CN208617974U - 镀膜系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种镀膜系统，属于镀膜技术领域。所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备电性连接；所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。采用本实用新型，控制设备可以准确控制承载基板的载板停止在预设位置处，从而，可以准确控制镀膜腔室的入口阀门和出口阀门的关闭与开启，进而有效避免了入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。

Description

镀膜系统

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜系统。

背景技术

太阳能电池制备中，需要使用镀膜系统在太阳能基板(以下统称为基板)上镀一层用于发电的膜。

如图1所示，镀膜系统通常包括镀膜腔室01、控制设备(图1中未示出)、传输设备(图1中未示出)、第一基板检测设备02和第二基板检测设备03，其中，镀膜腔室01的一侧壁上设置有入口和入口阀门，与其相对的另一侧壁上设置有出口和出口阀门，在入口与出口之间形成供传输设备的载板传输的传输通路，基板04放置在载板上，如图1所示，第一基板检测设备02和第二基板检测设备03的信号传输线路(如检测设备发射的激光形成的光传输线路，图1中的虚线即为信号传输线路)平行于载板所在的平面且垂直于载板的传输方向(图1中箭头所指的方向)。

这样，当基板04通过入口进入镀膜腔室01时，由于基板04具有一定的厚度，会遮挡第一基板检测设备02的一部分甚至全部的检测信号，此时控制设备会检测到第一基板检测设备02的检测信号小于预设强度阈值。随后基板04继续沿着传输通路向镀膜腔室的内部传输，当基板04刚开始遮挡第二基板检测设备03的一部分甚至全部的检测信号，控制设备刚开始检测到第一基板检测设备02和第二基板检测设备03的检测信号均小于预设强度阈值时，控制传输设备停止传输，使承载基板04的载板停在预设位置处，控制设备再控制镀膜腔室01的入口阀门关闭，然后对镀膜腔室01内的基板04进行镀膜处理。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现相关技术至少存在以下问题：

镀膜系统中的各种设备在运行的过程中会不可避免的发生振动的情况，长时间使用之后会引起第一基板检测设备或者第二基板检测设备的位置发生偏移，例如，检测通路位于传输通路的上方或者下方，这样也会使控制设备检测到的检测信号小于预设强度阈值，导致控制设备不能准确控制镀膜腔室的入口阀门或者出口阀门的关闭与开启，甚至还会出现入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种镀膜系统，以解决相关技术的问题。所述技术方案如下：

根据本实用新型实施例提供了一种镀膜系统，所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：

所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备、所述第二基板检测设备电性连接；

所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；

所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。

可选的，所述第一基板检测设备包括第一信号收发器和第一信号反射板，所述第二基板检测设备包括第二信号收发器和第二信号反射板；

所述第一信号收发器、所述第二信号收发器均与所述控制设备电性连接；

所述第一信号收发器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第一侧壁上，所述第一信号反射板安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第二侧壁上，且所述第一信号收发器的位置与所述第一信号反射板的位置相对应，所述第一信号收发器的信号发射方向与所述第一信号反射板相垂直；

所述第二信号收发器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第一侧壁上，所述第二信号反射板安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第二侧壁上，且所述第二信号收发器的位置与所述第二信号反射板的位置相对应，所述第二信号收发器的信号发射方向与所述第二信号反射板相垂直。

可选的，所述第一侧壁上设置有与所述第一信号收发器相配合的第一通孔、与所述第二信号收发器相配合的第二通孔，所述第一信号收发器安装在所述第一通孔中，所述第二信号收发器安装在所述第二通孔中；

所述第二侧壁上设置有与所述第一信号反射板相配合的第三通孔、与所述第二信号反射板相配合的第四通孔，所述第一信号反射板安装在所述第三通孔中，所述第二信号反射板安装在所述第四通孔中。

可选的，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔、所述第四通孔中均安装有可被检测信号穿透的隔离层；

所述第一信号收发器位于所述第一通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第二信号收发器位于所述第二通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第一信号反射板位于所述第三通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第二信号反射板位于所述第四通孔中的隔离层远离所述载板的一面。

可选的，所述第一通孔的隔离层上与所述第一信号收发器相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒，所述第二通孔的隔离层上与所述第二信号收发器相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒。

