口，此时光阻管路1中的光阻不会回流至光阻瓶3中；换上新的光阻瓶3之后，重新将光阻瓶盖2连同光阻管路1和防空管堵4一起安装到新的光阻瓶3上即可。

由于原来的光阻瓶3为保证防空管堵4中有光阻而剩余了一部分光阻，此部分光阻可汇集到一个新的光阻瓶3中，多个替换下来的原来的光阻瓶3中的光阻汇集成一满瓶新的光阻瓶3，再继续使用。

Claims (6)

1.一种防止光阻回流的装置，其特征在于：包括光阻管路(1)、光阻瓶盖(2)、光阻瓶(3)、防空管堵(4)、光阻瓶托板(5)及称重传感器(6)，其中光阻瓶(3)放置在光阻瓶托板(5)上，该光阻瓶托板(5)上安装有称重传感器(6)；所述光阻管路(1)安装在光阻瓶盖(2)上，并伸入光阻瓶(3)中，该光阻管路(1)位于所述光阻瓶(3)内的末端安装有防空管堵(4)，所述防空管堵(4)的上表面(8)高于光阻管路(1)末端出口的端面。

2.根据权利要求1所述防止光阻回流的装置，其特征在于：所述防空管堵(4)为上端开口的内部中空结构，与所述光阻管路(1)的末端螺纹连接或过盈配合连接。

3.根据权利要求1所述防止光阻回流的装置，其特征在于：所述防空管堵(4)的内侧壁上开设有凹槽(7)，该凹槽(7)的下边缘沿径向向内延伸，所述光阻管路(1)的末端抵接于凹槽(7)向内延伸的部分。

4.根据权利要求1所述防止光阻回流的装置，其特征在于：所述光阻瓶(3)内的光阻重量通过称重传感器(6)检测，该称重传感器(6)的设定重量值需保证光阻瓶(3)内剩余光阻的液面高过防空管堵(4)的上表面(8)。

5.根据权利要求1所述防止光阻回流的装置，其特征在于：所述光阻管路(1)在更换光阻瓶(3)时与光阻瓶盖(2)共同取下。

6.根据权利要求1所述防止光阻回流的装置，其特征在于：所述光阻管路(1)伸入光阻瓶(3)内的长度可调。