CN208459869U - 一种抗压式气体质量流量控制器 - Google Patents
一种抗压式气体质量流量控制器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208459869U CN208459869U CN201820878086.1U CN201820878086U CN208459869U CN 208459869 U CN208459869 U CN 208459869U CN 201820878086 U CN201820878086 U CN 201820878086U CN 208459869 U CN208459869 U CN 208459869U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipe
- screen pipe
- compression
- mass flow
- gas mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本实用新型公开了一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口、减压阀、流气管、气阻桶和控制杆，所述进气口的下方设置有第一过滤管，且第一过滤管的左侧设置有第二过滤管，所述第二过滤管的内部设置有过滤板，且第二过滤管的底部设置有管盖，所述减压阀位于第一过滤管的右侧，且减压阀的下方设置有空气流量传感器，所述流气管的位于空气流量传感器的下方，且流气管的内部上下两侧均设置有连接块，所述气阻桶位于连接块的上方，且连接块的下方设置有出气管，所述出气管的内部设置有挡气带，且出气管的左侧设置有阀体，所述控制杆位于阀体的左侧。该抗压式气体质量流量控制器，解决了抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种抗压式气体质量流量控制器。
背景技术
气体质量流量控制器是微电子领域、化工领域等常用的元件，气体质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用，一般的气体流量质量控制器抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤，因此，我们提出一种抗压式气体质量流量控制器，以便于解决上述中提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种抗压式气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的气体质量流量控制器抗压效果差，不能够进行气体杂质的过滤的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口、减压阀、流气管、气阻桶和控制杆，所述进气口的下方设置有第一过滤管，且第一过滤管的左侧设置有第二过滤管，所述第二过滤管的内部设置有过滤板，且第二过滤管的底部设置有管盖，所述减压阀位于第一过滤管的右侧，且减压阀的下方设置有空气流量传感器，并且空气流量传感器的顶部设置有橡胶圈，所述流气管的位于空气流量传感器的下方，且流气管的内部上下两侧均设置有连接块，所述气阻桶位于连接块的上方，且连接块的下方设置有出气管，所述出气管的内部设置有挡气带，且出气管的左侧设置有阀体，所述控制杆位于阀体的左侧。
优选的，所述第一过滤管与第二过滤管构成“Y”字形结构，且第一过滤管的内部呈螺旋状结构。
优选的，所述第二过滤管与过滤板的连接方式为卡合连接，且过滤板呈网状结构。
优选的，所述减压阀设置有2组，且减压阀与流气管的连接方式为螺纹连接。
优选的，所述连接块呈中空结构，且气阻桶通过连接块与流气管相连接，并且气阻桶的侧边呈折线型结构。
优选的，所述控制杆与出气管构成左右滑动结构，且控制杆的底部竖直截面呈梯形结构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该抗压式气体质量流量控制器，具有抗压功能，能够进行气体杂质的过滤；
(1)本实用新型设置有第一过滤管和第二过滤管，第一过滤管和第二过滤管构成“Y”形过滤器，能够将气体的杂质留在第二过滤管内，纯净的气体流进第一过滤管，对气体的杂质过滤，保证气体的质量；
(2)本实用新型设置有过滤板，过滤板与第二过滤管的连接方式为卡合连接，便于将过滤板从第二过滤管中拆除，对其进行清洗更换；
(3)本实用新型设置有减压阀，2组减压阀更加有效的降低控制器内部的气压，起到抗压功效，保护控制器内部的零件；
(4)本实用新型设置有气阻桶，气阻桶的侧边呈折线形结构，能够减慢气体的流动速度，减少气压的产生。
附图说明
图1为本实用新型的局部剖视图；
图2为本实用新型中的第一过滤管和第二过滤管结构示意图；
图3为本实用新型中的流气管内部结构示意图；
