CN208583738U - 一种用于圆管ito靶材的表面清理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，包括底座，所述底座上表面中心处固定有废渣仓，所述底座上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架，所述支撑架一侧外表壁固定有电机，且电机通过转轴穿过支撑架内的轴承与防脱块传动连接，所述防脱块内侧焊接有卡接柱，所述支撑架顶部焊接有滑杆，且滑杆表面滑动连接有夹持环，所述夹持环上表面焊接有传动杆，所述夹持环内表面设置有垫块，所述夹持环下表面通过连接杆与安装板连接，所述安装板上表面两侧对称固定有喷气管，所述安装板下表面连接有毛刷。本实用新型中，该装置整体结构设计简单合理，操作灵活便捷，运行安全稳定，具有较强的实用性。

Description

一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置

技术领域

本实用新型涉及ITO靶材生产加工技术领域，尤其涉及一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置。

背景技术

ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1600度，通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体，ITO靶材用于生产ITO薄膜，ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料，通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上形成的薄膜，ITO薄膜具有导电性和透光性，厚度一般30纳米-200纳米，在圆管ITO靶材的生产加工中，需要对其表面进行清理处理，以提高圆管靶材的整洁性。

然而现有的圆管ITO靶材的表面清理装置在使用过程中存在着一些不足之处，在清理过程中容易对圆管靶材造成意外损坏现象，同时工作环境的整洁性不够完善，降低了装置的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，包括底座，所述底座上表面中心处固定有废渣仓，所述底座上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架，所述支撑架一侧外表壁固定有电机，且电机通过转轴穿过支撑架内的轴承与防脱块传动连接，所述防脱块内侧焊接有卡接柱，所述支撑架顶部焊接有滑杆，且滑杆表面滑动连接有夹持环，所述夹持环上表面焊接有传动杆，所述夹持环内表面设置有垫块，所述夹持环下表面通过连接杆与安装板连接，所述安装板上表面两侧对称固定有喷气管，所述安装板下表面连接有毛刷。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述卡接柱共安装有两个，且两个卡接柱均处于同一水平面上。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述传动杆两侧外表面对称焊接有导气管。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述喷气管共安装有两个，且两个喷气管关于安装板的竖直中线对称。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述连接杆为三段式竖直结构，其两端为连接块，中端为弹簧管。

本实用新型中，首先通过设置的传动杆，能够将外界气动力作用在夹持环上，使得夹持环在滑杆表面左右移动，从而控制毛刷对圆管靶材表面进行清理，提高了装置的操作灵活性，其次通过设置的连接杆，并且连接杆内设置有弹簧管，能够对安装板受到的挤压力起到缓冲效果，从而避免毛刷对圆管靶材表面产生过大的挤压力，降低了圆管靶材的使用磨损现象，最后通过设置的喷气管，能够在毛刷对圆管靶材表面清理之后，将毛刷表面的残渣吹落落入废渣仓内收集，在提高毛刷整洁度的同时，也便于装置的长时间连续使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置的结构示意图；

图2为本实用新型清理机构的结构示意图；

图3为本实用新型夹持环的侧视结构示意图；

图4为本实用新型卡接柱的结构示意图。

图例说明：

1-支撑架、2-电机、3-轴承、4-底座、5-废渣仓、6-卡接柱、7-滑杆、8-夹持环、9-传动杆、10-安装板、11-喷气管、12-连接杆、13-毛刷、14-垫块、15-转轴、16-防脱块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，包括底座4，底座4上表面中心处固定有废渣仓5，底座4上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架1，支撑架1一侧外表壁固定有电机2，且电机2通过转轴15穿过支撑架1内的轴承3与防脱块16传动连接，防脱块16内侧焊接有卡接柱6，支撑架1顶部焊接有滑杆7，且滑杆7表面滑动连接有夹持环8，夹持环8上表面焊接有传动杆9，夹持环8内表面设置有垫块14，夹持环8下表面通过连接杆12与安装板10连接，安装板10上表面两侧对称固定有喷气管11，安装板10下表面连接有毛刷13。

卡接柱6共安装有两个，且两个卡接柱6均处于同一水平面上，传动杆9两侧外表面对称焊接有导气管，可以连接到外接气动设备，并且将气动力传导在传动杆9上，带动夹持环8内滑杆7上移动，喷气管11共安装有两个，且两个喷气管11关于安装板10的竖直中线对称，连接杆12为三段式竖直结构，其两端为连接块，中端为弹簧管，能够对安装板10受到的挤压力起到缓冲减震的作用，防止毛刷对圆管靶材造成过大的摩擦力。

固定有电机2的支撑架1为固定结构，不能够移动，而另一侧的支撑架1为可移动结构，其下表面通过定位柱与底座4卡接固定，从而调节两个卡接柱6之间的相对距离，对圆管靶材起到稳定的夹持固定作用。

工作原理：使用时，通过底座4将装置安装在工作地点，将圆管靶材套接在卡接柱6表面，然后将一侧支撑架1卡接固定，传动杆9连接到气动设备提供动力，此时启动电机2，电机2通过转轴15穿过轴承3带动卡接柱6旋转，进而使得圆管靶材旋转，之后夹持环8受到推动力在滑杆7上来回移动，使得毛刷13对圆管靶材进行清理，而喷气管11喷出气体将毛刷13表面的杂质吹落进入废渣仓5内收集，从而使得该装置完整运行。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，包括底座(4)，其特征在于，所述底座(4)上表面中心处固定有废渣仓(5)，所述底座(4)上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架(1)，所述支撑架(1)一侧外表壁固定有电机(2)，且电机(2)通过转轴(15)穿过支撑架(1)内的轴承(3)与防脱块(16)传动连接，所述防脱块(16)内侧焊接有卡接柱(6)，所述支撑架(1)顶部焊接有滑杆(7)，且滑杆(7)表面滑动连接有夹持环(8)，所述夹持环(8)上表面焊接有传动杆(9)，所述夹持环(8)内表面设置有垫块(14)，所述夹持环(8)下表面通过连接杆(12)与安装板(10)连接，所述安装板(10)上表面两侧对称固定有喷气管(11)，所述安装板(10)下表面连接有毛刷(13)。

2.根据权利要求1所述的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，其特征在于，所述卡接柱(6)共安装有两个，且两个卡接柱(6)均处于同一水平面上。

3.根据权利要求1所述的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，其特征在于，所述传动杆(9)两侧外表面对称焊接有导气管。

4.根据权利要求1所述的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，其特征在于，所述喷气管(11)共安装有两个，且两个喷气管(11)关于安装板(10)的竖直中线对称。

5.根据权利要求1所述的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置，其特征在于，所述连接杆(12)为三段式竖直结构，其两端为连接块，中端为弹簧管。