可选的，所述第一基板检测设备包括第一信号发射器和第一信号接收器，所述第二基板检测设备包括第二信号发射器和第二信号接收器；

所述第一信号发射器、所述第一信号接收器、所述第二信号发射器、所述第二信号接收器均为所述控制设备电性连接；

所述第一信号发射器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第一侧壁上，所述第一信号接收器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第二侧壁上，且所述第一信号发射器的位置与所述第一信号接收器的位置相对应；

所述第二信号发射器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第一侧壁上，所述第二信号接收器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第二侧壁上，且所述第二信号发射器的位置与所述第二信号接收器的位置相对应。

可选的，所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的检测信号所在的直线与所述载板沿着传输方向的中轴线垂直相交。

可选的，所述镀膜腔室为真空镀膜腔室。

可选的，所述镀膜系统还包括第一信号放大器和第二信号放大器；

所述第一基板检测设备通过所述第一信号放大器与所述控制设备电性连接，所述第二基板检测设备通过所述第二信号放大器与所述控制设备电性连接。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

本实用新型实施例中，上述镀膜系统中的第一基板检测设备和第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于传输设备的载板所在的平面，而又由于基板的长度和宽度通常都较大，即使第一基板检测设备或者第二基板检测设备的位置发生偏移，该偏移也不会超出基板的长度或者宽度，因此，第一基板检测设备或者第二基板检测设备即使发生偏移，也不会牵涉到检测信号的改变。这样，控制设备从第一基板检测设备和第二基板检测设备接收到检测信号的强度只与基板的存在与否有关，进而，控制设备可以基于接收到的检测信号与预设强度阈值的关系，可以准确控制承载基板的载板停止在预设位置处，从而，控制设备可以准确控制镀膜腔室的入口阀门和出口阀门的关闭与开启，进而有效避免了入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是相关技术提供的一种镀膜系统的结构示意图；

图2是本实施例提供的一种镀膜系统的结构示意图；

图3是本实施例提供的一种镀膜系统的结构示意图；

图4是本实施例提供的一种镀膜系统的镀膜腔室的结构示意图；

图5是本实施例提供的一种镀膜系统的第一基板检测设备的结构示意图。

相关技术中的图例说明

01、镀膜腔室 02、第一基板检测设备

03、第二基板检测设备 04、基板

本实施例中的图例说明

1、镀膜腔室 2、控制设备

3、传输设备 4、第一基板检测设备

5、第二基板检测设备 6、基板

7、隔离层 8、保护筒

9、连接法兰 11、第一侧壁

12、第二侧壁 13、传输空间

14、入口阀门 15、出口阀门

31、载板 41、第一信号收发器

42、第一信号反射板 51、第二信号收发器

52、第二信号反射板 111、第一通孔

112、第二通孔 121、第三通孔

122、第四通孔 A、入口位置

B、出口位置

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

本实用新型实施例提供了一种镀膜系统，该镀膜系统可以应用在任一需要镀膜的领域中，例如，可以应用在太阳能板镀膜技术领域中，也可以应用在防腐蚀的镀膜技术领域中等。

如图2所示，该镀膜系统包括镀膜腔室1、控制设备2、传输设备3、第一基板检测设备4和第二基板检测设备5，其中：控制设备2分别与传输设备3、第一基板检测设备4和第二基板检测设备5电性连接；第一基板检测设备4安装在镀膜腔室1的入口位置，第二基板检测设备5安装在镀膜腔室1的出口位置；第一基板检测设备4和第二基板检测设备5的信号传输线路均垂直于传输设备3的载板31所在的平面。其中，图2中的箭头方向表示基板6在镀膜腔室1中的传输方向，

其中，镀膜腔室1是用于对基板6进行镀膜处理的密封腔室，对于真空镀膜，镀膜腔室为真空腔室。

控制设备2用于控制镀膜系统中其它设备的运行，可以包括处理器和储存器等，处理器可以为CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)等，存储器，可以为RAM(RandomAccess Memory，随机存取存储器)，Flash(闪存)等，用于存储接收到的数据、处理过程所需的数据、处理过程中生成的数据等。

