CN208660404U - 低压扩散凝结器及真空装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种低压扩散凝结器及真空装置，包括壳体、高温气体缓冲镂空板、冷却机构和收集机构，所述壳体内具有冷却腔，壳体上设置有分别连通所述冷却腔的高温进气口和高温出气口，所述高温进气口连通高温进气管，所述高温出气口连通高温出气管；所述高温气体缓冲镂空板位于所述冷却腔内，且将高温进气口与高温出气口隔离；所述冷却机构位于所述壳体内，或者，所述冷却机构位于所述壳体外层；壳体的底部设置有排液孔，所述排液孔连通所述收集机构。

Description

低压扩散凝结器及真空装置

技术领域

本实用新型涉及晶硅太阳电池设备技术领域，尤其涉及一种用于p-n结制造的低压扩散凝结器。

背景技术

传统的常压扩散技术生产出晶硅电池均匀性差、产能低、能耗大，而采用低压扩散技术可以提高晶硅电池的转换效率、降低生产成本，保证硅片扩散的均匀性，提升电池片转换效率，可以放置数量更多的硅片，可成倍提高扩散产能。但现有的低压扩散技术如图1所示没有冷却机构，只是真空泵与高温出气管相连，高温出气管与壳体相连，在低压扩散中真空泵创造真空条件，通过高温气体对硅片进行扩散，在低压扩散时为了维持管内压力平衡，真空泵会进行工作，将管内气体被隔膜真空泵抽出来并带到后续的尾气处理系统，这个过程中过多的偏磷酸等废气存在较强的腐蚀性，会导致真空泵腐蚀以及真空管路堵塞，从而使的真空泵经常维护，影响生产产能，从而大大的降低了设备的生产利用率。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的真空泵腐蚀以及真空管路堵塞的不足，提供了一种结构简单、成本低、可有效延长设备维护周期、降低真空泵堵塞以及真空泵管路腐蚀的低压扩散凝结器。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种低压扩散凝结器，包括壳体、高温气体缓冲镂空板、冷却机构和收集机构，所述壳体内具有冷却腔，壳体上设置有分别连通所述冷却腔的高温进气口和高温出气口，所述高温进气口连通高温进气管，所述高温出气口连通高温出气管；所述高温气体缓冲镂空板位于所述冷却腔内，且将高温进气口与高温出气口隔离；所述冷却机构位于所述壳体内，或者，所述冷却机构位于所述壳体外层；壳体的底部设置有排液孔，所述排液孔连通所述收集机构。本实用新型通过冷却机构对高温气体进行冷凝操作，冷凝后的废液通过收集机构进行收集，可以降低高温气体对真空泵的堵塞以及对真空泵管路的腐蚀，能够有效延长设备的维护周期，只需在原有结构上加装冷却机构和收集机构即可，结构简单，成本较低，易于操作。

作为上述方案的一种优选方案，所述冷却机构包括相连接的进液管和出液管，所述进液管和所述出液管设置在壳体的内部或外部，进液管和出液管与所述壳体相贴紧。

作为上述方案的一种优选方案，所述冷却机构位于所述壳体内，所述进液管和所述出液管设置在所述壳体上下部分，或者进液管和出液管设置在壳体的前后部分，或者进液管和出液管环绕壳体设置。

作为上述方案的一种优选方案，所述冷却机构位于所述壳体外层，所述进液管和所述出液管设置在所述壳体上下部分，或者进液管和出液管设置在壳体的前后部分，或者进液管和出液管环绕壳体设置。本方案进水管与出水管相连，进水管流入温度较低的冷却液，吸收冷却腔中的热量，通过出液管排出温度较高的冷却液，结构简单，容易操作，冷却液可以循环使用。

