CN208189543U - 一种硅片的分离机构 - Google Patents
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Abstract
本申请提供了一种硅片的分离机构，所述的分离机构包括第一安装架，所述的第一安装架的上端设置有第一吹气组件，所述的第一吹气组件包括第一滑杆、能够沿所述的第一滑杆滑动的第一滑动块、驱动所述的第一滑动块沿所述的第一滑杆滑动的第一驱动汽缸，所述的第一滑动块上固定有一第一安装板，所述的第一安装板上设置有至少一个第一风刀。本申请的一种硅片分离机构，具有可移动的风刀，吹向硅片之间，消除硅片之间的负压，避免硅片分片过程中产生的划痕。
Description
技术领域
本申请涉及一种硅片的分离机构。
背景技术
硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900 摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。
在退火工艺中，需要将双片的硅片分为单片，但是在分片过程中，由于片与片之间会产生负压，因此，在分片的过程中容易造成划痕，为避免划痕的产生，继续生产一种能够消除两个硅片之间负压的机构。
实用新型内容
本申请要解决的技术问题是提供一种硅片的分离机构。
为了解决上述技术问题，本申请提供了一种硅片的分离机构，所述的分离机构包括第一安装架，所述的第一安装架的上端设置有第一吹气组件，所述的第一吹气组件包括第一滑杆、能够沿所述的第一滑杆滑动的第一滑动块、驱动所述的第一滑动块沿所述的第一滑杆滑动的第一驱动汽缸，所述的第一滑动块上固定有一第一安装板，所述的第一安装板上设置有至少一个第一风刀。
优选地，所述的分离机构还包括第二安装架，所述的第二安装架的上端设置有第二吹气组件，所述的第一吹气组件和第二吹气组件相对设置，分别位于待分离硅片的两侧。
优选地，所述的第二安装架的上端设置有第二吹气组件，所述的第二吹气组件包括第二滑杆、能够沿所述的第二滑杆滑动的第二滑动块、驱动所述的第二滑动块沿所述的第二滑杆滑动的第二驱动汽缸，所述的第二滑动块上固定有一第二安装板，所述的第二安装板上设置有至少一个第二风刀。
优选地，所述的第一滑杆与所述的第二滑杆相互平行设置，且所述的第一滑杆和第二滑杆沿水平方向设置。
优选地，所述的第一安装架上还设置有一升降装置，所述的第一吹气组件安装在所述的升降装置上，所述的升降装置用于驱动所述的第一吹气组件在上下移动。该升降机构的作用为，当硅片分离完成后，升降机构控制吹气组件下降，起到避让作用，使硅片能够顺利移动至下一个工位。
优选地，所述的升降装置为一升降汽缸，所述的汽缸包括一驱动杆，所述的第一吹气组件固定在所述的驱动杆的上端部。
本申请的一种硅片分离机构，具有可移动的风刀，吹向硅片之间，消除硅片之间的负压，避免硅片分片过程中产生的划痕。
附图说明
图1是一种硅片分离机构的结构示意图。
其中：11、第一安装架；12、升降装置；13、第一吹气组件；14、第一滑动块；15、第一滑杆；16、第一安装板；17、第一风刀；21、第二安装架；23、第二吹气组件；25、第二滑杆；26、第二安装板；27、第二风刀。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。
如图所示，本申请提供了一种硅片的分离机构，所述的分离机构包括第一安装架11，所述的第一安装架11的上端设置有第一吹气组件13，所述的第一吹气组件13包括第一滑杆15、能够沿所述的第一滑杆15滑动的第一滑动块14、驱动所述的第一滑动块14沿所述的第一滑杆15滑动的第一驱动汽缸，所述的第一滑动块14上固定有一第一安装板16，所述的第一安装板16上设置有至少一个第一风刀17。所述的分离机构还包括第二安装架21，所述的第二安装架 21的上端设置有第二吹气组件23，所述的第一吹气组件13和第二吹气组件23 相对设置，分别位于待分离硅片的两侧。所述的第二安装架21的上端设置有第二吹气组件23，所述的第二吹气组件23包括第二滑杆25、能够沿所述的第二滑杆25滑动的第二滑动块、驱动所述的第二滑动块沿所述的第二滑杆25滑动的第二驱动汽缸，所述的第二滑动块上固定有一第二安装板26，所述的第二安装板26上设置有至少一个第二风刀27。所述的第一滑杆15与所述的第二滑杆 25相互平行设置，且所述的第一滑杆15和第二滑杆25沿水平方向设置。所述的第一安装架11上还设置有一升降装置12，所述的第一吹气组件13安装在所述的升降装置12上，所述的升降装置12用于驱动所述的第一吹气组件13在上下移动。该升降机构的作用为，当硅片分离完成后，升降机构控制吹气组件下降，起到避让作用，使硅片能够顺利移动至下一个工位。所述的升降装置12 为一升降汽缸，所述的汽缸包括一驱动杆，所述的第一吹气组件13固定在所述的驱动杆的上端部。
