CN208433373U - 一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，包括箱体，其特征在于，所述箱体呈中空的长方体结构设置，所述稳流板一呈蜂窝状通孔结构设置，所述静电吸盘位于所述多孔气流分布板的下方。本实用新型结构设计合理，操作简便，通过在气体稳流装置内设置缓流导风板，呈蜂窝状通孔结构设置稳流板一，设有稳流孔的稳流板二，配合移动杆，将进气喷头喷出的气体流态缓流后调整为层流，气体流态为层流的气体配合多孔气流分布板，使得流出的气体流速均匀、稳定，在对导电薄膜进行刻蚀的过程中，增强了触摸屏导电薄膜的刻蚀效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及触摸屏的加工技术领域，尤其涉及一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置。
背景技术
触摸屏又称为“触控屏”、“触控面板”，是一种可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置，触摸屏作为一种最新的电脑输入设备，它是目前最简单、方便、自然的一种人机交互方式，主要应用于公共信息的查询、领导办公、工业控制、军事指挥、电子游戏、点歌点菜、多媒体教学、房地产预售等领域。触摸屏在加工制造过程中，刻蚀步骤是触摸屏中导电薄膜不可缺少的加工工序，刻蚀就是用化学的、物理的或同时使用化学和物理的方法，有选择地把没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜层除去，从而在薄膜上得到和抗蚀剂膜上完全一致的图形。通常使用干法刻蚀，然而，传统使用的刻蚀装置内部的气体流速不均匀，无法均匀的对导电薄膜进行刻蚀，使得在刻蚀的过程中稳定性较差，导致触摸屏导电薄膜的刻蚀效果不理想。
发明内容
本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置。
本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：
一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，包括箱体，其特征在于，所述箱体呈中空的长方体结构设置，所述箱体的底部外侧固定安有若干支撑脚，所述箱体的侧壁下部铰接有开关门，所述箱体的内部顶端设有进气喷头，所述进气喷头的进气端固定安有竖直的进气管，所述进气管的进气端贯穿所述箱体的顶端与外界供气设备相连，所述进气喷头的下方设有气体稳流装置，所述气体稳流装置固定安装在所述箱体的内部，所述气体稳流装置的四周与所述箱体的内壁贴合设置，所述气体稳流装置的顶端与所述箱体的内腔相连通，所述气体稳流装置的上部由上到下平行设有两根水平的移动杆，两个所述移动杆的两端均依次贯穿所述气体稳流装置的侧壁、所述箱体的侧壁连有限位块，两个所述移动杆的长度均大于所述箱体内腔的左右宽度，位于所述箱体外部的两个所述移动杆上均套有紧固套筒，两个所述紧固套筒安装在所述箱体外壁上，两个所述紧固套筒的侧壁上均通过螺纹安有若干锁紧螺栓，两个所述移动杆之间平行等间距设有若干缓流导风板，所述缓流导风板的上下两端铰接安装在所述移动杆上，位于下部的所述移动杆的下方设有稳流板一，所述稳流板一固定安装在所述气体稳流装置的内部，所述稳流板一的两端与所述气体稳流装置的内壁贴合设置，所述稳流板一呈蜂窝状通孔结构设置，所述稳流板一的下表面设有稳流板二，所述稳流板二固定安装在所述气体稳流装置的内部，所述稳流板二上均布有若干等间距的稳流孔，所述稳流孔呈上窄下宽的圆台结构设置，所述稳流板二的下表面设有多孔气流分布板，所述多孔气流分布板固定安装在所述气体稳流装置的底部，所述多孔气流分布板的下方设有工作台，所述工作台的下方竖直安有液压缸，所述液压缸安装在所述箱体的底部外侧，所述液压缸的伸缩杆贯穿所述箱体的底部与所述工作台的下表面固定连接，所述工作台的上表面固定安有静电吸盘，所述静电吸盘位于所述多孔气流分布板的下方。
所述支撑脚的个数为4。
所述开关门上设有透明窗。
所述静电吸盘为圆形设置。