作为上述方案的一种优选方案，所述进液管和所述出液管之间设置有隔热板，本方案隔热板的设置可以减小出液管中冷却液对进液管中冷却液的影响，增强冷却效果。

所述收集机构包括收集管和收集容器，所述收集管与所述收集容器相连接。本方案可以对废液进行收集处理再利用，减少了环境污染。

作为上述方案的一种优选方案，所述的收集管上安装有手动阀。本方案可以通过手动阀调节收集管的开闭，处理废液时不需要停机，可以有效的提高生产产能。

作为上述方案的一种优选方案， 所述的壳体采用不锈钢制成。本方案使用不锈钢这种导热性良好的材料，增加了冷凝效果，同样不锈钢的抗腐蚀性较好，减少了高温气体对壳体的腐蚀，减少了设备维护成本。

作为上述方案的一种优选方案，所述进液管和所述出液管中冷却液的温度为15℃～25℃。本方案采用常温冷却液，工作环境简单，可以选择直接使用常温水进行冷却，成本较低。

本实用新型的优点：

1、一种低压扩散凝结器，设置有冷却机构和收集机构，进行低压扩散时在真空泵的作用下高温气体流过壳体，通过冷却机构对过多的高温气体进行冷凝，通过收集机构收集冷凝后的废液，使流入高温出气管以及真空泵中的高温废气大量减少，可以降低真空泵堵塞以及真空泵管路腐蚀，有效延长设备维护周期。

2、只需在原有结构上加装冷却机构和收集机构即可，结构简单，成本较低。

3、与排液孔相连的收集管上安装有手动阀，收集容器中的废液收集满后可以关闭手动阀，取下收集容器，处理完废液后再安装回收集容器，打开手动阀，这个过程不需要停机，所以可以有效的提高生产产能。

4、对高温废气进行处理，减少了对环境的污染。

附图说明

图1是传统的低压扩散凝结器的结构示意图；

图2是本实用新型提供的一种低压扩散凝结器的主视图；

图3是本实用新型提供的一种低压扩散凝结器的侧视图。

图中：壳体1，高温进气管2，高温出气管3，高温气体缓冲镂空板4，进液管5，隔热板6，出液管7，收集管8，手动阀9，收集容器10，把手11。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面将结合附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于实用新型保护的范围。

实施例：

在图2至图3所示，本实施例提供的一种低压扩散凝结器，包括壳体1、高温气体缓冲镂空板4、冷却机构和收集机构，壳体采用不锈钢制成，壳体1内具有冷却腔，壳体1上设置有分别连通所述冷却腔的高温进气口和高温出气口，所述高温进气口连通高温进气管2，所述高温出气口连通高温出气管3；高温气体缓冲镂空板4位于所述冷却腔内，且将高温进气口与高温出气口隔离；所述冷却机构位于壳体1内，或者，所述冷却机构位于壳体1外层；壳体1的底部设置有排液孔，所述排液孔连通所述收集机构。本实施例进行低压扩散时在真空泵的作用下高温气体流过壳体1，通过冷却机构对过多的高温气体进行冷凝，通过收集机构收集冷凝后的废液，使流入高温出气管3以及真空泵中的高温废气大量减少，可以降低真空泵堵塞以及真空泵管路腐蚀，有效延长设备维护周期；壳体1采用不锈钢制成，不锈钢的导热性好，增强了冷却效果，并且不锈钢的抗腐蚀性较好，减少了高温气体对壳体的腐蚀，减少了设备维护成本；只需在原有结构上加装冷却系统和冷却液收集系统即可，结构简单，成本较低，易于操作。