传输设备3可以是传送带、传送轮等，用于传输基板6，使基板6在镀膜腔室1中传输，不仅包括用于承载基板6的载板31还包括驱动电机。

第一基板检测设备4和第二基板检测设备5用于发射或者接受检测信号的设备，以检测基板6的位置信息。

信号传输线路，如图2所示的竖直虚线，是检测信号传输的线路，也即是由第一基板检测设备4或者第二基板检测设备5的检测信号形成的线路，如图2所示，该信号传输线路垂直于载板31所在的平面，也即是垂直于基板6所在的平面。

在实施中，如图2所示，第一基板检测设备4安装在镀膜腔室1的入口位置A处，第一基板检测设备4安装在镀膜腔室1的出口位置B处，而且，第一基板检测设备4和第二基板检测设备5的检测信号形成的信号传输线路均垂直于传输设备3的载板31所在的平面。例如，第一基板检测设备4和第二基板检测设备5的信号传输线路所在的直线可以与载板31沿着传输方向的中轴线垂直相交，当然这种位置关系只是一种示例并不构成限定，又例如，第一基板检测设备4和第二基板检测设备5的信号传输线路所在的直线还可以与载板31沿着传输方向的中轴线异面垂直，也即是信号传输线路与上述中轴线在空间上属于垂直关系，但是二者不相交。

这样，当基板6放置在传输设备3的载板31上开始传输时，控制设备2控制镀膜腔室1的入口阀门14打开，基板6通过入口进入到镀膜腔室1中，此时，控制设备2检测到第一基板检测设备4向其发送的检测信号小于预设强度阈值，则控制入口阀门14保持打开状态，基板6随着传输设备3的载板31继续向镀膜腔室1的内部移动，当基板6刚传输至镀膜腔室的出口位置时，控制设备2检测到第一基板检测设备4向其发送的检测信号仍然小于预设强度阈值，第二基板检测设备5向其发送的检测信号也小于预设强度阈值，则控制设备2控制传输设备3停止传输，使承载基板6的载板31停在预设位置处，之后控制设备2控制入口阀门14关闭，此时，基板6完全位于镀膜腔室1的内部，且位于预设位置处，控制设备2进一步控制镀膜腔室1对基板6进行镀膜处理。

其中，上述的预设位置是镀膜系统对基板6进行镀膜的最佳位置，是技术人员基于基板6的尺寸以及镀膜腔室1的入口与出口之间的距离而指定的位置，基板6位于该预设位置时，镀膜腔室1的入口阀门14和出口阀门15关闭都不会压到基板6。

由上述可知，即使长时间使用镀膜系统中的设备发生振动而导致第一基板检测设备4或者第二基板检测设备5的位置发生偏移，但是由于基板6的尺寸比较大，也即是，基板6的长度和宽度具有一定的尺寸，上述偏移不能超出基板6的长度或者宽度。因此，第一基板检测设备4或者第二基板检测设备5的位置即使发生偏移，也不会牵涉到检测信号的强度的改变，这样，控制设备2从第一基板检测设备4和第二基板检测设备5接收到检测信号的强度只与基板6的存在与否相关，进而，控制设备2可以基于接收到的当前检测信号与预设强度阈值的关系，准确判断出基板6是否完全处于预设位置，并可以准确控制承载基板6的载板31停止在预设位置，从而，控制设备2可以准确控制镀膜腔室1的入口阀门14和出口阀门15的关闭与开启，进而有效避免了入口阀门14或者出口阀门15压碎基板6的情况。

可选的，第一基板检测设备4和第二基板检测设备5可以是兼具发射和接收功能的信号接收器，例如，可以激光接收器，这样，第一基板检测设备4可以安装在入口位置处镀膜腔室1的第一侧壁11上，第二基板检测设备5可以安装在出口位置处的第一侧壁11上，那么为了接收检测信号，相应的，镀膜腔室1的第二侧壁12上可以设置信号反射层，其中，第二侧壁12是与第一侧壁11相对的侧壁。例如，第二侧壁12上与第一基板检测设备4相对应的位置处设置有信号反射层，且第一基板检测设备4的发射的检测信号与该信号反射板垂直相交。同样，第二侧壁12上与第二基板检测设备5相对应的位置处也设置有信号反射层，而且第二基板检测设备5的发射的检测信号与该信号反射板垂直相交。

