CN208570528U - 一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台 - Google Patents
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Abstract
一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，晶体定向仪包括工作台、X射线发生器、测角仪和电气控制机构，测量平台包括测样底盘和定位机构，测样底盘的下表面设有滑座，侧面设有定位机构，工作台上设有与滑座相匹配的圆形导轨；定位机构包括立柱和杆状指针，立柱垂直设置在测样底盘的侧面，立柱的顶端设有开槽，杆状指针水平设置在开槽内，并将与定位槽切合的尖端指向测样底盘内侧，杆状指针与尖端相对的一端设有数显角度仪；本实用新型在原有晶体定向仪的基础上，在工作台上增加测量平台，不改变原有的晶体定向仪的结构，适用性强，结构调整简单、方便，时间短，提高了设备使用的效率，便于解决6英寸定位槽晶向偏差的测量问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体的说是一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台。
背景技术
半导体行业中，晶棒滚磨以后，需要一个定位面来确定晶棒的晶向，定位槽就是一种定位面，在对定位面的偏差进行测量时，需要把晶棒定位面贴在定向仪上，激光打在定位面上，反射到接受管内，从而显示数值，转动手动摇轮，当表针达到峰值时，表上显示的数值是晶棒的晶向偏差，知道晶向偏差的大小，能够更有利于后道工序加工，但定位槽的测量，需要把定位槽对准确定的方向，把晶棒弧面贴在定向仪上，激光打在弧面上，反射到接受管内，从而显示数值，转动手动摇轮，当指针达到峰值时，表上显示的数值是晶棒的晶向偏差。定向仪是检测滚磨后晶棒晶向偏差的重要设备，目前行业中用于检测晶向偏差的定向仪大部分都是用于检测定位面是平面结构，检测定位槽晶向偏差的定向仪主要用于8英寸和12英寸，但是用于测量6英寸定位槽的定向仪较少，但6英寸定位槽的规格也越来越多，常规的定向仪无法准确测量晶向偏差，对于晶棒的后续加工存在很大的风险，因此急需一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，便于解决晶体定向仪对6英寸定位槽晶向偏差的测量问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题的不足，本实用新型提出一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，在原有晶体定向仪的基础上，在工作台上增加测量平台，便于解决6英寸定位槽晶向偏差的测量问题。
本实用新型为解决上述技术问题的不足而采用的技术方案是：一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，晶体定向仪包括工作台、X射线发生器、测角仪和电气控制机构，所述测量平台包括测样底盘和定位机构，所述测样底盘的下表面设有滑座，侧面设有定位机构，所述工作台上设有与所述滑座相匹配的圆形导轨；所述定位机构包括立柱和杆状指针，所述立柱垂直设置在所述测样底盘的侧面，所述立柱的顶端设有开槽，所述杆状指针水平设置在所述开槽内，并将与定位槽切合的尖端指向所述测样底盘内侧，所述杆状指针与尖端相对的一端设有数显角度仪。
进一步的，所述开槽的深度为所述立柱的一半，所述开槽的槽底设有微型气缸，所述微型气缸与所述杆状指针的下表面连接，并带动所述杆状指针在所述开槽内上下滑动。
进一步的，所述滑座包括2个，对称设置在所述测样底盘的下表面。
进一步的，所述微型气缸上连接有空气压缩机。
进一步的，所述滑座上均设置有控制器，所述控制器控制所述滑座在所述圆形导轨上做0~30°圆弧运动。
进一步的，所述控制器和所述数显角度仪均与所述电气控制机构电连接。
本实用新型的有益效果是：
（1）本实用新型的测量平台包括测样底盘和定位机构，测样底盘下表面设有滑座，相对应在工作台上设有圆形导轨，滑座上设有控制器，控制器可控制滑座在圆形导轨上做0~30°的圆弧运动；用于与6英寸定位槽切合的定位机构设置在测样底盘上，定位机构包括立柱和杆状指针，杆状指针可在立柱的开槽内上下滑动，以调整与6英寸定位槽之间的高度配合，杆状指针的尖端主要起到定位的作用，尖端与6英寸定位槽完全吻合，可通过转动测样底盘使尖端在不同角度切合定位槽，使晶棒弧面能够到0°方向，先通过晶体定向仪发射的激光确定等效面，再通过等效面来确定定位槽的晶向偏差；
（2）本实用新型不改变原有的晶体定向仪的结构，仅在工作台上增加用于测量6英寸定位槽的平台，适用性强，现有的晶体定向仪在测量晶棒方向时，每个晶向的测量角度不同，需要圆周分布的多个顶丝杆来调整晶坨测量面的角度变化，这样的结构调整费时、费力，不容易保证角度的稳定，且影响设备的使用效率，本实用新型设置的测量平台，结构调整简单、方便，时间短，提高了设备使用的效率。
附图说明
图1是6英寸定位槽测量平台的俯视图；
图2是测样底盘的结构示意图；
图3是定位机构的结构示意图；
图4是定位机构的侧视图；
附图标记：1、工作台，101、圆形导轨，2、测样底盘，201、滑座，3、定位机构，4、立柱，401、开槽，5、杆状指针，501、尖端，6、数显角度仪，7、微型气缸。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型做进一步的阐述。
具体实施方式：
一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，晶体定向仪包括工作台1、X射线发生器、测角仪和电气控制机构，在不改变原有晶体定向仪的基础上，在工作台1上设置了用于切合6英寸定位槽的测量平台；
所述测量平台包括测样底盘2和定位机构3，所述测样底盘2的下表面设有滑座201，所述滑座201包括2个，对称设置在所述测样底盘2的下表面，侧面设有定位机构3，所述工作台1上设有与所述滑座201相匹配的圆形导轨101，所述滑座201上均设置有控制器，所述控制器与所述电气控制机构电连接，所述控制器控制所述滑座201在所述圆形导轨101上做0~30°圆弧运动；
