CN208620827U - 一种靶材加工用大气烧结炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材加工用大气烧结炉，其结构包括烧结炉和移动小车，所述烧结炉的内部设置了加热仓和烧结仓，所述烧结仓设于烧结炉的内部下侧，所述移动小车设于烧结仓内；所述移动小车的顶面设置了放置盘，所述放置盘的顶部外侧设置了压块，所述放置盘共设有三个且等距分布，所述放置盘的顶面中部设置了顶板。烧结炉的内部设置了移动小车，方便工作时对靶材进行移动，将待烧结的靶材放置在放置盘上，在烧结的过程中通过电机来带动放置盘转动，可以提高靶材的受热均匀程度，提高烧结质量，避免靶材受热不均匀而造成开裂的现象，烧结完成后将压块下压，通过顶板可以将烧结完成后的靶材顶出，卸料方便，提高了加工的效率。

Description

一种靶材加工用大气烧结炉

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备技术领域，具体为一种靶材加工用大气烧结炉。

背景技术

靶材复合烧结炉主要适用于靶材的高温烧结工艺。靶材主要应用于电子及信息产业，不论是半导体集成电路、记录介质还是平面显示、工件表面涂装都得到广泛的应用，是一种高附加值的功能材料，随着我国电子信息产业的迅速发展，我国已逐渐成为世界上靶材的最大需求国家之一。烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

目前现有的烧结炉通过单个放入的方式将靶材放在烧结仓内，不能一次放入多个，移动起来不够方便；靶材内部受热不均匀，在烧结的过程中容易造成靶材开裂，造成原料的浪费，烧结完成后不能快速的将其卸下移出，工作效率底下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材加工用大气烧结炉，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材加工用大气烧结炉，其结构包括烧结炉和移动小车，所述烧结炉的内部设置了加热仓和烧结仓，所述烧结仓设于烧结炉的内部下侧，所述移动小车设于烧结仓内；所述移动小车的顶面设置了放置盘，所述放置盘的顶部外侧设置了压块，所述放置盘共设有三个且等距分布，所述放置盘的顶面中部设置了顶板，所述顶板的底面中部与连接杆的顶部转动连接，所述放置盘的内底部设置了缓冲板，所述缓冲板与连接杆固定连接，所述缓冲板的两端设于滑槽内，所述移动小车的内顶部设置了主动齿轮和从动齿轮，所述移动小车中部的连接杆与主动齿轮固定连接且底部与电机的动力输出端固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述移动小车两侧的连接杆与从动齿轮连接且底部与连接块转动连接，所述连接块设于移动小车的内底部两侧，所述从动齿轮和主动齿轮啮合连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述放置盘的内部设置了弹簧，所述弹簧的两端分别与缓冲板和放置盘的表面固定连接，所述放置盘的底面设置了限位块。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述加热仓的内部设置了加热装置，所述烧结仓的顶部设有导热口，所述加热装置的输出端与导热口连通。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述烧结炉的右侧底部设置了导坡，所述导坡呈三角形，所述移动小车的底部设置了移动轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

该烧结炉的内部设置了移动小车，方便工作时对靶材进行移动，将待烧结的靶材放置在放置盘上，在烧结的过程中通过电机来带动放置盘转动，可以提高靶材的受热均匀程度，提高烧结质量，避免靶材受热不均匀而造成开裂的现象，烧结完成后将压块下压，通过顶板可以将烧结完成后的靶材顶出，卸料方便，提高了加工的效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种靶材加工用大气烧结炉的结构示意图；

图2为本实用新型一种靶材加工用大气烧结炉的移动小车的结构示意图；

图3为本实用新型一种靶材加工用大气烧结炉的放置盘的结构示意图。

图中:烧结炉1，导热口2，加热装置3，移动小车4，导坡5，放置盘6，主动齿轮7，从动齿轮8，连接杆9，连接块10，电机11，移动轮12，压块13，顶板14，弹簧15，滑槽16，限位块17，缓冲板18，加热仓19，烧结仓20。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材加工用大气烧结炉1，其结构包括烧结炉1和移动小车4，所述烧结炉1的内部设置了加热仓19和烧结仓20，所述烧结仓20设于烧结炉1的内部下侧，所述移动小车4设于烧结仓20内；所述移动小车4的顶面设置了放置盘6，所述放置盘6的顶部外侧设置了压块13，所述放置盘6共设有三个且等距分布，所述放置盘6的顶面中部设置了顶板14，所述顶板14的底面中部与连接杆9的顶部转动连接，所述放置盘6的内底部设置了缓冲板18，所述缓冲板18与连接杆9固定连接，所述缓冲板18的两端设于滑槽16内，所述移动小车4的内顶部设置了主动齿轮7和从动齿轮8，所述移动小车4中部的连接杆9与主动齿轮7固定连接且底部与电机11的动力输出端固定连接。