其中，如图2所示，以镀膜腔室1中传输设备3的载板31传输的传输空间13为基准，传输空间13的上方为上，传输空间13的下方为下，那么，第一侧壁11是镀膜腔室1的上侧壁(也可称为顶壁)，第二侧壁12为镀膜腔室的下侧壁(也可称为底壁)，这样，可以满足第一基板检测设备4和第二基板检测设备5发射的检测信号形成的信号传输线路垂直于载板31所在的平面。

上述的信号反射层可以固定在第二侧壁12的内表面上，例如可以通过胶粘的方式贴合在第二侧壁12的内表面上，当然，也可以在第二侧壁12上开设一个与信号反射层相匹配的开口，信号反射层嵌在该开口中。

可选的，基板检测设备可以由信号接收器和反射板组成，相应的可以是，如图3所示，第一基板检测设备4包括第一信号收发器41和第一信号反射板42，第二基板检测设备5包括第二信号收发器51和第二信号反射板52；第一信号收发器41、第二信号收发器51均与控制设备2电性连接；第一信号收发器41安装在镀膜腔室1的入口位置处的第一侧壁11上，第一信号反射板42安装在镀膜腔室1的入口位置处的第二侧壁12上，且第一信号收发器41的位置与第一信号反射板42的位置相对应，第一信号收发器41的信号发射方向与第一信号反射板42相垂直，例如第一信号收发器41发射的检测信号可以落在第一信号反射板42的中心位置处；第二信号收发器51安装在镀膜腔室1的出口位置处的第一侧壁11上，第二信号反射板52安装在镀膜腔室1的出口位置处的第二侧壁12上，且第二信号收发器51的位置与第二信号反射板52的位置相对应，第二信号收发器51的信号发射方向与第二信号反射板52相垂直，例如，第二信号收发器51发射的检测信号可以落在第二信号反射板52的中心位置处。其中，图3中箭头所指的方向表示基板6在镀膜腔室1中的传输方向。

其中，第一信号收发器41和第二信号收发器51可以是发射激光的收发器，相应的，第一信号反射板42和第二信号反射板52可以是反光板，第一信号反射板42用于将接收的第一信号收发器41发射的激光再反射回第一信号收发器41，同样，第二信号反射板52的作用与第一信号反射板42的作用相同，那么，上述所述的信号传输线路可以是光传输线路。

在实施中，第一信号收发器41在镀膜腔室1的入口位置的安装方式有多种，例如，在镀膜腔室1的入口位置处的第一侧壁11上与第一信号收发器41相对应的位置处设置可开设开口，开口中可以镶嵌可穿透信号的穿透层，这样，第一基板检测设备4可以放置在镀膜腔室1的外侧其信号发射端与第一侧壁11的穿透层相对应，如第一基板检测设备4的信号发射端对准第一侧壁11的开口处的穿透层，同样，第二信号收发器51也可以按照上述方式安装在镀膜腔室1的出口位置处。当然，第一信号收发器41和第二信号收发器51也可以是安装在第一侧壁11上，相应的可以如下：

如图4所示，第一侧壁11上设置有与第一信号收发器41相配合的第一通孔111、与第二信号收发器51相配合的第二通孔112，第一信号收发器41安装在第一通孔111中，第二信号收发器51安装在第二通孔112中；第二侧壁12上设置有与第一信号反射板42相配合的第三通孔121、与第二信号反射板52相配合的第四通孔122，第一信号反射板42安装在第三通孔121中，第二信号反射板52安装在第四通孔122中。需要说明的是，图4中所有通孔的形状只是示例，并不构成限定，例如，如果第一信号收发器41的轮廓为不规则多边形，则第一通孔111的形状为与第一信号收发器41的轮廓相匹配的形状，那么同理，第二通孔112的形状与第二信号收发器51的轮廓形状相匹配，第三通孔121的形状与第一信号反射板42的轮廓形状相匹配，第四通孔122的形状与第二信号反射板52的轮廓形状相匹配。

例如，第一信号收发器41可以镶嵌在第一通孔111中，如图5所示，也可以通过连接法兰9安装在第一通孔111中，同样，第二信号收发器51可以镶嵌在第二通孔112中，也可以如图5所示通过连接法兰9安装在第二通孔112中，第一信号反射板42也是可以通过镶嵌或者连接法兰的方式安装在第三通孔121中，第二信号反射板52也是可以通过镶嵌或者连接法兰的方式安装在第四通孔122中。