本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计合理，操作简便，通过在气体稳流装置内设置缓流导风板，呈蜂窝状通孔结构设置稳流板一，设有稳流孔的稳流板二，配合移动杆，将进气喷头喷出的气体流态缓流后调整为层流，气体流态为层流的气体配合多孔气流分布板，使得流出的气体流速均匀、稳定，在对导电薄膜进行刻蚀的过程中，增强了触摸屏导电薄膜的刻蚀效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中：1-箱体；2-支撑脚；3-气体稳流装置；4-工作台；5-静电吸盘；6-液压缸；7-进气管；8-进气喷头；9-移动杆；10-限位块；11-缓流导风板；12-稳流板一；13-稳流板二；14-稳流孔；15-多孔气流分布板；16-紧固套筒；17-锁紧螺栓；
以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：
如图1所示，一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，包括箱体1，其特征在于，所述箱体1呈中空的长方体结构设置，所述箱体1的底部外侧固定安有若干支撑脚2，所述箱体1的侧壁下部铰接有开关门，所述箱体1的内部顶端设有进气喷头8，所述进气喷头8的进气端固定安有竖直的进气管7，所述进气管7的进气端贯穿所述箱体1的顶端与外界供气设备相连，所述进气喷头8的下方设有气体稳流装置3，所述气体稳流装置3固定安装在所述箱体1的内部，所述气体稳流装置3的四周与所述箱体1的内壁贴合设置，所述气体稳流装置3的顶端与所述箱体1的内腔相连通，所述气体稳流装置3的上部由上到下平行设有两根水平的移动杆9，两个所述移动杆9的两端均依次贯穿所述气体稳流装置3的侧壁、所述箱体1的侧壁连有限位块10，两个所述移动杆9的长度均大于所述箱体1内腔的左右宽度，位于所述箱体1外部的两个所述移动杆9上均套有紧固套筒16，两个所述紧固套筒16安装在所述箱体1外壁上，两个所述紧固套筒16的侧壁上均通过螺纹安有若干锁紧螺栓17，两个所述移动杆9之间平行等间距设有若干缓流导风板11，所述缓流导风板11的上下两端铰接安装在所述移动杆9上，位于下部的所述移动杆9的下方设有稳流板一12，所述稳流板一12固定安装在所述气体稳流装置3的内部，所述稳流板一12的两端与所述气体稳流装置3的内壁贴合设置，所述稳流板一12呈蜂窝状通孔结构设置，所述稳流板一12的下表面设有稳流板二13，所述稳流板二13固定安装在所述气体稳流装置3的内部，所述稳流板二13上均布有若干等间距的稳流孔14，所述稳流孔14呈上窄下宽的圆台结构设置，所述稳流板二13的下表面设有多孔气流分布板15，所述多孔气流分布板15固定安装在所述气体稳流装置3的底部，所述多孔气流分布板15的下方设有工作台4，所述工作台4的下方竖直安有液压缸6，所述液压缸6安装在所述箱体1的底部外侧，所述液压缸6的伸缩杆贯穿所述箱体1的底部与所述工作台4的下表面固定连接，所述工作台4的上表面固定安有静电吸盘5，所述静电吸盘5位于所述多孔气流分布板15的下方。
所述支撑脚2的个数为4。
所述开关门上设有透明窗。
所述静电吸盘5为圆形设置。
本实用新型工作时，通过开关门，将待刻蚀的触摸屏导电薄膜放置到工作台4上的静电吸盘5上，通过液压缸6将工作台4移至合适刻蚀高度，关闭开关门，操作人员通过调节移动杆9来调节缓流导风板11的角度，角度合适后通过旋紧紧固套筒16侧壁上的锁紧螺栓17，锁紧螺栓17将移动杆9锁紧固定，外界供气设备中的刻蚀气体由进气管7通过进气喷头8加入箱体1内，将进气喷头8喷出的刻蚀气体流态首先通过缓流导风板11进行缓流，缓流后的刻蚀气体依次通过呈蜂窝状通孔结构设置稳流板一12，设有稳流孔14的稳流板二13调整为层流，气体流态为层流的气体经多孔气流分布板15对静电吸盘5上的待刻蚀的触摸屏导电薄膜进行刻蚀，经气体稳流装置3配合多孔气流分布板15流出的气体流速均匀、稳定，在对导电薄膜进行刻蚀的过程中，增强了触摸屏导电薄膜的刻蚀效果，本实用新型结构设计合理，操作简便。
上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)呈中空的长方体结构设置，所述箱体(1)的底部外侧固定安有若干支撑脚(2)，所述箱体(1)的侧壁下部铰接有开关门，所述箱体(1)的内部顶端设有进气喷头(8)，所述进气喷头(8)的进气端固定安有竖直的进气管(7)，所述进气管(7)的进气端贯穿所述箱体(1)的顶端与外界供气设备相连，所述进气喷头(8)的下方设有气体稳流装置(3)，所述气体稳流装置(3)固定安装在所述箱体(1)的内部，所述气体稳流装置(3)的四周与所述箱体(1)的内壁贴合设置，所述气体稳流装置(3)的顶端与所述箱体(1)的内腔相连通，所述气体稳流装置(3)的上部由上到下平行设有两根水平的移