CN208574480U - 一种生产硅料用ua光氧机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种生产硅料用UA光氧机，涉及硅料生产设备领域。该生产硅料用UA光氧机，包括外壳，所述外壳的两侧均固定连接有支架，所述支架的底部固定连接有支撑腿，所述外壳的正面通过合页活动连接有密封门，所述密封门的表面固定安装有门开关，所述密封门的正面固定连接有操作开关，所述外壳的左侧底部相通有进气管，所述外壳的右侧底部相通有出气管。该生产硅料用UA光氧机，以光氧催化处理废气代替传统的碱液处理，可以避免高盐废水的产生，减小对空气的污染，通过等离子发生器可以产生低温等离子，与硅料生产废气中的污染分子作用，使其分解，光氧净化器通过紫外线产生臭氧，从而将污染物氧化分解，相比传统的处理装置更加环保。

Description

一种生产硅料用UA光氧机

技术领域

本实用新型涉及硅料生产设备领域，具体为一种生产硅料用UA光氧机。

背景技术

高纯的单晶硅是重要的半导体材料，在单晶硅中掺入微量的第IIIA族元素，形成p型硅半导体，掺入微量的第VA族元素，形成n型半导体，p型半导体和n型半导体结合在一起形成p-n结，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能，在开发能源方面是一种很有前途的材料，另外广泛应用的二极管、三极管、晶闸管、场效应管和各种集成电路都是用硅做的原材料。

硅料生产过程中常常会产生大量废气，如果不经处理就直接排放会对环境造成很大的污染，现在工厂对废气和废液一般通过碱液淋洗进行处理，这样会产生大量的高盐废水，不仅对环境有污染，还造成大量的资源浪费，很不环保。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种生产硅料用UA光氧机，解决了传统的硅料废气处理装置，会对环境有污染，还造成大量的资源浪费的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种生产硅料用UA光氧机，包括外壳，所述外壳的两侧均固定连接有支架，所述支架的底部固定连接有支撑腿，所述外壳的正面通过合页活动连接有密封门，所述密封门的表面固定安装有门开关，所述密封门的正面固定连接有操作开关，所述外壳的左侧底部相通有进气管，所述外壳的右侧底部相通有出气管。

所述外壳的右侧且位于出气管的表面设置有过滤箱，所述过滤箱的侧面与支撑腿的侧面固定连接，所述外壳的底部相通有排液管，所述外壳的内壁表面固定安装有两个等离子发生器，所述外壳的内壁表面且位于等离子发生器的上方固定连接有光氧净化器，所述外壳的内壁表面且位于光氧净化器之间固定连接有多个催化装置，所述催化装置包括边框，所述边框的内壁表面通过灯座固定安装有紫外线灯，所述边框的内壁表面且位于紫外线灯的两侧均固定连接有催化剂网。

优选的，所述排液管的表面固定安装有控制阀门，所述外壳的底部开设有出液孔。

优选的，所述出液孔的底部与排液管的顶部相通，所述外壳的内壁表面且位于出液孔的上方固定连接有导流板。

优选的，所述外壳的侧面固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有风机。

优选的，所述风机的输入端和输出端均相通有导气管，所述导气管远离风机的一端均贯穿外壳并延伸至外壳的内部。

优选的，所述过滤箱的内壁表面从左到右依次分别设置有粗过滤层、吸附层和精过滤层，所述粗过滤层、吸附层和精过滤层的表面均与过滤箱的内壁表面固定连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种生产硅料用UA光氧机。具备以下有益效果：

1、该生产硅料用UA光氧机，以光氧催化处理废气代替传统的碱液处理，可以避免高盐废水的产生，减小对空气的污染，通过等离子发生器可以产生低温等离子，与硅料生产废气中的污染分子作用，使其分解，光氧净化器通过紫外线产生臭氧，从而将污染物氧化分解，相比传统的处理装置更加环保，解决了传统的硅料废气处理装置，会对环境有污染，还造成大量的资源浪费的问题。

2、该生产硅料用UA光氧机，设置有风机，通过风机可以将出气管处的部分废气输送到进气管处，使废气再次进行氧化分解，从而使废气的处理效果更好、处理率更高，外壳设置成U型，可以有效避免废液粘附在外壳内壁，通过排液管可以将外壳内的废液排出，通过过滤箱可以在废气排放前再次进行过滤，从而使废气的处理效果更好，整个装置结构简单，相比传统的废气处理效果更好、更加节能环保。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构剖视图；

图3为本实用新型催化装置结构右视剖面图；

图4为本实用新型过滤箱结构剖视图。

图中：1外壳、2支架、3支撑腿、4密封门、5门开关、6操作开关、7进气管、8出气管、9过滤箱、10排液管、11控制阀门、12等离子发生器、13光氧净化器、14催化装置、15边框、16紫外线灯、17催化剂网、18出液孔、19导流板、20支撑板、21风机、22导气管、23粗过滤层、24吸附层、25精过滤层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种生产硅料用UA光氧机，如图1-4所示，包括外壳1，外壳1的两侧均固定连接有支架2，支架2的底部固定连接有支撑腿3，外壳1的正面通过合页活动连接有密封门4，密封门4的表面固定安装有门开关5，转动门开关5可以将密封门4打开，便于对内部进行检修，密封门4的正面固定连接有操作开关6，外壳1的左侧底部相通有进气管7，硅料生产中的废气从进气管7通入外壳1内部，外壳1的右侧底部相通有出气管8，处理完毕的气体从出气管8排出。

