CN208488646U - 清洗系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种清洗系统。本实用新型提供的清洗系统，包括至少一个清洗装置和至少一个移动装置，该移动装置包括用于夹持被清洗件的机械手，以及用于承接被清洗件在转移过程中所滴落的清洗液的承接机构。该结构的清洗系统，被清洗件在清洗装置清洗后的转移由机械手完成，在被清洗件的下方设置承接机构，用于承接被清洗件由清洗装置中移出时所滴落的清洗液，有效解决了现有清洗操作中清洗液易滴落到清洗装置上或清洗装置周围而造成环境污染的难题，降低设备的维护清洁频率，减少人力投入；同时也避免了滴落的清洗液挥发而造成空气中清洗液浓度过高发而带来的安全隐患。

Description

清洗系统

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种清洗系统。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)作为一种电流型发光器件，因其具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。

在显示器件的制造过程中，需要通过掩膜版的遮挡作用在基板上形成所需图案，掩膜版在显示器件的制造过程中发挥着重要的作用。例如，使用掩膜版通过步进式(sideby side)位移在基板的表面依次蒸镀形成红光发光层、绿光发光层和蓝光发光层的阵列图案，从而实现有机发光层的蒸镀。但随着使用时间和蒸镀次数的增加，制造有机发光层的有机材料等将于掩膜版的表面及其蒸镀孔内逐渐累积，堵塞蒸镀孔，甚至导致掩膜版发生形变，致使有机材料无法准确蒸镀至基板上形成所需的有机发光层，从而影响生产良率并增加生产成本。

为解决上述掩膜版所受污染的问题，需要对掩膜版进行及时清洁。常用的清洁方法包括：湿式药液浸泡、干式吸集、干式物理粘附、干式等离子等。其中，湿式药液浸泡是将掩膜版表面的污染物利用多种有机药液在多个清洗槽中浸泡以去除。由于掩膜版在槽与槽之间的转移由机械手来完成，掩膜版在槽与槽之间转移时，其本身以及机械手会携带出部分有机药液而滴落到清洗设备上或清洗设备的周围的区域，从而污染环境，而且清洁难度大，缩短了清洗设备的维护清洁周期，加大了人力资金的投入；同时，有机药液滴落到清洗槽外部也容易造成清洗环境中有机药液浓度升高，增加安全隐患。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中掩膜版在清洗槽之间转移过程容易滴落到非槽体部位继而污染环境的难题。

为此，本实用新型提供一种清洗系统，包括至少一个清洗装置和至少一个移动装置，所述移动装置包括用于夹持被清洗件的机械手，以及用于承接所述被清洗件在转移过程中所滴落的清洗液的承接机构。

优选地，此结构的清洗系统，所述承接机构包括承接所述清洗液的承接部，以及与所述承接部连接并驱动所述承接部远离或者位于所述清洗液滴落区域的驱动部；所述承接部具有向下凹陷的承接区。

进一步优选地，此结构的清洗系统，所述机械手包括用于夹持所述被清洗件的夹持部，以及连接所述夹持部并带动所述夹持部在水平方向上移动的第一移动部。

优选地，此结构的清洗系统，所述机械手还包括连接所述夹持部和所述第一移动部的连接部，所述夹持部固定在所述连接部的一端，所述第一移动部与所述连接部的另一端可滑动连接，以带动所述夹持部在竖直方向上移动。

进一步优选地，此结构的清洗系统，所述夹持部的横截面呈倒F型，包括朝向下设置的夹持主体，以及设置在所述夹持主体远离所述连接部的端部且用于托起所述被清洗件的第一夹持爪，和设置在所述夹持主体靠近所述连接部的端部且用于夹紧所述被清洗件的第二夹持爪；所述第二夹持爪与所述夹持主体可活动连接。

进一步优选地，此结构的清洗系统，还包括位于所述清洗装置一侧且供所述第一移动部在水平方向上移动的第一滑轨，所述第一移动部竖直设置在所述第一滑轨上，以驱动所述承接部在水平方向上移动。

进一步优选地，此结构的清洗系统，所述驱动部设置在所述第一移动部上，以驱动所述承接部在水平方向上围绕所述第一移动部旋转移动。

进一步优选地，此结构的清洗系统，还包括位于所述清洗装置另一侧且与所述第一滑轨相对设置的第二滑轨；所述第二滑轨上设置有第二移动部，所述驱动部设置在所述第二移动部上，以驱动所述承接部在水平方向上围绕所述第二移动部旋转移动。

