CN208366311U - 一种半导体三坐标检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体三坐标检测设备，包括三坐标检测设备和设置在所述三坐标检测设备的检测台上的检测夹具，所述检测夹具位于检测探头的下方；所述检测夹具包括基座、翻转机构、支撑板、固定板和限位机构，所述基座固定设置在检测台上，所述基座上垂直设置有固定板，所述固定板的顶端转动设置有支撑板，所述翻转机构设置在基座上，且所述翻转机构与支撑板连接设置，所述支撑板通过翻转机构绕固定板的顶端转动设置，所述支撑板上设置有限位机构，所述支撑板通过限位机构限位支撑板绕翻转机构转动的反方向。本实用新型提供一种半导体三坐标检测设备，可大幅度提升检测时的便捷性和零件夹持的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体检测领域，特别涉及一种半导体三坐标检测设备。
背景技术
半导体越来越多的应用在各个领域中，随之而来的是对半导体零件的精度的高要求、高标准，在精密零件中，半导体的精度影响着其使用性能；现有的半导体零件检测大多用高度测量仪进行测量，主要为检测高度、深度、平面度等，但是随着半导体零件的轮廓面不规则及复杂型面增多，需要通过三坐标检测才能达成检测需求，但是由于零件型面复杂，在检测过程中需要对零件进行翻转，特别是针对一些大型的半导体零件，需要保证其在夹具上的稳定和翻转的稳定性。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种半导体三坐标检测设备，可大幅度提升检测时的便捷性和零件夹持的稳定性。
技术方案：为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种半导体三坐标检测设备，包括三坐标检测设备和设置在所述三坐标检测设备的检测台上的检测夹具，所述检测夹具位于检测探头的下方；所述检测夹具包括基座、翻转机构、支撑板、固定板和限位机构，所述基座固定设置在检测台上，所述基座上垂直设置有固定板，所述固定板的顶端转动设置有支撑板，所述翻转机构设置在基座上，且所述翻转机构与支撑板连接设置，所述支撑板通过翻转机构绕固定板的顶端转动设置，所述支撑板上设置有限位机构，所述支撑板通过限位机构限位支撑板绕翻转机构转动的反方向。
进一步的，所述翻转机构包括伸缩气缸和连杆，所述伸缩气缸间距固定板设置在基座上，所述伸缩气缸倾斜向上设置，且所述伸缩气缸向固定板的方向倾斜，所述伸缩气缸的伸缩杆端部与连杆的一端铰接设置，且所述连杆的另一端铰接设置在支撑板上，所述连杆铰接设置在支撑板朝向伸缩气缸一侧的侧面上，且所述连杆与支撑板的铰接轴间距所述支撑板与固定板的转动轴设置。
进一步的，所述伸缩气缸在最小行程状态下的高度小于固定板的高度，所述伸缩气缸在最大行程状态下的高度大于固定板的高度。
进一步的，所述限位机构包括固定柱、棘轮、棘爪和弹片，所述支撑板的一端端部通过转动轴与固定板转动设置，所述转动轴支撑板相对固定设置，且所述转动轴的一端向外延伸伸出支撑板的外侧，所述转动轴的伸出端上套设有棘轮，所述固定柱间距固定板设置在基座上，且所述固定柱位于棘轮的下方，所述固定柱靠近顶端的壁体转动设置有棘爪，所述棘爪与棘轮对应设置，所述棘爪的下方设置有弹片，所述弹片通过安装座设置在固定柱上，且所述弹片抵接棘爪设置。
进一步的，所述棘轮的轮齿绕向与支撑板在翻转机构的作用下向远离所述翻转机构一侧的转动方向相同。
有益效果：本实用新型通过翻转机构对半导体工件进行一定角度的转动，方便检测探针的检测，该翻转机构具有较强的支撑力度，可承载较大重量和体积的零件，同时，通过限位机构限位支撑板往反方向转动，保证了支撑板的稳定性，防止检测时支撑板的反向转动。
附图说明
附图1为本实用新型的整体结构示意图；
附图2为本实用新型的检测夹具的主视图；
附图3为本实用新型的检测夹具整体结构示意图；
附图4为本实用新型的限位机构的放大示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