外壳1的右侧且位于出气管8的表面设置有过滤箱9，过滤箱9的内壁表面从左到右依次分别设置有粗过滤层23、吸附层24和精过滤层25，粗过滤层23、吸附层24和精过滤层25的表面均与过滤箱9的内壁表面固定连接，通过过滤箱9可以在废气排放前再次进行过滤，从而使废气的处理效果更好，过滤箱9的侧面与支撑腿3的侧面固定连接，外壳1的底部相通有排液管10，排液管10的表面固定安装有控制阀门11，外壳1的底部开设有出液孔18，出液孔18的底部与排液管10的顶部相通，外壳1的内壁表面且位于出液孔18的上方固定连接有导流板19，外壳1设置成U型，可以有效避免废液粘附在外壳1内壁，通过排液管10可以将外壳1内的废液排出，外壳1的内壁表面固定安装有两个等离子发生器12，通过等离子发生器12可以产生低温等离子，与硅料生产废气中的污染分子作用，使其分解，外壳1的内壁表面且位于等离子发生器12的上方固定连接有光氧净化器13，光氧净化器13通过紫外线产生臭氧，从而将污染物氧化分解，外壳1的内壁表面且位于光氧净化器13之间固定连接有多个催化装置14，催化装置14包括边框15，边框15的内壁表面通过灯座固定安装有紫外线灯16，紫外线灯16发射紫外线，边框15的内壁表面且位于紫外线灯16的两侧均固定连接有催化剂网17，外壳1的侧面固定连接有支撑板20，支撑板20的顶部固定安装有风机21，风机21的输入端和输出端均相通有导气管22，导气管22远离风机21的一端均贯穿外壳1并延伸至外壳1的内部，通过风机21可以将出气管8处的部分废气输送到进气管7处，使废气再次进行氧化分解，从而使废气的处理效果更好、处理率更高，整个装置结构简单，相比传统的废气处理效果更好、更加节能环保。

工作原理：使用时，首先在操作开关6上进行操作，启动装置的电源，将硅料生产中的废气从进气管7通入外壳1内部，等离子发生器12产生低温等离子，低温等离子与硅料生产废气中的污染分子作用，使废气中的分子分解，紫外线灯16发射紫外线，光氧净化器13在紫外线的作用下产生臭氧，在催化剂网17的催化剂作用下将污染物氧化分解，处理后的废气部分穿过导气管22，在风机21的作用下再次进入外壳1中，部分穿过出气管8，经过过滤箱9过滤后排出。

综上所述，该生产硅料用UA光氧机，以光氧催化处理废气代替传统的碱液处理，可以避免高盐废水的产生，减小对空气的污染，通过等离子发生器12可以产生低温等离子，与硅料生产废气中的污染分子作用，使其分解，光氧净化器13通过紫外线产生臭氧，从而将污染物氧化分解，相比传统的处理装置更加环保，解决了传统的硅料废气处理装置，会对环境有污染，还造成大量的资源浪费的问题。

该生产硅料用UA光氧机，设置有风机21，通过风机21可以将出气管8处的部分废气输送到进气管7处，使废气再次进行氧化分解，从而使废气的处理效果更好、处理率更高，外壳1设置成U型，可以有效避免废液粘附在外壳1内壁，通过排液管10可以将外壳1内的废液排出，通过过滤箱9可以在废气排放前再次进行过滤，从而使废气的处理效果更好，整个装置结构简单，相比传统的废气处理效果更好、更加节能环保。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种生产硅料用UA光氧机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的两侧均固定连接有支架(2)，所述支架(2)的底部固定连接有支撑腿(3)，所述外壳(1)的正面通过合页活动连接有密封门(4)，所述密封门(4)的表面固定安装有门开关(5)，所述密封门(4)的正面固定连接有操作开关(6)，所述外壳(1)的左侧底部相通有进气管(7)，所述外壳(1)的右侧底部相通有出气管(8)；

所述外壳(1)的右侧且位于出气管(8)的表面设置有过滤箱(9)，所述过滤箱(9)的侧面与支撑腿(3)的侧面固定连接，所述外壳(1)的底部相通有排液管(10)，所述外壳(1)的内壁表面固定安装有两个等离子发生器(12)，所述外壳(1)的内壁表面且位于等离子发生器(12)的上方固定连接有光氧净化器(13)，所述外壳(1)的内壁表面且位于光氧净化器(13)之间固定连接有多个催化装置(14)，所述催化装置(14)包括边框(15)，所述边框(15)的内壁表面通过灯座固定安装有紫外线灯(16)，所述边框(15)的内壁表面且位于紫外线灯(16)的两侧均固定连接有催化剂网(17)。

2.根据权利要求1所述的一种生产硅料用UA光氧机，其特征在于：所述排液管(10)的表面固定安装有控制阀门(11)，所述外壳(1)的底部开设有出液孔(18)。

3.根据权利要求2所述的一种生产硅料用UA光氧机，其特征在于：所述出液孔(18)的底部与排液管(10)的顶部相通，所述外壳(1)的内壁表面且位于出液孔(18)的上方固定连接有导流板(19)。

4.根据权利要求1所述的一种生产硅料用UA光氧机，其特征在于：所述外壳(1)的侧面固定连接有支撑板(20)，所述支撑板(20)的顶部固定安装有风机(21)。

5.根据权利要求4所述的一种生产硅料用UA光氧机，其特征在于：所述风机(21)的输入端和输出端均相通有导气管(22)，所述导气管(22)远离风机(21)的一端均贯穿外壳(1)并延伸至外壳(1)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种生产硅料用UA光氧机，其特征在于：所述过滤箱(9)的内壁表面从左到右依次分别设置有粗过滤层(23)、吸附层(24)和精过滤层(25)，所述粗过滤层(23)、吸附层(24)和精过滤层(25)的表面均与过滤箱(9)的内壁表面固定连接。