进一步优选地，此结构的清洗系统，所述承接部水平旋转角度为所述清洗液滴落区域至与所述第一滑轨和/或所述第二滑轨的平行方向。

进一步优选地，此结构的清洗系统，所述连接部通过伺服系统与所述第一移动部连接。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的清洗系统，包括至少一个清洗装置和至少一个移动装置，所述移动装置包括用于夹持被清洗件的机械手，以及用于承接所述被清洗件在转移过程中所滴落的清洗液的承接机构。

该结构的清洗系统，被清洗件在清洗装置清洗后的转移由机械手完成，在被清洗件的下方设置承接机构，用于被清洗件由清洗装置中移出时承接所滴落的清洗液，有效解决了现有清洗操作中清洗液易滴落到清洗装置上或清洗装置周围而造成环境污染的难题，降低设备的维护清洁频率，减少人力投入；同时也避免了因滴落的清洗液挥发而造成空气中清洗液浓度过高发而带来的安全隐患。

2.本实用新型提供的清洗系统，夹持部通过连接部与第一移动部连接，夹持部固定在连接部的一端，连接部的另一端与第一移动部可滑动连接，实现夹持部在竖直方向上的自由升降，有利于被清洗件在清洗装置内清洗以及在多个清洗装置之间的转移，提高了清洗效率。

3.本实用新型提供的清洗系统，驱动部设置在第一移动部上，该驱动部驱动承接部在水平方向上围绕第一移动部旋转，在清洗过程中，承接部在驱动部驱动下远离夹持部的正下方，利于清洗操作；在转移过程中，承接部在驱动部驱动下处于清洗液滴落的区域，防止清洗液滴落在清洗装置外部，在提高清洗效率的同时，也防止了因清洗液滴落至清洗装置外部而污染环境。

4.本实用新型提供的清洗系统，利用伺服系统控制夹持部的自由升降，故障率低；而且整体结构紧凑，设计合理，制造成本低廉。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1提供的第一种清洗系统的主视图(清洗装置未画出)；

图2为本实用新型实施例1提供的第一种清洗系统的夹持部侧视图；

图3为本实用新型实施例1提供的第二种清洗系统的主视图(清洗装置未画出)；

图4为本实用新型实施例9提供的清洗系统的夹持部正视图(夹持被清洗件状态下)；

附图标记说明：

1-移动装置；11-机械手；111-夹持部；1111-夹持主体；1112-第一夹持爪；1113-第二夹持爪；112-连接部；113-第一移动部；114-第二移动部；12-承接机构；121-承接部；1211-承接区；122-驱动部；2-被清洗件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种清洗系统，如图1所示，包括清洗装置(图中未画出)和移动装置1，该移动装置1包括机械手11、承接机构12和第一滑轨(图中未画出)。

如图1所示，机械手11包括夹持部111、连接部112和第一移动部113。夹持部111固定在连接部112的一端，连接部112的另一端与第一移动部113可滑动连接。

如图1和图2所示，夹持部111的横截面呈倒“F”型，优选地，设置两个夹持部111，有利于将被清洗件夹持牢固。如图2所示，每一个夹持部111包括夹持主体1111，设置在夹持主体远离连接部112的端部上的第一夹持爪1112，以及设置在夹持主体1111靠近连接部112的端部的第二夹持爪1113；夹持部111采用不易腐蚀的金属或者合金材料制备，优选不锈钢。夹持主体1111朝向下设置，优选竖直向下设置；第一夹持爪1112与夹持主体1111可采用一体成型，或者通过焊接，优选采用一体成型；第二夹持爪1113与夹持主体1111可活动连接，如在夹持主体1111上设置沿夹持主体1111长度方向的腰孔，第二夹持爪1113活动连接于腰孔中，并可自动控制第二夹持爪1113沿腰孔上下移动，适于不同规格被清洗件的固定。同时为了夹紧被清洗件，第一夹持爪1112与第二夹持爪1113所形成的夹持槽底部为一平面，或者底部虽不为平面，但通过在夹持槽底部设置垫片，优选垫片为两个，分别靠近第一夹持爪1112与第二夹持爪1113设置，并与相应的第一夹持爪1112与第二夹持爪1113一体成型。

如图1所示，连接部112水平设置，两个夹持部111并列固定在连接部112上，并与连接部112垂直。连接部112采用不易腐蚀的金属或者合金制备，优选不锈钢；两个夹持部111与连接部112一体成型。连接部112的设置，使得夹持部111向清洗装置内部延伸，有利于清洗操作。