所述定位机构3包括立柱4和杆状指针5，所述立柱4垂直设置在所述测样底盘2的侧面，所述立柱4的顶端设有开槽401，所述杆状指针5水平设置在所述开槽401内，并将与定位槽切合的尖端501指向所述测样底盘2内侧，所述开槽401的深度为所述立柱4的一半，所述开槽401的槽底设有微型气缸7，所述微型气缸7上连接有空气压缩机，所述微型气缸7与所述杆状指针5的下表面连接，并带动所述杆状指针5在所述开槽401内上下滑动，通过杆状指针5在立柱4的开槽401内上下滑动，以调整与6英寸定位槽之间的高度配合，使定位槽与尖端501更切合，提高晶体定向仪的测量精度；所述杆状指针5与尖端501相对的一端设有数显角度仪6，所述数显角度仪6与所述电气控制机构电连接，用于显示测样底盘2转过的角度；杆状指针5的尖端501主要起到定位的作用，尖端501与6英寸定位槽完全吻合，可通过转动测样底盘2使尖端501在不同角度切合定位槽，使晶棒弧面能够到0°方向，先通过晶体定向仪发射的激光确定等效面，再通过等效面来确定定位槽的晶向偏差。
本实用新型的一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台的测量过程如下：
将测样底盘2放在晶体定向仪的工作台1上，测量时，以工作台1长边为基准，在不转动测样底盘2时，测样底盘2的长边与工作台1的长边平行，此时定位机构3上的杆状指针5与工作台1的长边呈90°，校准标准片，对100棒110面的定位槽，将定位槽对准杆状指针5，让尖端501切合定位槽，晶棒的弧面能够到0°方向，转动手动摇轮，当指针达到峰值时，表上显示的数值是晶棒的晶向偏差，确定晶向偏差的大小，并记录晶向偏差数值；
通过控制滑座201在圆形导轨101上转动30°，使杆状指针5与工作台1的长边呈120°，对111棒110面的定位槽，将定位槽对准杆状指针5，让尖端501切合定位槽，晶棒的弧面能够到0°方向，转动手动摇轮，当指针达到峰值时，表上显示的数值是晶棒的晶向偏差，确定晶向偏差的大小，并记录晶向偏差数值。
本实用新型不改变原有的晶体定向仪的结构，仅在工作台上增加用于测量6英寸定位槽的平台，适用性强，现有的晶体定向仪在测量晶棒方向时，每个晶向的测量角度不同，需要圆周分布的多个顶丝杆来调整晶坨测量面的角度变化，这样的结构调整费时、费力，不容易保证角度的稳定，且影响设备的使用效率，本实用新型设置的测量平台，结构调整简单、方便，时间短，提高了设备使用的效率。
对所公开的实施例的上述说明，仅为了使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (6)
1.一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，晶体定向仪包括工作台、X射线发生器、测角仪和电气控制机构，其特征在于，所述测量平台包括测样底盘和定位机构，所述测样底盘的下表面设有滑座，侧面设有定位机构，所述工作台上设有与所述滑座相匹配的圆形导轨；所述定位机构包括立柱和杆状指针，所述立柱垂直设置在所述测样底盘的侧面，所述立柱的顶端设有开槽，所述杆状指针水平设置在所述开槽内，并将与定位槽切合的尖端指向所述测样底盘内侧，所述杆状指针与尖端相对的一端设有数显角度仪。
2.如权利要求1所述的一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，其特征在于，所述开槽的深度为所述立柱的一半，所述开槽的槽底设有微型气缸，所述微型气缸与所述杆状指针的下表面连接，并带动所述杆状指针在所述开槽内上下滑动。
3.如权利要求1所述的一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，其特征在于，所述滑座包括2个，对称设置在所述测样底盘的下表面。
4.如权利要求2所述的一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，其特征在于，所述微型气缸上连接有空气压缩机。
5.如权利要求3所述的一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，其特征在于，所述滑座上均设置有控制器，所述控制器控制所述滑座在所述圆形导轨上做0~30°圆弧运动。
6.如权利要求5所述的一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台，其特征在于，所述控制器和所述数显角度仪均与所述电气控制机构电连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821103427.4U CN208570528U (zh) | 2018-07-12 | 2018-07-12 | 一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台 |
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| CN201821103427.4U CN208570528U (zh) | 2018-07-12 | 2018-07-12 | 一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208570528U true CN208570528U (zh) | 2019-03-01 |
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ID=65492744
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| CN201821103427.4U Active CN208570528U (zh) | 2018-07-12 | 2018-07-12 | 一种晶体定向仪用6英寸定位槽测量平台 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN208570528U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112757150A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-05-07 | 南京航空航天大学 | 一种电子器件用氮化镓单晶材料的快速抛光方法 |
| CN114485563A (zh) * | 2022-02-10 | 2022-05-13 | 尹永凤 | 一种国土资源规划用土地水平度测量装置 |
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2018
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