CN208685048U - 溅射挂具及溅镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种溅射挂具及溅镀装置，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定，从而可以将溅镀治具安装在溅射挂具，可以转换方向对待溅镀的工件进行完整的溅镀，保障待溅镀的工件的溅射爬深。

Description

溅射挂具及溅镀装置

技术领域

本实用新型涉及溅镀设备领域，具体而言，涉及一种溅射挂具及溅镀装置。

背景技术

传统的溅镀工艺在对溅镀工件进行溅镀时，由于受到溅射挂具的限制，溅镀工件在溅射時，只有靠近炉腔的部分才能够溅射到溅镀材料，背离炉腔的部分则溅射爬深无法满足溅射要求，因此急需设计一种能够将溅镀工件反转的挂具，以使溅镀工件两侧的溅射爬深都能够得到保障。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种溅射挂具，以改善溅镀工件的溅射爬深无法得到保障的问题。

本实用新型的另一目的在于提供一种溅镀装置，以改善上述问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供了一种溅射挂具，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定。

进一步地，所述卡扣底座包括固定部，所述固定部设置于所述卡扣底座靠近转盘轴心的一端，所述固定部用于将安装固定所述溅射挂具。

本实用新型还提供了一种溅射挂具，所述溅镀装置包括溅镀腔、设置于溅镀腔内的溅射靶与承载组件，所述溅射靶设置于所述溅镀腔内，所述承载组件包括转动轴、第一安装部、第二安装部及多个溅射挂具，所述第一安装部和所述第二安装部相对地设置于所述转动轴的两端，所述溅射挂具的卡扣底座安装于所述第一安装部，所述溅射挂具的挂钩卡设于所述第二安装部。

进一步地，所述溅镀装置包括多个驱动装置，每一个驱动装置对应与一个承载组件的转动轴连接，用于驱动所述转动轴旋转，以带动所述溅射挂具在所述溅镀腔内绕所述转动轴旋转。

进一步地，所述溅镀装置包括转盘，所述转盘设置于所述溅镀腔的底部，所述溅射靶设置于所述溅镀腔内，所述转盘可以带动所述承载组件转动。

进一步地，所述承载组件的数量为多个，所述多个承载组件围绕所述转盘轴心等间距分布，每个承载组件的转动轴与所述转盘轴心平行。

进一步地，所述转盘的转动方向与所述承载组件的转动方向相反。

进一步地，所述第一安装部设置有多个卡固单元，所述多个卡固单元围绕所述转动轴均匀设置于所述安装部上，每一个卡固单元用于与一个所述溅射挂具的固定部连接，以将所述溅射挂具固定安装在所述第一安装部上。

进一步地，所述卡固单元的数量为4个。

进一步地，所述溅镀装置还包括驱动电机，所述驱动电机与所述转盘连接，所述驱动电机用于驱动所述转盘转动。

相对现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的一种溅射挂具及溅镀装置，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定，从而可以将溅镀治具安装在溅射挂具，可以转换方向对待溅镀的工件进行完整的溅镀，保障待溅镀的工件的溅射爬深。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本实用新型所提供的一种溅射挂具的示意图。

图2示出了溅镀装置的第一视角视图。

图3示出了安装有溅射挂具的滚筒的示意图。

图4示出了没有安装溅射挂具的滚筒的第一视角视图。

图5示出了没有安装溅射挂具的滚筒的第二视角视图。

图6示出了没有安装溅射挂具的滚筒的第三视角视图。

图标：10-溅镀装置；100-装置本体；300-滚筒；310-转盘；320-盖体；330-转盘轴心；340-承载组件；341-第一安装部；3411-卡固单元；342-第二安装部；343-转动轴；350-驱动装置；200-溅射挂具；210-卡扣底座；211-固定部；220-第一限位件；221-限位槽；230-第二限位件；240-挂钩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