需要指出的是，上述第一信号收发器41、第二信号收发器51、第一信号反射板42、第二信号反射板52的具体安装方式，本实施例对此不做限定，能够满足在第一信号收发器41与第一信号反射板42之间、在第二信号收发器51与第二信号反射板52之间形成垂直于载板31所在平面的信号传输线路即可。

这样，当基板6放置在传输设备3的载板31上之后，控制设备2可以控制镀膜腔室1的入口阀门14打开，基板6传输至入口位置时，基板6会阻挡检测信号的传输，导致第一信号收发器41接收不到第一信号反射板42反射回来的检测信号，进而，控制设备2判断出第一信号收发器41当前接收到的检测信号低于预设强度阈值，进一步控制镀膜腔室1的入口阀门14处于打开状态。然后，基板6继续向镀膜腔室1的内部传输，当刚好传输至出口位置的前端时，也即是基板6刚开始阻挡第二信号收发器51的检测信号的传输时，控制设备2可以判断出第一信号收发器41当前接收到的检测信号仍然低于预设强度阈值，第二信号收发器51当前接收到的检测信号也低于预设强度阈值，则控制设备2控制传输设备3停止传输，此时，承载基板6的载板31位于预设位置，之后，控制设备2控制镀膜腔室1的入口阀门14关闭，并控制镀膜腔室1内的抽真空设备以及镀膜设备对基板6进行镀膜处理。

当控制设备2检测到基板6完成镀膜处理之后，控制镀膜腔室1的出口阀门15打开，并控制传输设备3继续传输，基板6在穿过出口位置的过程中，控制设备2检测到第一信号收发器41当前接收到的检测信号高于预设强度阈值，第二信号收发器51当前接收到的检测信号低于预设强度阈值。基板6刚穿过出口位置时，控制设备2可以检测到第一信号收发器41当前接收到的检测信号高于预设强度阈值，第二信号收发器51当前接收到的检测信号也高于预设强度阈值，此时，承载基板6的载板31已完全离开镀膜腔室1，则控制设备2控制镀膜腔室1的出口阀门15关闭，基板6完成镀膜处理。

由上述可知，由于第一信号收发器41和第二信号收发器51的检测信号形成的信号传输线路垂直于载板31所在的平面，使得第一信号收发器41和第二信号收发器51的检测信号的强度不会受基板6的厚度以及第一信号收发器41和第二信号收发器51的偏移而发生改变。进而，控制设备2可以基于检测信号准确控制承载基板6的载板31停止在预设位置处，提高了控制设备2对基板6定位的准确性，减少了基板6因定位不准而发生损坏的情况，从而提高了镀膜系统为基板6镀膜的成功率。

可选的，为了保证镀膜腔室1的密封性，相应的处理可以是，如图5所示(图5中以第一基板检测设备4的情况示例，第二基板检测设备与之类似)，第一通孔111、第二通孔112、第三通孔121、第四通孔122中均安装有可被检测信号穿透的隔离层7；第一信号收发器41位于第一通孔111中的隔离层7远离载板31的一面，第二信号收发器51位于第二通孔112中的隔离层7远离载板31的一面，第一信号反射板42位于第三通孔121中的隔离层7远离载板31的一面，第二信号反射板52位于第四通孔122中的隔离层7远离载板31的一面。

其中，隔离层7主要用于隔离镀膜腔室1的室内与室外的空气，但是不对检测信号进行隔离，也即是，检测信号可以穿透隔离层7。例如，如果第一信号收发器41和第二信号收发器51属于发射光信号的收发器，相应的，隔离层7可以由机玻璃或者透明塑料等而制成。

在实施中，在将第一信号收发器41安装在第一通孔111的过程中，技术人员可以先在第一通孔111中安装隔离层7，之后再在隔离层7的背面安装第一信号收发器41，其中，如图5所示，隔离层7的背面是背对镀膜腔室1的传输空间13的一面，也是隔离层7远离载板31的一面。第二信号收发器51安装在第二通孔112的过程、第一信号反射板42安装在第三通孔121的过程以及第二信号反射板52安装在第四通孔122的过程，同上述类似，此处不再一一赘述。