如附图1、附图2和附图3所示，一种半导体三坐标检测设备，包括三坐标检测设备20和设置在所述三坐标检测设备20的检测台上的检测夹具，所述检测夹具位于检测探头的下方；所述检测夹具包括基座1、翻转机构、支撑板4、固定板6和限位机构5，所述基座1固定设置在检测台上，所述基座1上垂直设置有固定板6，所述固定板6的顶端转动设置有支撑板4，固定板6的顶端与支撑板4的一端铰接设置，所述支撑板4 上设置有用于固定安置半导体零件的固定机构21，所述翻转机构设置在基座1上，且所述翻转机构与支撑板4连接设置，所述支撑板4通过翻转机构绕固定板6的顶端转动设置，通过翻转机构对半导体工件进行一定角度的转动，方便检测探针的检测，比如深孔或者异形孔等，所述支撑板4上设置有限位机构5，所述支撑板4通过限位机构5限位支撑板4绕翻转机构转动的反方向。通过限位机构限位支撑板往反方向转动，保证了支撑板的稳定性，防止检测时支撑板的反向转动。
所述翻转机构包括伸缩气缸2和连杆3，所述伸缩气缸2间距固定板6设置在基座1上，所述伸缩气缸2倾斜向上设置，且所述伸缩气缸2向固定板6的方向倾斜，所述伸缩气缸2的伸缩杆端部与连杆3的一端铰接设置，且所述连杆3的另一端铰接设置在支撑板4上，所述连杆3铰接设置在支撑板4朝向伸缩气缸2一侧的侧面上，且所述连杆3与支撑板4的铰接轴间距所述支撑板4与固定板6的转动轴设置。通过伸缩气缸2、连杆3、支撑板4和固定板6形成四杆机构，使支撑板4在伸缩气缸2的伸缩作用下进行一定角度的摆动，以方便零件在支撑板上进行检测。而且通过伸缩气缸2的作用，使支撑板4的支撑能力更强，可支撑重量较大的零件，而且，支撑板4的支撑面积也较大。且通过该四杆机构，支撑板4的转动角度可以进行较准确的控制，整体结构的刚性较强，承载力高。
所述伸缩气缸2在最小行程状态下的高度小于固定板6的高度，所述伸缩气缸2在最大行程状态下的高度大于固定板6的高度，使支撑板4在伸缩气缸2的伸缩作用下，可进行较大角度的转动，在最小行程时，支撑板4可向伸缩气缸2的一侧进行偏转，形成倾斜向上的角度状态，在最大行程时，支撑板向远离伸缩气缸2的一侧偏转，形成倾斜向下的角度状态，两种状态之间有较大的偏转角度，方便工件的测量。
如附图4所示，所述限位机构5包括固定柱13、棘轮8、棘爪10和弹片11，所述支撑板4的一端端部通过转动轴9与固定板6转动设置，所述转动轴9支撑板4相对固定设置，且所述转动轴9的一端向外延伸伸出支撑板4的外侧，所述转动轴9的伸出端上固定套设有棘轮8，所述固定柱13间距固定板6设置在基座1上，且所述固定柱13 位于棘轮8的下方，所述固定柱13靠近顶端的壁体转动设置有棘爪10，所述棘爪10 与棘轮8对应设置，所述棘爪10的下方设置有弹片11，所述弹片11通过安装座12设置在固定柱上，且所述弹片11抵接棘爪设置。通过金属弹片使棘爪可进行复位，当支撑板4转动时，带动同轴的棘轮同步转动，从而使棘爪10可卡在棘轮上，进行周向限位，使棘轮不能反向转动，保证支撑板的稳定性。同时，所述固定柱13的底部设置有滑块，所述基座1与固定柱13对应的位置开设有滑槽，所述滑槽沿垂直于支撑板的转动平面，所述滑块滑动设置在滑槽内，通过滑块的滑动使固定柱进行滑动，从而使固定柱上的棘爪可脱离棘轮，当支撑板进行反向转动时，手动移出棘爪，使支撑板进行双向转动。
所述棘轮8的轮齿绕向与支撑板4在翻转机构的作用下向远离所述翻转机构一侧的转动方向相同，当支撑板4向伸缩气缸2的一侧进行转动时，棘轮8和棘爪10相互配合使用，以限位支撑板4的反向位移，保证支撑的稳定性；当支撑板4向远离伸缩气缸 2的一侧转动时，即顺时针转动时，向外移出固定柱，使支撑板可顺时针转动。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种半导体三坐标检测设备，其特征在于：包括三坐标检测设备(20)和设置在所述三坐标检测设备(20)的检测台上的检测夹具，所述检测夹具位于检测探头的下方；所述检测夹具包括基座(1)、翻转机构、支撑板(4)、固定板(6)和限位机构(5)，所述基座(1)固定设置在检测台上，所述基座(1)上垂直设置有固定板(6)，所述固定板(6)的顶端转动设置有支撑板(4)，所述翻转机构设置在基座(1)上，且所述翻转机构与支撑板(4)连接设置，所述支撑板(4)通过翻转机构绕固定板(6)的顶端转动设置，所述支撑板(4)上设置有限位机构(5)，所述支撑板(4)通过限位机构(5)限位支撑板(4)绕翻转机构转动的反方向。