图4为本实用新型中的出气管侧面剖切结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口1、第一过滤管2、第二过滤管3、过滤板4、管盖5、减压阀6、空气流量传感器7、流气管8、连接块9、气阻桶10、出气管11、挡气带12、阀体13和控制杆14，进气口1的下方设置有第一过滤管2，且第一过滤管2的左侧设置有第二过滤管3，第一过滤管2与第二过滤管3构成“Y”字形结构，且第一过滤管2的内部呈螺旋状结构，第一过滤管2的内部能够沉淀杂质，使得气体在第一过滤管2的内部缓慢流动，减少气压，第二过滤管3的内部设置有过滤板4，且第二过滤管3的底部设置有管盖5，第二过滤管3与过滤板4的连接方式为卡合连接，且过滤板4呈网状结构，便于将过滤板4从第二过滤管3内部拆除，便于对其进行清洗，减压阀6位于第一过滤管2的右侧，且减压阀6的下方设置有空气流量传感器7，并且空气流量传感器7的顶部设置有橡胶圈15，减压阀6设置有2组，且减压阀6与流气管8的连接方式为螺纹连接，2组减压阀6能够更好的减少控制器内部的气压，防止气压过大对控制器内部的破坏，流气管8的位于空气流量传感器7的下方，且流气管8的内部上下两侧均设置有连接块9，连接块9呈中空结构，且气阻桶10通过连接块9与流气管8相连接，并且气阻桶10的侧边呈折线型结构，气阻桶10能够减慢气体流动的速度，气阻桶10位于连接块9的上方，且连接块9的下方设置有出气管11，出气管11的内部设置有挡气带12，且出气管11的左侧设置有阀体13，控制杆14位于阀体13的左侧，控制杆14与出气管11构成左右滑动结构，且控制杆14的底部竖直截面呈梯形结构，控制杆14能够控制气体流出的流量；
如图2中第一过滤管2与第二过滤管3侧面构成“Y”字形结构，形成“Y”形气体过滤器，气体内的杂质沉淀在第二过滤管3内部，便于对杂质进行处理，且第一过滤管2的内部呈螺旋状结构，减缓过滤后的气体在第一过滤管2流动的速度，降低气压，第二过滤管3与过滤板4的连接方式为卡合连接，且过滤板4呈网状结构，便于将过滤板4从第二过滤管3内取出，对其进行清理；
如图3中连接块9呈中空结构，且气阻桶10通过连接块9与流气管8相连接，并且气阻桶10的侧边呈折线型结构，气体能够穿过连接块9，气阻桶10的内部为实心结构，气体从气阻桶10的侧边层层向下流，减缓了气体流动的速度，能够降低气压的产生，保护控制器内部的零件不受气压的冲击，并且控制气体的流量。
工作原理：在使用该抗压式气体质量流量控制器时，首先气体从进气口1向下流动，在气体通过第二过滤管3内部的过滤板4过滤掉杂质，气体中的杂质沉淀在第二过滤管3内部，然后流向第一过滤管2，第一过滤管2的内部呈螺旋状结构，气体在第一过滤管2的内部缓慢流动，气体流向型号为MIK-DJI的空气流量传感器7，空气流量传感器7对气体的质量及流量进行测定，然后气体经过流气管8，流气管8内部的气阻桶10使气体层层流动，减缓气体流动速度，降低气压，旋转控制杆14，控制杆14能够离开挡气带12，失去对气体的阻隔作用，气体流出出气管11，通过在阀体13内部旋转控制杆14，使控制杆14与出气管11构成滑动结构，调节气体流动的空间大小，从而调节气体的流量，使控制器内部降压时，打开2组减压阀6，当需要对第二过滤管3内部的过滤板4更换清理时，打开管盖5，将过滤板4从第二过滤管3内取出，以上便完成该抗压式气体质量流量控制器的一系列操作，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种抗压式气体质量流量控制器，包括进气口(1)、减压阀(6)、流气管(8)、气阻桶(10)和控制杆(14)，其特征在于：所述进气口(1)的下方设置有第一过滤管(2)，且第一过滤管(2)的左侧设置有第二过滤管(3)，所述第二过滤管(3)的内部设置有过滤板(4)，且第二过滤管(3)的底部设置有管盖(5)，所述减压阀(6)位于第一过滤管(2)的右侧，且减压阀(6)的下方设置有空气流量传感器(7)，并且空气流量传感器(7)的顶部设置有橡胶圈(15)，所述流气管(8)的位于空气流量传感器(7)的下方，且流气管(8)的内部上下两侧均设置有连接块(9)，所述气阻桶(10)位于连接块(9)的上方，且连接块(9)的下方设置有出气管(11)，所述出气管(11)的内部设置有挡气带(12)，且出气管(11)的左侧设置有阀体(13)，所述控制杆(14)位于阀体(13)的左侧。
2.根据权利要求1所述的一种抗压式气体质量流量控制器，其特征在于：所述第一过滤管(2)与第二过滤管(3)侧面构成“Y”字形结构，且第一过滤管(2)的内部呈螺旋状结构。
3.根据权利要求1所述的一种抗压式气体质量流量控制器，其特征在于：所述第二过滤管(3)与过滤板(4)的连接方式为卡合连接，且过滤板(4)呈网状结构。
4.根据权利要求1所述的一种抗压式气体质量流量控制器，其特征在于：所述减压阀(6)设置有2组，且减压阀(6)与流气管(8)的连接方式为螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种抗压式气体质量流量控制器，其特征在于：所述连接块(9)呈中空结构，且气阻桶(10)通过连接块(9)与流气管(8)相连接，并且气阻桶(10)的侧边呈折线型结构。
