CN208340520U - 一种大流量自动混气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大流量自动混气装置，包括壳体，所述壳体内腔固定安装有缓冲管路，所述缓冲管路侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管、第二混气管、置换吹扫管、混气主管路仪表、尾气排放管、隔离阀、缓冲管路仪表和缓冲支管，所述第一混气管从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀、第一混气管路减压装置、第一混气管路仪表、第一混气管路热式质量流量控制器和第一管路单向止回阀，所述第二混气管从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀、第二混气管路减压装置、第二混气管路仪表、第二混气管路热式质量流量控制器和第二管路单向止回阀，可以通过仪表相互比对、校核提高混气准确率。

Description

一种大流量自动混气装置

技术领域

本实用新型涉及混气装置技术领域，具体为一种大流量自动混气装置。

背景技术

近些年GaN基LED器件PSS衬底技术的广泛被采用，LED产能急剧提升，多腔高产能外延设备购买、定位安装；较大流量混气装置日渐重要，传统混气装置有以下不足，工艺设备增多，混气装置供气量不足及混气不均匀；支路间可能因压力差引起某一支路不能工作，混气达不到工艺需求；手动混气较适用用气量较小的规模，较难高效实现匹配大批量机台工艺需求。为此，我们提出一种大流量自动混气装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大流量自动混气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大流量自动混气装置，包括壳体，所述壳体内腔固定安装有缓冲管路，所述缓冲管路侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管、第二混气管、置换吹扫管、混气主管路仪表、尾气排放管、隔离阀、缓冲管路仪表和缓冲支管，所述第一混气管从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀、第一混气管路减压装置、第一混气管路仪表、第一混气管路热式质量流量控制器和第一管路单向止回阀，所述第二混气管从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀、第二混气管路减压装置、第二混气管路仪表、第二混气管路热式质量流量控制器和第二管路单向止回阀，所述置换吹扫管前端固定安装有置换吹扫隔离阀，所述置换吹扫管中部固定安装有高纯氮气进口单向止回阀，所述尾气排放管中部固定安装有排空阀，所述缓冲支管下端固定安装有缓冲钢瓶，所述缓冲支管右后端固定连通有出口管，所述出口管中部固定安装有出口过滤装置，所述出口管上部固定安装有缓冲管路出口隔离阀，所述壳体前端壁开有排气出口，所述排气出口内腔固定安装有过滤网，所述壳体后端壁分别固定安装有防爆拉丝玻璃观测窗、触摸屏和PLC控制装置。

优选的，所述壳体下端通过螺栓固定安装有支撑架。

优选的，所述尾气排放管前端固定连通于排气出口。

优选的，所述混气主管路仪表位于置换吹扫管和尾气排放管之间。

优选的，所述出口管右端固定安装于壳体的侧壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该大流量自动混气装置，通过设有第一混气管、第一管路进气气动阀、第一混气管路减压装置、第一混气管路仪表、第一混气管路热式质量流量控制器、第一管路单向止回阀、第二混气管、第二管路进气气动阀、第二混气管路减压装置、第二混气管路仪表、第二混气管路热式质量流量控制器和第二管路单向止回阀结构，可以实现自动混气控制及危险状况下紧急切断换气，保证设备安全、稳定工作，可实现秒大流量供气；通过设有隔离阀和出口过滤装置结构，使得混气出口隔离及过滤让混气后的气体质量得以有效控制；通过设有缓冲管路、隔离阀、混气主管路仪表、缓冲管路仪表、置换吹扫管、置换吹扫隔离阀和高纯氮气进口单向止回阀结构，机械仪表与电子仪表，可以通过仪表相互比对、校核提高混气准确率。通过设有缓冲钢瓶结构，47L钢瓶及整个缓冲管路让混气比更精确、均匀。

附图说明

图1为本实用新型俯视剖视图。

图中：1第一混气管、11第一管路进气气动阀、12第一混气管路减压装置、13第一混气管路仪表、14第一混气管路热式质量流量控制器、15第一管路单向止回阀、2第二混气管、21第二管路进气气动阀、22第二混气管路减压装置、23第二混气管路仪表、24第二混气管路热式质量流量控制器、25第二管路单向止回阀、3缓冲管路、31隔离阀、32混气主管路仪表、33缓冲管路仪表、4置换吹扫管、41置换吹扫隔离阀、42高纯氮气进口单向止回阀、5出口管、51缓冲管路出口隔离阀、52出口过滤装置、6尾气排放管、61排空阀、62排气出口、63过滤网、7缓冲支管、71缓冲钢瓶、8壳体、81防爆拉丝玻璃观测窗、82触摸屏、83PLC控制装置、9支撑架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种大流量自动混气装置，包括壳体8，壳体8保护装置。所述壳体8内腔固定安装有缓冲管路3，缓冲管路3对气体进行缓冲。所述缓冲管路3侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管1、第二混气管2、置换吹扫管4、混气主管路仪表32、尾气排放管6、隔离阀31、缓冲管路仪表33和缓冲支管7，第一混气管1和第二混气管2均将气体流进缓冲管3的内腔。隔离阀31对气体进行隔离。置换吹扫管4添加氮气，缓冲管路仪表33对缓冲管3流量进行监测。缓冲支管7可以将混合后的气体排出。所述第一混气管1从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀11、第一混气管路减压装置12、第一混气管路仪表13、第一混气管路热式质量流量控制器14和第一管路单向止回阀15，打开第一管路进气气动阀11和第二管路进气气动阀21使得气体流动。所述第二混气管2从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀21、第二混气管路减压装置22、第二混气管路仪表23、第二混气管路热式质量流量控制器24和第二管路单向止回阀25，第一混气管路减压装置12和第二混气管路减压装置22为管道减压阀。对气体进行减压。第一混气管路仪表13和第二混气管路仪表23分别监测第一混合管1和第二混气管2的气流量。第一混气管路热式质量流量控制器14和第二混气管路热式质量流量控制器24控制流量。第一管路单向止回阀15和第二管路单向止回阀25，防止气体逆流。所述置换吹扫管4前端固定安装有置换吹扫隔离阀41，打开置换吹扫隔离阀41氮气流进。所述置换吹扫管4中部固定安装有高纯氮气进口单向止回阀42，高纯氮气进口单向止回阀42防止氮气回流。所述混气主管路仪表32位于置换吹扫管4和尾气排放管6之间，监测所有的气体流量。所述尾气排放管6中部固定安装有排空阀61，将使用后的尾气排出。所述缓冲支管7下端固定安装有缓冲钢瓶71，缓冲钢瓶71对气体进行缓冲，减少气体的气压。所述缓冲支管7右后端固定连通有出口管5，出口管5可以将气体流出。所述出口管5中部固定安装有出口过滤装置52，出口过滤装置52对混合后的气体进行过滤，使得气体更纯净。所述出口管5右端固定安装于壳体8的侧壁，将混合后的气体排出。所述壳体8前端壁开有排气出口62，所述出口管5上部固定安装有缓冲管路出口隔离阀51，所述壳体8前端壁开有排气出口62，所述排气出口62内腔固定安装有过滤网63，过滤网63对尾气进行过滤。所述壳体8后端壁分别固定安装有防爆拉丝玻璃观测窗81、触摸屏82和PLC控制装置83。通过触摸屏82和PLC控制装置对装置进行控制，所述触摸屏82为TFT-LCD触摸屏。所述壳体8下端通过螺栓固定安装有支撑架9，支撑装置。

工作原理：气体通过第一混气管1和第二混气管2进入，然后打开第一管路进气气动阀11和第二管路进气气动阀21使得气体流动，然后通过第一混气管路减压装置12和第二混气管路减压装置22对气体进行减压，第一混气管路仪表13和第二混气管路仪表23分别显示第一混气管1和第二混气管2的流量，然后在通过第一混气管路热式质量流量控制器14和第二混气管路热式质量流量控制器24控制第一混气管1和第二混气管2的流量。第一管路单向止回阀15和第二管路单向止回阀25防止气体逆流。全部流进缓冲管路3，高纯度氮气通过置换吹扫管4流入缓冲管路3的内腔，混气主管路仪表32对总流量进行监测。打开排空阀61尾气通过尾气排放管6流出。缓冲钢瓶71对气体进行缓冲，然后通过出口管5流出，出口过滤装置52对其进行过滤。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种大流量自动混气装置，包括壳体(8)，其特征在于：所述壳体(8)内腔固定安装有缓冲管路(3)，所述缓冲管路(3)侧壁从左至右依次固定安装有第一混气管(1)、第二混气管(2)、置换吹扫管(4)、混气主管路仪表(32)、尾气排放管(6)、隔离阀(31)、缓冲管路仪表(33)和缓冲支管(7)，所述第一混气管(1)从后至前依次固定安装有第一管路进气气动阀(11)、第一混气管路减压装置(12)、第一混气管路仪表(13)、第一混气管路热式质量流量控制器(14)和第一管路单向止回阀(15)，所述第二混气管(2)从后至前依次固定安装有第二管路进气气动阀(21)、第二混气管路减压装置(22)、第二混气管路仪表(23)、第二混气管路热式质量流量控制器(24)和第二管路单向止回阀(25)，所述置换吹扫管(4)前端固定安装有置换吹扫隔离阀(41)，所述置换吹扫管(4)中部固定安装有高纯氮气进口单向止回阀(42)，所述尾气排放管(6)中部固定安装有排空阀(61)，所述缓冲支管(7)下端固定安装有缓冲钢瓶(71)，所述缓冲支管(7)右后端固定连通有出口管(5)，所述出口管(5)中部固定安装有出口过滤装置(52)，所述出口管(5)上部固定安装有缓冲管路出口隔离阀(51)，所述壳体(8)前端壁开有排气出口(62)，所述排气出口(62)内腔固定安装有过滤网(63)，所述壳体(8)后端壁分别固定安装有防爆拉丝玻璃观测窗(81)、触摸屏(82)和PLC控制装置(83)。

2.根据权利要求1所述的一种大流量自动混气装置，其特征在于：所述壳体(8)下端通过螺栓固定安装有支撑架(9)。

3.根据权利要求1所述的一种大流量自动混气装置，其特征在于：所述尾气排放管(6)前端固定连通于排气出口(62)。

4.根据权利要求1所述的一种大流量自动混气装置，其特征在于：所述混气主管路仪表(32)位于置换吹扫管(4)和尾气排放管(6)之间。

5.根据权利要求1所述的一种大流量自动混气装置，其特征在于：所述出口管(5)右端固定安装于壳体(8)的侧壁。