2.根据权利要求1所述的一种半导体三坐标检测设备，其特征在于：所述翻转机构包括伸缩气缸(2)和连杆(3)，所述伸缩气缸(2)间距固定板(6)设置在基座(1)上，所述伸缩气缸(2)倾斜向上设置，且所述伸缩气缸(2)向固定板(6)的方向倾斜，所述伸缩气缸(2)的伸缩杆端部与连杆(3)的一端铰接设置，且所述连杆(3)的另一端铰接设置在支撑板(4)上，所述连杆(3)铰接设置在支撑板(4)朝向伸缩气缸(2)一侧的侧面上，且所述连杆(3)与支撑板(4)的铰接轴间距所述支撑板(4)与固定板(6)的转动轴设置。
3.根据权利要求2所述的一种半导体三坐标检测设备，其特征在于：所述伸缩气缸(2)在最小行程状态下的高度小于固定板(6)的高度，所述伸缩气缸(2)在最大行程状态下的高度大于固定板(6)的高度。
4.根据权利要求1所述的一种半导体三坐标检测设备，其特征在于：所述限位机构(5)包括固定柱(13)、棘轮(8)、棘爪(10)和弹片(11)，所述支撑板(4)的一端端部通过转动轴(9)与固定板(6)转动设置，所述转动轴(9)支撑板(4)相对固定设置，且所述转动轴(9)的一端向外延伸伸出支撑板(4)的外侧，所述转动轴(9)的伸出端上套设有棘轮(8)，所述固定柱(13)间距固定板(6)设置在基座(1)上，且所述固定柱(13)位于棘轮(8)的下方，所述固定柱(13)靠近顶端的壁体转动设置有棘爪(10)，所述棘爪(10)与棘轮(8)对应设置，所述棘爪(10)的下方设置有弹片(11)，所述弹片(11)通过安装座(12)设置在固定柱上，且所述弹片(11)抵接棘爪设置。
5.根据权利要求4所述的一种半导体三坐标检测设备，其特征在于：所述棘轮(8)的轮齿绕向与支撑板(4)在翻转机构的作用下向远离所述翻转机构一侧的转动方向相同。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820996374.7U CN208366311U (zh) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 一种半导体三坐标检测设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820996374.7U CN208366311U (zh) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 一种半导体三坐标检测设备 |
Publications (1)
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| CN208366311U true CN208366311U (zh) | 2019-01-11 |
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ID=64926975
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| CN201820996374.7U Active CN208366311U (zh) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 一种半导体三坐标检测设备 |
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| CN (1) | CN208366311U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114210105A (zh) * | 2022-01-08 | 2022-03-22 | 景津装备股份有限公司 | 气动棘轮式保持双接液板合拢装置及压滤机翻板接液机构 |
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2018
- 2018-06-27 CN CN201820996374.7U patent/CN208366311U/zh active Active
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| CN114210105A (zh) * | 2022-01-08 | 2022-03-22 | 景津装备股份有限公司 | 气动棘轮式保持双接液板合拢装置及压滤机翻板接液机构 |
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