第一实施例

本实施例提供了一种溅射挂具200，请参阅图1，图1示出了本实施例提供的溅射挂具200的示意图。

所述溅射挂具200用于固定安装溅镀治具，所述溅镀治具可以固定待溅镀工件，以将待溅镀工件设置在溅镀炉腔内完成溅镀。所述溅射挂具200包括卡扣底座210、第一限位件220、第二限位件230及挂钩240，所述第一限位件220和所述第二限位件230相对设置，所述第一限位件220的第一端、所述第二限位件230的第一端与所述卡扣底座210连接，所述第一限位件220和所述第二限位件230设置有相对的限位槽221，用于安装溅镀治具，所述挂钩240套设于所述第一限位件220和所述第二限位件230的第二端，用于将溅镀治具固定。

于本实施例中，所述第一限位件220和第二限位件230相对设置，第一限位件220的限位槽221与所述第二限位件230的限位槽221相对。所述第一限位件220的第一端与卡扣底座210的一端连接，所述第二限位件230的第一端与所述卡扣底座210的另一端连接，第一限位件220、第二限位件230以及所述卡扣底座210形成一个可以用于容置溅镀治具的框架。溅镀治具可以设置于所述限位槽221，多个溅镀治具可以依次层叠设置在所述限位槽221内，所述限位槽221的宽度与所述溅镀治具的厚度匹配，从而可以将多个溅镀治具稳定地层叠设置，溅镀治具在进行溅镀时不会发生松动。

于本实施例中，所述卡扣底座210与所述第一限位件220、第二限位件230可以一体成型设置。

于本实施例中，所述卡扣底座210包括至少一个固定部211，所述固定部211设置于所述卡扣底座210靠近转盘轴心330的一端，所述固定部211用于将安装固定所述溅射挂具200。

需要说明的是，所述卡扣底座210可以包括2个固定部211，所述2个固定部211分别设置于所述卡扣底座210的两端，即靠近所述第一限位件220的一端和靠近所述第二限位件230的一端，从而可以将溅射挂具200以不同的方向、角度设置在溅镀腔内，实现多角度的溅射或溅镀。

所述挂钩240套设于所述第一限位件220的第二端和所述第二限位件230的第二端，用于与所述第一限位件220、第二限位件230以及所述卡扣底座210形成一个封闭的安装框架，以将所述将溅镀治具固定安装在限位槽221内，防止溅镀治具滑动。所挂钩240还可以用于将溅射挂具200进行固定。

第二实施例

本实施例提供一种，请参阅图2，所述溅镀装置10包括装置本体100及滚筒300，所述装置本体100内形成溅镀腔，所述滚筒300设置于所述溅镀腔内，请参阅图3，所述滚筒300包括转盘310、盖体320、转盘轴心330与承载组件340，所述转盘轴心330设置于所述溅镀腔的中心，所述承载组件340包括转动轴343、第一安装部341、第二安装部342及多个溅射挂具200。

需要说明的是，本实施例提供的溅射挂具200，其基本原理与结构组成及技术效果与第一实施例提供的溅射挂具200基本相同，为简要描述，本实施例不再进行详细说明，本实施例未介绍详尽之处，请参阅第一实施例中的相关内容。

请结合参阅图2、图3及图4，所述装置本体100的内部形成中空的溅镀腔，所述转盘310设置于所述溅镀腔的底部，所述转盘轴心330的一端设置于所述转盘310的中心，所述转盘轴心330的另一端与盖体320的中心连接。于本实施例中，所述转盘轴心330为柱状，所述柱状的转盘轴心330设置于所述转盘310的中心，且与所述转盘310、盖体320均垂直。

请参阅图3，所述承载组件340的数量为多个，多个承载组件340设置于所述转盘310上，优选地，所述承载组件340围绕所述转盘轴心330呈环状均匀设置，所述多个承载组件340围绕所述转盘轴心330等间距分布。所述承载组件340包括转动轴343、第一安装部341、第二安装部342及多个溅射挂具200，每个承载组件340的转动轴343与所述转盘310的转盘轴心330平行。

请参阅图4和图5，所述第一安装部341和所述第二安装部342相对地设置于所述转动轴343的两端，所述溅射挂具200的卡扣底座210安装于所述第一安装部341，所述溅射挂具200的挂钩240卡设于所述第二安装部342。

于本实施例中，所述第一安装部341安装于所述转盘310上，所述第二安装部342安装于所述盖体320与所述转盘310相对的一面上。

所述第一安装部341设置有多个卡固单元3411，所述多个卡固单元3411围绕所述转动轴343均匀设置于所述安装部上，每一个卡固单元3411用于与一个所述溅射挂具200的固定部211卡固连接，以将所述溅射挂具200固定安装在所述第一安装部341上。

于本实施例中，所述卡固单元3411的数量为4个。

请参阅图6，所述溅镀装置10包括多个驱动装置350，每一个驱动装置350对应与一个承载组件340的转动轴343连接，用于驱动所述转动轴343旋转，以带动所述溅射挂具200在所述溅镀腔内绕所述转动轴343旋转。

具体地，所述驱动装置350设置于所述盖体320上，每一个驱动装置350与一个承载组件340的第二安装部342的位置对应，所述驱动装置350的输出轴与承载组件340的转动轴343连接，以驱动所述承载组件340绕所述转动轴343旋转。以使多个溅射挂具200上的待溅镀工件可以多角度全方位地进行溅镀。

于本实施例中，所述溅镀装置10还包括驱动电机，驱动电机与所述转盘310连接，所述驱动电机用于驱动所述转盘310转动，于本实施例中，所述转盘310的转动方向与所述承载组件340的转动方向相反。但不限于此，还可以与所述承载组件340的转动方向相同。

综上所述，本实用新型提供的一种溅射挂具及溅镀装置，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定，从而可以将溅镀治具安装在溅射挂具，可以转换方向对待溅镀的工件进行完整的溅镀，保障待溅镀的工件的溅射爬深。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种溅射挂具，其特征在于，所述溅射挂具包括卡扣底座、第一限位件、第二限位件及挂钩，所述第一限位件和所述第二限位件相对设置，所述第一限位件的第一端、所述第二限位件的第一端与所述卡扣底座连接，所述第一限位件和所述第二限位件设置有相对的限位槽，用于安装溅镀治具，所述挂钩套设于所述第一限位件和所述第二限位件的第二端，用于将溅镀治具固定。

2.如权利要求1所述的溅射挂具，其特征在于，所述卡扣底座包括固定部，所述固定部设置于所述卡扣底座靠近转盘轴心的一端，所述固定部用于将安装固定所述溅射挂具。

3.一种溅镀装置，其特征在于，所述溅镀装置包括溅镀腔、设置于溅镀腔内的溅射靶与承载组件，所述溅射靶设置于所述溅镀腔内，所述承载组件包括转动轴、第一安装部、第二安装部及多个溅射挂具，所述第一安装部和所述第二安装部相对地设置于所述转动轴的两端，所述溅射挂具的卡扣底座安装于所述第一安装部，所述溅射挂具的挂钩卡设于所述第二安装部。

4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于，所述溅镀装置包括多个驱动装置，每一个驱动装置对应与一个承载组件的转动轴连接，用于驱动所述转动轴旋转，以带动所述溅射挂具在所述溅镀腔内绕所述转动轴旋转。

5.如权利要求3或4所述的溅镀装置，其特征在于，所述溅镀装置包括转盘，所述转盘设置于所述溅镀腔的底部，所述转盘可以带动所述承载组件转动。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述承载组件的数量为多个，所述多个承载组件围绕所述转盘轴心等间距分布，每个承载组件的转动轴与所述转盘轴心平行。

7.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述转盘的转动方向与所述承载组件的转动方向相反。

8.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述第一安装部设置有多个卡固单元，所述多个卡固单元围绕所述转动轴均匀设置于所述第一安装部上，每一个卡固单元用于与一个所述溅射挂具的固定部连接，以将所述溅射挂具固定安装在所述第一安装部上。

9.如权利要求8所述的溅镀装置，其特征在于，所述卡固单元的数量为4个。

10.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述溅镀装置还包括驱动电机，所述驱动电机与所述转盘连接，所述驱动电机用于驱动所述转盘转动。