冷却机构包括相连接的进液管5和出液管7，进液管5和出液管7设置在壳体1的内部或外部，进液管5和出液管7与壳体1相贴紧。进液管5和出液管7设置在壳体1上下部分，或者进液管5和出液管7设置在壳体1的前后部分，或者进液管5和出液管7环绕壳体1设置。进液管5和出液管7之间设置有隔热板6。进液管5和出液管7中冷却液的温度为15℃～25℃。进行低压扩散时，壳体1中充入了大量的高温气体，此时向进液管5中注入温度较低的冷却液，使得进液管5中的冷却液与充入壳体的高温气体进行热交换，冷却液的温度升高，温度升高后的冷却液通过出液管7排除，与此同时部分高温气体被冷凝成液体通过壳体1底部的排液孔流入收集机构，使流入高温出气管3以及真空泵中的高温废气大量减少，降低了真空泵堵塞以及真空泵管路腐蚀；隔热板6的设置可以减小出液管7中冷却液对进液管5中冷却液的影响，增强冷却效果；采用常温冷却液，工作环境简单，可以选择直接使用常温水进行冷却，成本较低，结构简单，容易操作，冷却液可以循环使用。

收集机构包括收集管8和收集容器10，收集管8与收集容器10相连接。收集管上安装有手动阀9。通过收集机构收集冷凝后的废液，当收集容器10被装满时，可以手动将手动阀9关闭，然后取下收集容器10，并将收集容器10内的废液清理，然后将清理后的收集容器10重新与收集管8连通，并打开手动阀9，收集容器10收集由收集管8流出的废液，在处理收集容器10中的废液时，可以在安装有本实用新型实施例提供的低压扩散凝结器的真空装置不停机的情况下进行，因而不会影响真空装置的持续工作，从而可以有效的提高生产产能；对废液进行收集处理再利用，减少了环境污染。

本实用新型的使用方法：

进行低压扩散时，在真空泵的作用下，高温气体充入到壳体中，此时向进液管中注入温度较低的冷却液，使得进液管中的冷却液与充入壳体的高温气体进行热交换，冷却液的温度升高，温度升高后的冷却液通过出液管排除，与此同时部分高温气体被冷凝成液体通过壳体底部的排液孔流入收集管中，通过收集容器收集废液。当收集容器中的废液收集满时，将手动阀关闭，取下收集器，将里面的废液倒出进行处理，在此过程中不需停机，间接的保证了生产产能。

应理解，本实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

Claims (10)

1.一种低压扩散凝结器，其特征在于，包括壳体（1）、高温气体缓冲镂空板（4）、冷却机构和收集机构，所述壳体内具有冷却腔，壳体上设置有分别连通所述冷却腔的高温进气口和高温出气口，所述高温进气口连通高温进气管（2），所述高温出气口连通高温出气管（3）；所述高温气体缓冲镂空板位于所述冷却腔内，且将高温进气口与高温出气口隔离；所述冷却机构位于所述壳体内，或者，所述冷却机构位于所述壳体外层；壳体的底部设置有排液孔，所述排液孔连通所述收集机构。

2.根据权利要求1所述的低压扩散凝结器,其特征在于， 所述冷却机构包括相连接的进液管（5）和出液管（7），所述进液管和所述出液管设置在壳体的内部或外部，进液管和出液管与所述壳体相贴紧。

3.根据权利要求2所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述冷却机构位于所述壳体内，所述进液管和所述出液管设置在所述壳体上下部分，或者进液管和出液管设置在壳体的前后部分，或者进液管和出液管环绕壳体设置。

4.根据权利要求2所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述冷却机构位于所述壳体外层，所述进液管和所述出液管设置在所述壳体上下部分，或者进液管和出液管设置在壳体的前后部分，或者进液管和出液管环绕壳体设置。

5.根据权利要求2所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述进液管和所述出液管之间设置有隔热板（6）。

6.根据权利要求1所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述收集机构包括收集管（8）和收集容器（10），所述收集管与所述收集容器相连接。

7.根据权利要求6所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述收集管上安装有手动阀（9）。

8.根据权利要求1所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述壳体采用不锈钢制成。

9.根据权利要求2所述的低压扩散凝结器,其特征在于，所述进液管和所述出液管中冷却液的温度为15℃～25℃。

10.一种真空装置，其特征在于，所述真空装置包括：如权利要求1～9任一所述的低压扩散凝结器，以及通过高温出气管与所述低压扩散凝结器的高温出气口连通的真空泵。