可选的，镀膜腔室1是从第一侧壁11或者第二侧壁12向基板6沉积镀层，可能会将镀料沉积在第一基板检测设备4和第二基板检测设备5上，例如，镀膜腔室1从第二侧壁12向基板6沉积镀层，那么会有少量的镀料沉积在第一侧壁11上的第一信号收发器41和第二信号收发器51对应的隔离层7处，那么为了减少镀料在隔离层7上的沉积，相应的处理可以是，如图3并参考图5所示，第一通孔111的隔离层7上与第一信号收发器41相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒8，第二通孔112的隔离层7上与第二信号收发器51相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒8。

这样，第一信号收发器41和第二信号收发器51发射的检测信号均是穿过相对应的保护筒8射向相对应的第一信号反射板42和第二信号反射板52，那么第一信号反射板42和第二信号反射板52反射回来的检测信号也会穿过相对应的保护筒8进入相对应的第一信号收发器41和第二信号收发器51中。从而可以相对减少镀料在隔离层7上对应第一信号收发器41和第二信号收发器51的位置处的沉积，而且，在隔离层7上设置保护筒8的方式也方便了技术人员定期取下保护筒8，对保护筒8进行清洗或者更换，技术人员无需拆卸第一信号收发器41和第二信号收发器51，进而省时省力。

可选的，上述基板检测设备还可以由信号发射器和信号接收器组成，相应的可以是，第一基板检测设备4包括第一信号发射器和第一信号接收器，第二基板检测设备5包括第二信号发射器和第二信号接收器；第一信号发射器、第一信号接收器、第二信号发射器、第二信号接收器均为控制设备2电性连接；第一信号发射器安装在镀膜腔室1的入口位置处的第一侧壁11上，第一信号接收器安装在镀膜腔室1的入口位置处的第二侧壁12上，且第一信号发射器的位置与第一信号接收器的位置相对应；第二信号发射器安装在镀膜腔室1的出口位置处的第一侧壁11上，第二信号接收器安装在镀膜腔室1的出口位置处的第二侧壁12上，且第二信号发射器的位置与第二信号接收器的位置相对应。

在实施中，基板检测设备还可以由信号发射器和信号接收器组成的情况下，也即是用第一信号发射器替换上述的第一信号收发器41，用第一信号接收器替换上述的第一信号反射板42；用第二信号发射器替换上述的第二信号收发器51，用第二信号接收器替换上述的第二信号反射板52。那么，第一信号发射器、第一信号接收器、第二信号发射器以及第二信号接收器的安装方式同上述类似，此处便不再一一赘述。

可选的，无论是信号收发器还是信号发射器还是信号接收器向控制设备2发送的信号通常比较弱，而且在传输的过程中还有可能发生衰减，那么提高信号强度，相应的处理可以是，镀膜系统还包括第一信号放大器和第二信号放大器；第一基板检测设备4通过第一信号放大器与控制设备2电性连接，第二基板检测设备5通过第二信号放大器与控制设备2电性连接。

在实施中，以第一基板检测设备4由第一信号收发器41和第一信号反射板42组成、第二基板检测设备5由第二信号收发器51和第二信号反射板52组成示例，第一信号收发器41将发射和接收的检测信号均发送给第一信号放大器，第一信号放大器接收到上述检测信号之后，对检测信号进行放大处理，然后再发送给控制设备2以使控制设备2对放大后的检测信号进行判断，同样，第二信号收发器51将发射和接收的检测信号均发送给第二信号放大器，第二信号放大器接收到上述检测信号之后，对检测信号进行放大处理，然后再发送给控制设备2以使控制设备2对放大后的检测信号进行判断。第一基板检测设备4和第二基板检测设备5由其他类似的信号器组成的情况，与上述类似，此处便不再一一赘述。

当然，第一基板检测设备4和第二基板检测设备5也可以共用一个信号放大器，该信号放大器中可以是设置多个PIN脚，对应不同的设备，例如，一个对应第一基板检测设备4信号发射端，一个对应第一基板检测设备4的信号接收端，一个对应第二基板检测设备5的信号发射端，一个对应第二基板检测设备5的信号接收端。