本申请的一种硅片分离机构，具有可移动的风刀，吹向硅片之间，消除硅片之间的负压，避免硅片分片过程中产生的划痕。
以上所述实施例仅是为充分说明本申请而所举的较佳的实施例，本申请的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本申请基础上所作的等同替代或变换，均在本申请的保护范围之内。本申请的保护范围以权利要求书为准。
Claims (6)
1.一种硅片的分离机构，其特征在于，所述的分离机构包括第一安装架，所述的第一安装架的上端设置有第一吹气组件，所述的第一吹气组件包括第一滑杆、能够沿所述的第一滑杆滑动的第一滑动块、驱动所述的第一滑动块沿所述的第一滑杆滑动的第一驱动汽缸，所述的第一滑动块上固定有一第一安装板，所述的第一安装板上设置有至少一个第一风刀。
2.如权利要求1所述的一种硅片的分离机构，其特征在于，所述的分离机构还包括第二安装架，所述的第二安装架的上端设置有第二吹气组件，所述的第一吹气组件和第二吹气组件相对设置，分别位于待分离硅片的两侧。
3.如权利要求2所述的一种硅片的分离机构，其特征在于，所述的第二安装架的上端设置有第二吹气组件，所述的第二吹气组件包括第二滑杆、能够沿所述的第二滑杆滑动的第二滑动块、驱动所述的第二滑动块沿所述的第二滑杆滑动的第二驱动汽缸，所述的第二滑动块上固定有一第二安装板，所述的第二安装板上设置有至少一个第二风刀。
4.如权利要求3所述的一种硅片的分离机构，其特征在于，所述的第一滑杆与所述的第二滑杆相互平行设置，且所述的第一滑杆和第二滑杆沿水平方向设置。
5.如权利要求1所述的一种硅片的分离机构，其特征在于，所述的第一安装架上还设置有一升降装置，所述的第一吹气组件安装在所述的升降装置上，所述的升降装置用于驱动所述的第一吹气组件在上下移动。
6.如权利要求5所述的一种硅片的分离机构，其特征在于，所述的升降装置为一升降汽缸，所述的汽缸包括一驱动杆，所述的第一吹气组件固定在所述的驱动杆的上端部。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820714562.6U CN208189543U (zh) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | 一种硅片的分离机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820714562.6U CN208189543U (zh) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | 一种硅片的分离机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN208189543U true CN208189543U (zh) | 2018-12-04 |
Family
ID=64430457
Family Applications (1)
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| CN201820714562.6U Active CN208189543U (zh) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | 一种硅片的分离机构 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN208189543U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118431122A (zh) * | 2024-07-04 | 2024-08-02 | 迈为技术(珠海)有限公司 | 晶圆分离机构以及分离方法 |
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2018
- 2018-05-14 CN CN201820714562.6U patent/CN208189543U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN118431122A (zh) * | 2024-07-04 | 2024-08-02 | 迈为技术(珠海)有限公司 | 晶圆分离机构以及分离方法 |
| CN118431122B (zh) * | 2024-07-04 | 2024-10-01 | 迈为技术(珠海)有限公司 | 晶圆分离机构以及分离方法 |
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