所述移动小车4两侧的连接杆9与从动齿轮8连接且底部与连接块10转动连接，所述连接块10设于移动小车4的内底部两侧，所述从动齿轮8和主动齿轮7啮合连接；通过主动齿轮7来带动从动齿轮8，使放置盘6旋转。

所述放置盘6的内部设置了弹簧15，所述弹簧15的两端分别与缓冲板18和放置盘6的表面固定连接，所述放置盘6的底面设置了限位块17；弹簧15给予连接杆9回弹力，来将烧结完成后的靶材顶出后顶板14可以快速的复位。

所述加热仓19的内部设置了加热装置3，所述烧结仓20的顶部设有导热口2，所述加热装置3的输出端与导热口2连通；加热装置3加热后通过导热口2将热能导入烧结仓20。

所述烧结炉1的右侧底部设置了导坡5，所述导坡5呈三角形，所述移动小车4的底部设置了移动轮12；导坡5在移动小车4移出烧结炉1时起到了辅助移动的效果。

本实用新型所述的一种靶材加工用大气烧结炉，在使用之前，将移动小车4移出烧结炉1，并将需要烧结的靶材放在放置盘6上，然后将移动小车4推入烧结炉1，并关闭炉门，启动加热装置3来进行加热，加热装置3加热后通过导热口2将热能导入烧结仓1，开始对靶材进行烧结，烧结的过程中通过电机11带动主动齿轮7，由主动齿轮7带动从动齿轮8从而使放置盘6进行转动，使其受热更加的均匀，待烧结完成后将移动小车4推出，下压压块13使顶板14顶出，从而使靶材卸下，松开压块13后顶板14自动回弹即可进行下次工作。

本实用新型的烧结炉1，导热口2，加热装置3，移动小车4，导坡5，放置盘6，主动齿轮7，从动齿轮8，连接杆9，连接块10，电机11，移动轮12，压块13，顶板14，弹簧15，滑槽16，限位块17，缓冲板18，加热仓19，烧结仓20，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型在烧结炉1的内部设置了移动小车4，方便工作时对靶材进行移动，将待烧结的靶材放置在放置盘6上，在烧结的过程中通过电机11来带动放置盘6转动，可以提高靶材的受热均匀程度，提高烧结质量，避免靶材受热不均匀而造成开裂的现象，烧结完成后将压块13下压，通过顶板14可以将烧结完成后的靶材顶出，卸料方便，提高了加工的效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种靶材加工用大气烧结炉，其结构包括烧结炉(1)和移动小车(4)，其特征在于：所述烧结炉(1)的内部设置了加热仓(19)和烧结仓(20)，所述烧结仓(20)设于烧结炉(1)的内部下侧，所述移动小车(4)设于烧结仓(20)内；

所述移动小车(4)的顶面设置了放置盘(6)，所述放置盘(6)的顶部外侧设置了压块(13)，所述放置盘(6)共设有三个且等距分布，所述放置盘(6)的顶面中部设置了顶板(14)，所述顶板(14)的底面中部与连接杆(9)的顶部转动连接，所述放置盘(6)的内底部设置了缓冲板(18)，所述缓冲板(18)与连接杆(9)固定连接，所述缓冲板(18)的两端设于滑槽(16)内，所述移动小车(4)的内顶部设置了主动齿轮(7)和从动齿轮(8)，所述移动小车(4)中部的连接杆(9)与主动齿轮(7)固定连接且底部与电机(11)的动力输出端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种靶材加工用大气烧结炉，其特征在于：所述移动小车(4)两侧的连接杆(9)与从动齿轮(8)连接且底部与连接块(10)转动连接，所述连接块(10)设于移动小车(4)的内底部两侧，所述从动齿轮(8)和主动齿轮(7)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种靶材加工用大气烧结炉，其特征在于：所述放置盘(6)的内部设置了弹簧(15)，所述弹簧(15)的两端分别与缓冲板(18)和放置盘(6)的表面固定连接，所述放置盘(6)的底面设置了限位块(17)。

4.根据权利要求1所述的一种靶材加工用大气烧结炉，其特征在于：所述加热仓(19)的内部设置了加热装置(3)，所述烧结仓(20)的顶部设有导热口(2)，所述加热装置(3)的输出端与导热口(2)连通。

5.根据权利要求1所述的一种靶材加工用大气烧结炉，其特征在于：所述烧结炉(1)的右侧底部设置了导坡(5)，所述导坡(5)呈三角形，所述移动小车(4)的底部设置了移动轮(12)。