动杆(9)，两个所述移动杆(9)的两端均依次贯穿所述气体稳流装置(3)的侧壁、所述箱体(1)的侧壁连有限位块(10)，两个所述移动杆(9)的长度均大于所述箱体(1)内腔的左右宽度，位于所述箱体(1)外部的两个所述移动杆(9)上均套有紧固套筒(16)，两个所述紧固套筒(16)安装在所述箱体(1)外壁上，两个所述紧固套筒(16)的侧壁上均通过螺纹安有若干锁紧螺栓(17)，两个所述移动杆(9)之间平行等间距设有若干缓流导风板(11)，所述缓流导风板(11)的上下两端铰接安装在所述移动杆(9)上，位于下部的所述移动杆(9)的下方设有稳流板一(12)，所述稳流板一(12)固定安装在所述气体稳流装置(3)的内部，所述稳流板一(12)的两端与所述气体稳流装置(3)的内壁贴合设置，所述稳流板一(12)呈蜂窝状通孔结构设置，所述稳流板一(12)的下表面设有稳流板二(13)，所述稳流板二(13)固定安装在所述气体稳流装置(3)的内部，所述稳流板二(13)上均布有若干等间距的稳流孔(14)，所述稳流孔(14)呈上窄下宽的圆台结构设置，所述稳流板二(13)的下表面设有多孔气流分布板(15)，所述多孔气流分布板(15)固定安装在所述气体稳流装置(3)的底部，所述多孔气流分布板(15)的下方设有工作台(4)，所述工作台(4)的下方竖直安有液压缸(6)，所述液压缸(6)安装在所述箱体(1)的底部外侧，所述液压缸(6)的伸缩杆贯穿所述箱体(1)的底部与所述工作台(4)的下表面固定连接，所述工作台(4)的上表面固定安有静电吸盘(5)，所述静电吸盘(5)位于所述多孔气流分布板(15)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，其特征在于，所述支撑脚(2)的个数为4。
3.根据权利要求1所述的一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，其特征在于，所述开关门上设有透明窗。
4.根据权利要求1所述的一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置，其特征在于，所述静电吸盘(5)为圆形设置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820734192.2U CN208433373U (zh) | 2018-05-17 | 2018-05-17 | 一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置 |
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| CN201820734192.2U CN208433373U (zh) | 2018-05-17 | 2018-05-17 | 一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置 |
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| CN208433373U true CN208433373U (zh) | 2019-01-25 |
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| CN201820734192.2U Active CN208433373U (zh) | 2018-05-17 | 2018-05-17 | 一种触摸屏导电薄膜的刻蚀装置 |
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| CN (1) | CN208433373U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112327067A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-02-05 | 郑州大学 | 流致振动俘能模型性能实验测试装置 |
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2018
- 2018-05-17 CN CN201820734192.2U patent/CN208433373U/zh active Active
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