如图1所示，第一移动部113竖直设置，在第一移动部113上设置伺服系统，连接部112通过伺服系统与第一移动部113可滑动连接。伺服系统包括设置在第一移动部113上的伺服电机，伺服电机输出端与链条连接，连接部112的另一端设置有齿轮啮合，通过伺服系统控制连接部112的上下移动，实现夹持部111在竖直方向上的自由升降，有利于被清洗件在清洗装置内清洗以及在多个清洗装置之间的转移，提高了清洗效率。

如图1所示，承接机构12包括承接部121和驱动部122。

其中，承接部121具有向下凹陷的承接区1211，用于承接滴落液体，并起到暂时储存作用。承接部121在水平方向上的横截面为圆形、椭圆形或者方形，横截面的面积可以根据被清洗件的大小而定。

承接部121固定在驱动部122上，驱动部122固定在第一移动部113，在驱动部122作用下，承接部121在水平方向上围绕第一移动部113旋转移动。

第一滑轨设置在清洗装置的一侧，第一移动部113设置在第一滑轨上，第一滑轨上设置有伺服系统，在伺服系统控制下，第一移动部113沿着第一滑轨在水平方向移动，实现机械手11由一个清洗装置到另一个清洗装置的转移，或者由清洗装置转移至其它装置。

此结构的清洗系统的工作原理为：清洗前，将被清洗件(如掩膜版)放置在夹持部111的第一夹持爪1112上，并调节第二夹持爪1113位置，将被清洗件夹紧，更具体地，夹持主体1111朝向被清洗件2运动，将被清洗件2置于第一夹持爪1112与第二夹持爪1113所形成的夹持槽内，连接部112向上运动，使被清洗件2与第一夹持爪1112紧密贴合，然后，第二夹持爪1113向下运动至与被清洗件2紧密贴合，从而夹紧被清洗件2。在清洗操作时，驱动部122驱动承接部121围绕第一移动部113旋转至与第一滑轨的平行位置，同时，连接部112在伺服系统控制下，沿着第一移动部113向下移动，并伸入至清洗装置中进行清洗；清洗完毕，在伺服系统控制下，被清洗件随着连接部112上升移动，当连接部112上升移动至最高点时，驱动部122驱动承接部121围绕第一移动部113旋转至被清洗件和夹持部111的正下方，以承接被清洗件和夹持部111将要滴落的液体；同时，第一移动部113沿着第一滑轨移至下一个清洗装置。

该结构的清洗系统，被清洗件固定在夹持部111上，并在第一移动部113的作用下，能够在竖直方向上的自由升降运动，有利于被清洗件在清洗时伸入清洗装置以及在清洗完毕后移出清洗装置，实现了自动清洗，提高了清洗效率；同时，第一移动部113沿着第一滑轨能够在水平方向上移动，实现被清洗件在多个清洗装置之间转移。

驱动部122设置在第一移动部113上，该驱动部122驱动承接部在水平方向上围绕第一移动部113旋转移动，在清洗过程中，承接部121在驱动部122驱动下远离夹持部111的正下方，利于清洗操作的进行；在清洗完毕进行转移过程中，承接部121在驱动部122驱动下处于清洗液滴落的区域，防止清洗液滴落，在提高清洗效率的同时，也防止了因清洗液滴落至清洗装置外部，降低了设备的维护清洁频率，减少人力投入；同时也避免了因滴落的清洗液挥发而造成空气中清洗液浓度过高发而带来的安全隐患。

实施例2

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，如图3所示，驱动部122不设置在第一移动部113上，而是在清洗装置的另一侧设置第二滑轨，第二滑轨上设置有伺服系统，第二移动部114通过伺服系统与第二滑轨连接，驱动部122设置在第二移动部114上。

其工作原理为：清洗前，将被清洗件(如掩膜版)放置在夹持部111的第一夹持爪1112上，并调节第二夹持爪1113位置，将被清洗件夹紧。在清洗操作时，驱动部122驱动承接部121围绕第二移动部114旋转至与第二滑轨平行位置，同时，连接部112在伺服系统控制下，沿着第一移动部113向下移动，并伸入至清洗装置中进行清洗；清洗完毕，在伺服系统控制下，被清洗件随着连接部112上升移动，当连接部112上升移动至最高点时，驱动部122驱动承接部121围绕第二移动部114旋转至被清洗件和夹持部111的正下方，以承接被清洗件和夹持部111将要滴落的液体；同时，第一移动部113和第二移动部114分别沿着第一滑轨和第二滑轨移至下一个清洗装置，且二者移动速度相等。