本实用新型实施例中，上述镀膜系统中的第一基板检测设备和第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于传输设备的载板所在的平面，而又由于基板的长度和宽度通常都较大，即使第一基板检测设备或者第二基板检测设备的位置发生偏移，该偏移也不会超出基板的长度或者宽度，因此，第一基板检测设备或者第二基板检测设备即使发生偏移，也不会牵涉到检测信号的改变。这样，控制设备从第一基板检测设备和第二基板检测设备接收到检测信号的强度只与基板的存在与否有关，进而，控制设备可以基于接收到的检测信号与预设强度阈值的关系，可以准确控制承载基板的载板停止在预设位置处，从而，控制设备可以准确控制镀膜腔室的入口阀门和出口阀门的关闭与开启，进而有效避免了入口阀门或者出口阀门压碎基板的情况。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括镀膜腔室、控制设备、传输设备、第一基板检测设备和第二基板检测设备，其中：

所述控制设备分别与所述传输设备、所述第一基板检测设备、所述第二基板检测设备电性连接；

所述第一基板检测设备安装在所述镀膜腔室的入口位置，所述第二基板检测设备安装在所述镀膜腔室的出口位置；

所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的信号传输线路均垂直于所述传输设备的载板所在的平面。

2.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一基板检测设备包括第一信号收发器和第一信号反射板，所述第二基板检测设备包括第二信号收发器和第二信号反射板；

所述第一信号收发器、所述第二信号收发器均与所述控制设备电性连接；

所述第一信号收发器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第一侧壁上，所述第一信号反射板安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第二侧壁上，且所述第一信号收发器的位置与所述第一信号反射板的位置相对应，所述第一信号收发器的信号发射方向与所述第一信号反射板相垂直；

所述第二信号收发器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第一侧壁上，所述第二信号反射板安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第二侧壁上，且所述第二信号收发器的位置与所述第二信号反射板的位置相对应，所述第二信号收发器的信号发射方向与所述第二信号反射板相垂直。

3.根据权利要求2所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一侧壁上设置有与所述第一信号收发器相配合的第一通孔、与所述第二信号收发器相配合的第二通孔，所述第一信号收发器安装在所述第一通孔中，所述第二信号收发器安装在所述第二通孔中；

所述第二侧壁上设置有与所述第一信号反射板相配合的第三通孔、与所述第二信号反射板相配合的第四通孔，所述第一信号反射板安装在所述第三通孔中，所述第二信号反射板安装在所述第四通孔中。

4.根据权利要求3所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔、所述第四通孔中均安装有可被检测信号穿透的隔离层；

所述第一信号收发器位于所述第一通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第二信号收发器位于所述第二通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第一信号反射板位于所述第三通孔中的隔离层远离所述载板的一面，所述第二信号反射板位于所述第四通孔中的隔离层远离所述载板的一面。

5.根据权利要求4所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一通孔的隔离层上与所述第一信号收发器相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒，所述第二通孔的隔离层上与所述第二信号收发器相对应的位置处设置有沿着信号发射方向的保护筒。

6.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一基板检测设备包括第一信号发射器和第一信号接收器，所述第二基板检测设备包括第二信号发射器和第二信号接收器；

所述第一信号发射器、所述第一信号接收器、所述第二信号发射器、所述第二信号接收器均为所述控制设备电性连接；

所述第一信号发射器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第一侧壁上，所述第一信号接收器安装在所述镀膜腔室的入口位置处的第二侧壁上，且所述第一信号发射器的位置与所述第一信号接收器的位置相对应；

所述第二信号发射器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第一侧壁上，所述第二信号接收器安装在所述镀膜腔室的出口位置处的第二侧壁上，且所述第二信号发射器的位置与所述第二信号接收器的位置相对应。

7.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜系统，其特征在于，所述第一基板检测设备和所述第二基板检测设备的检测信号所在的直线与所述载板沿着传输方向的中轴线垂直相交。

8.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜系统，其特征在于，所述镀膜腔室为真空镀膜腔室。

9.根据权利要求1-6任一项所述的镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统还包括第一信号放大器和第二信号放大器；

所述第一基板检测设备通过所述第一信号放大器与所述控制设备电性连接，所述第二基板检测设备通过所述第二信号放大器与所述控制设备电性连接。