6.根据权利要求1所述的一种抗压式气体质量流量控制器，其特征在于：所述控制杆(14)与出气管(11)构成左右滑动结构，且控制杆(14)的底部竖直截面呈梯形结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820878086.1U CN208459869U (zh) | 2018-06-07 | 2018-06-07 | 一种抗压式气体质量流量控制器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820878086.1U CN208459869U (zh) | 2018-06-07 | 2018-06-07 | 一种抗压式气体质量流量控制器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208459869U true CN208459869U (zh) | 2019-02-01 |
Family
ID=65160694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820878086.1U Active CN208459869U (zh) | 2018-06-07 | 2018-06-07 | 一种抗压式气体质量流量控制器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208459869U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110865016A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-03-06 | 东台市华源复合材料有限公司 | 一种过滤材料的过滤性能的检测装置 |
-
2018
- 2018-06-07 CN CN201820878086.1U patent/CN208459869U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110865016A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-03-06 | 东台市华源复合材料有限公司 | 一种过滤材料的过滤性能的检测装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN208459869U (zh) | 一种抗压式气体质量流量控制器 | |
| CN107583397A (zh) | 一种粉尘可直接再利用的粉尘回收装置 | |
| CN107694236A (zh) | 颗粒床除尘与换热一体化的装置 | |
| CN106501034A (zh) | 一种高温高粉尘的烟气取样监测的装置 | |
| CN207297073U (zh) | 一种用于矿井的通风降尘装置 | |
| CN206450479U (zh) | 一种高温高粉尘的烟气取样监测的装置 | |
| CN208161249U (zh) | 一种设有除沫机构的水膜除尘器 | |
| CN203702040U (zh) | 一种滤芯自清洗式钻机吸尘器 | |
| CN206285648U (zh) | 塑胶板加工用气体除尘接头 | |
| CN205815296U (zh) | 循环水多级过滤系统 | |
| CN205084568U (zh) | 一种天然气过滤除尘装置 | |
| CN211069530U (zh) | 一种旋风组合除尘器 | |
| CN205109224U (zh) | 布袋式除尘设备 | |
| CN206577488U (zh) | 注塑模具废气处理管 | |
| CN107149834A (zh) | 一种能够报警的水浴式除尘器 | |
| CN208249900U (zh) | 一种用于油田氮气作业的制氮橇 | |
| CN207175479U (zh) | 一种用于提纯烧碱副产氢气的除沫器 | |
| CN207546570U (zh) | 一种带负压的超洁净工作台 | |
| CN107651826B (zh) | 一种浮法锡槽污染气体导流收集净化装置 | |
| CN206006041U (zh) | 骑车用pm2.5防护口罩 | |
| CN206082010U (zh) | 一种多层过滤净化空气的除尘器 | |
| CN206315540U (zh) | 快装式精滤器 | |
| CN205834218U (zh) | 中间包吸杂过滤器 | |
| CN204135332U (zh) | 一种多功能吹氩长水口 | |
| CN206980300U (zh) | 一种自动放空结构装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |