CN208239286U - 光罩检验支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种光罩检验支架，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。本实用新型实施例通过基座和枢接于基座上的旋转架的结构，采用旋转旋转架的方式对光罩进行正面、背面检查，避免检验员频繁前后走动观察导致浮灰扬起而影响光罩的检验效果；通过基座和旋转架之间的锁定结构，可以自由调节光罩检验支架的运动状态，方便检验员操作，检验员可以在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人检验能力，提高检验效率。

Description

光罩检验支架

技术领域

本实用新型实施例涉及检验光罩用的辅助设备技术领域，尤其涉及一种光罩检验支架。

背景技术

在光罩的制作过程中，需要对光罩的性能进行检测，以避免不合格的半成品光罩进入下道工序、或者避免不合格的成品光罩进入市场。检测光罩时，一般会用到光学检验机构，光学检验机构包括支撑杆及与支撑杆转动连接的支架。检测时将光罩放置在支架上，然后转动支架，使用光学检测设备在要求的检验角度对支架上的光罩进行检测。但这种光学检验机构上没有锁定节构，在检测时不能固定支架的旋转角度，使得检测结果易出现偏差。

实用新型内容

本实用新型实施例要解决的技术问题在于，提供一种光罩检验支架，提高光罩的检验效果和检验效率。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种光罩检验支架，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。

进一步地，所述基座和旋转架通过滚珠轴承连接，所述基座与滚珠轴承的外圈相对固定，所述旋转架与滚珠轴承的内圈相对固定。

进一步地，所述旋转架和基座上分别设有旋转轴和与所述旋转轴对应枢接的轴孔，所述旋转轴和轴孔两者中的一个设置在旋转架上而另一个设置在基座上。

进一步地，所述锁定结构包括设在基座顶部一侧的活动插销以及设置于旋转架底部且分别在旋转架处于初始位置和旋转角度位置时正对所述活动插销的位置处供活动插销插入的销孔。

进一步地，所述旋转架包括底部与基座枢接的底边框以及以底端垂直连接于底边框的末端用于固定光罩的侧边框。

进一步地，所述旋转架为PVC或不锈钢制成。

进一步地，所述基座为PVC或不锈钢制成。

进一步地，所述限位结构为一一对应地设置在底边框顶面和侧边框上的多条不同宽度的限位卡槽，光罩的底边缘和侧边缘分别对应卡入底边框和侧边框上的限位卡槽内而定位。

采用上述技术方案，本实用新型实施例至少具有以下有益效果：本实用新型实施例通过基座和枢接于基座上的旋转架的结构，采用旋转旋转架的方式对光罩进行正面、背面检查，避免检验员频繁前后走动观察导致浮灰扬起而影响光罩的检验效果；通过基座和旋转架之间的锁定结构，可以自由调节光罩检验支架的运动状态，方便检验员操作，检验员可以在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人检验能力，提高检验效率。

附图说明

图1是本实用新型光罩检验支架一个实施例旋转架的立体结构示意图。

图2是本实用新型光罩检验支架一个实施例一个视角的结构示意图。

图3是本实用新型光罩检验支架一个实施例另一个视角的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图3所示，本实用新型实施例提供一种光罩检验支架，所述光罩检验支架包括基座2和枢接于基座2上的旋转架1，所述旋转架1上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座2和旋转架1之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架1相对于基座2固定的锁定结构。

本实用新型实施例通过基座2和枢接于基座2上的旋转架1的结构，采用旋转旋转架1的方式对光罩进行正面、背面检查，避免检验员频繁前后走动观察导致浮灰扬起而影响光罩的检验效果；通过基座2和旋转架1之间的锁定结构，可以自由调节光罩检验支架的运动状态，方便检验员操作，检验员可以在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人检验能力，提高检验效率。

在一个可选的实施例中，所述基座2和旋转架1通过滚珠轴承3连接，所述基座2与滚珠轴承3的外圈30相对固定，所述旋转架1与滚珠轴承3的内圈31相对固定。在本实施例中，滚珠轴承3用于实现旋转架1和基座2的相对旋转连接，使旋转架1可以在水平方向自由旋转。

在另一个可选的实施例中，所述旋转架1和基座2上分别设有旋转轴（图未示出）和与所述旋转轴对应枢接的轴孔（图未示出），所述旋转轴和轴孔两者中的一个设置在旋转架1上而另一个设置在基座2上。在本实施例中，通过旋转轴和轴孔的相互配合，使旋转架1和基座2之间实现相对旋转。

在一个可选的实施例中，所述锁定结构包括设在基座2顶部一侧的活动插销4以及设置于旋转架1底部且分别在旋转架1处于初始位置和旋转角度位置时正对所述活动插销的位置处供活动插销4插入的销孔5。具体实施时，所述锁定结构可采用搭扣、定位销等结构；在本实施例中，通过将活动插销4插入旋转架1的销孔5中来固定旋转架1；完成对光罩正面的检验后，打开活动插销4，旋转旋转架1，检查光罩背面，同时，可以从不同的角度对光罩进行更细致的检查，检查的角度往往是检验员的经验总结；相同的检查标准，不同的检验员在对同一种缺陷检验时，习惯的检验角度往往不一致，也就是同一个缺陷与检验角度，不同的检验员的对该缺陷的判断会有不一致的情况，因此不需要设置角度盘来确定旋转架1的旋转角度；这种设计可以使检验员在不移动位置的前提下，依据自己的检验习惯来自由调整检验角度，充分发挥个人的检验能力，提高检验效率。

在一个可选的实施例中，所述旋转架1包括底部与基座2枢接的底边框11以及以底端垂直连接于底边框11的末端用于固定光罩的侧边框10。在本实施例中，通过将旋转架1分成侧边框10和底边框11，分别用于固定光罩和与基座2枢接，使旋转架1更好的固定光罩并实现自由旋转，提高光罩检验效率。

在一个可选的实施例中，所述旋转架1为PVC或不锈钢制成。在本实施例中，所述旋转架1用于固定光罩的侧边框10可采用塑胶材质制成，减少放置光罩时的冲击力，也能防止光罩检验时产生的划伤现象；而所述旋转架1的底边框11可采用不锈钢制成，与滚珠轴承3连接时采用焊接的方式使连接更稳固。

在一个可选的实施例中，所述基座2为PVC或不锈钢制成。在本实施例中，具体实施时，所述旋转架1与基座2可采用钢、镍、铬、钼等材料制成，滚珠轴承3采用焊接的方式与旋转架1和基座2实现连接，焊接性能好，使旋转架1、滚珠轴承3与基座2之间连接更稳固，整体支架结构稳定牢固。

在一个可选的实施例中，所述限位结构为一一对应地设置在底边框11顶面和侧边框10上的多条不同宽度的限位卡槽6，光罩的底边缘和侧边缘分别对应卡入底边框11和侧边框10上的限位卡槽6内而定位。在本实施例中，依据光罩厚度将光罩放置在合适的限位卡槽6中，光罩的边缘部位对应卡入限位卡槽6内而定位，使光罩更稳固的固定在旋转架1上，防止光罩掉落，提高检验速度。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同范围限定。

Claims (8)

1.一种光罩检验支架，其特征在于，所述光罩检验支架包括基座和枢接于基座上的旋转架，所述旋转架上设置有用于固定光罩的边缘部位的限位结构，所述基座和旋转架之间还设置有用于将位于初始位置和旋转到预定角度时的旋转角度位置的旋转架相对于基座固定的锁定结构。

2.如权利要求1所述的光罩检验支架，其特征在于：所述基座和旋转架通过滚珠轴承连接，所述基座与滚珠轴承的外圈相对固定，所述旋转架与滚珠轴承的内圈相对固定。

3.如权利要求1所述的光罩检验支架，其特征在于：所述旋转架和基座上分别设有旋转轴和与所述旋转轴对应枢接的轴孔，所述旋转轴和轴孔两者中的一个设置在旋转架上而另一个设置在基座上。

4.如权利要求1所述的光罩检验支架，其特征在于：所述锁定结构包括设在基座顶部一侧的活动插销以及设置于旋转架底部且分别在旋转架处于初始位置和旋转角度位置时正对所述活动插销的位置处供活动插销插入的销孔。

5.如权利要求1所述的光罩检验支架，其特征在于：所述旋转架包括底部与基座枢接的底边框以及以底端垂直连接于底边框的末端用于固定光罩的侧边框。

6.如权利要求5所述的光罩检验支架，其特征在于：所述旋转架为PVC或不锈钢制成。

7.如权利要求5所述的光罩检验支架，其特征在于：所述基座为PVC或不锈钢制成。

8.如权利要求5所述的光罩检验支架，其特征在于：所述限位结构为一一对应地设置在底边框顶面和侧边框上的多条不同宽度的限位卡槽，光罩的底边缘和侧边缘分别对应卡入底边框和侧边框上的限位卡槽内而定位。