实施例3

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，连接部112不通过伺服系统与第一移动部113连接，而是通过其它方式，如手动控制等，只要能实现连接部112在第一移动部113上自由升降即可。

实施例4

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，承接部121围绕第一移动部113旋转的角度并不一定至与第一滑轨和/或第二滑轨平行方向，也可以旋转至清洗液滴落区域向左或者向右(俯视方向)旋转60°、120°、180°等等，只要不影响被清洗件的清洗操作即可。

实施例5

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，驱动部122还可以不设置在第一移动部113上，而是设置其它设备上，只要能为承接部121提供支点，实现承接部121在水平方向上旋转即可。

实施例6

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，夹持部111还可以设置成其它形状，如两个相对设置的“L”型，只要能够将被清洗件夹持住，并能带动被清洗件清洗和转移即可。

实施例7

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，机械手11还可以不设置连接部112，而是夹持部111直接与第一移动部113可滑动连接，只要能实现夹持部111灵活移动即可。

实施例8

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，承接机构12还可以设置成其它形式，如驱动部122为活塞式，承接部121在驱动部122作用下沿与连接部112平行方向上可以伸缩运动，清洗时，承接部121缩至远离滴落区域的空间内；转移时，承接部121伸出至夹持部111的正下方。

实施例9

本实施例提供一种清洗系统，与实施例1不同是，如图4所示，相对设置两个夹持主体1111，第二夹持爪1113设置于夹持主体1111的一侧，且远离相对设置的另一夹持主体1111设置，更具体地，第二夹持爪1113设置两个，相对设置于连接轴(图中未画出)的两端部上，连接轴活动连接于夹持主体1111上且可沿其上下移动。被清洗件2被第二夹持爪1113和第一夹持爪1112环绕夹持。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种清洗系统，包括至少一个清洗装置和至少一个移动装置(1)，其特征在于，所述移动装置(1)包括用于夹持被清洗件的机械手(11)，以及用于承接所述被清洗件在转移过程中所滴落的清洗液的承接机构(12)。

2.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述承接机构(12)包括承接所述清洗液的承接部(121)，以及与所述承接部(121)连接并驱动所述承接部(121)远离或者位于所述清洗液滴落区域的驱动部(122)；所述承接部(121)具有向下凹陷的承接区(1211)。

3.根据权利要求2所述的清洗系统，其特征在于，所述机械手(11)包括用于夹持所述被清洗件的夹持部(111)，以及连接所述夹持部(111)并带动所述夹持部(111)在水平方向上移动的第一移动部(113)。

4.根据权利要求3所述的清洗系统，其特征在于，所述机械手(11)还包括连接所述夹持部(111)和所述第一移动部(113)的连接部(112)，所述夹持部(111)固定在所述连接部(112)的一端，所述第一移动部(113)与所述连接部(112)的另一端可滑动连接，以带动所述夹持部(111)在竖直方向上移动。

5.根据权利要求4所述的清洗系统，其特征在于，所述夹持部(111)的横截面呈倒F型，包括朝向下设置的夹持主体(1111)，以及设置在所述夹持主体(1111)远离所述连接部(112)的端部且用于托起所述被清洗件的第一夹持爪(1112)，和设置在所述夹持主体(1111)靠近所述连接部(112)的端部且用于夹紧所述被清洗件的第二夹持爪(1113)；所述第二夹持爪(1113)与所述夹持主体(1111)可活动连接。

6.根据权利要求3所述的清洗系统，其特征在于，还包括位于所述清洗装置一侧且供所述第一移动部(113)在水平方向上移动的第一滑轨，所述第一移动部(113)竖直设置在所述第一滑轨上，以驱动所述承接部(121)在水平方向上移动。

7.根据权利要求6所述的清洗系统，其特征在于，所述驱动部(122)设置在所述第一移动部(113)上，以驱动所述承接部(121)在水平方向上围绕所述第一移动部(113)旋转移动。

8.根据权利要求6所述的清洗系统，其特征在于，还包括位于所述清洗装置另一侧且与所述第一滑轨相对设置的第二滑轨；所述第二滑轨上设置有第二移动部(114)，所述驱动部(122)设置在所述第二移动部(114)上，以驱动所述承接部(121)在水平方向上围绕所述第二移动部(114)旋转移动。

9.根据权利要求8所述的清洗系统，其特征在于，所述承接部(121)水平旋转角度为所述清洗液滴落区域至与所述第一滑轨和/或所述第二滑轨的平行方向。

10.根据权利要求4所述的清洗系统，其特征在于，所述连接部(112)通过伺服系统与所述第一移动部(113)连接。