CN208167097U - 沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种沉积炉，包括：炉体、排气管道和加热装置，炉体具有炉腔，炉体上设置有连通炉腔的进气口和出气口，出气口设置在炉体的侧面；排气管道设于出气口处，用于将炉腔内的气体排出；加热装置设置在炉腔内。本实用新型提供的沉积炉，出气口设置在炉体的侧面，模具组件的连接杆从炉体的顶部的通孔穿出，沉积炉在工作过程中产生具有腐蚀性的废气，废气直接通过排气管道从出气口排出，减少了具有腐蚀性的废气与连接杆的接触时间，从而降低了废气对连接杆的腐蚀作用，进而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。

Description

沉积炉

技术领域

本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，具体而言，涉及一种沉积炉。

背景技术

本实用新型对于背景技术的描述属于与本实用新型相关的相关技术，仅仅是用于说明和便于理解本实用新型的实用新型内容，不应理解为申请人明确认为或推定申请人认为是本实用新型在首次提出申请的申请日的现有技术。

目前，现有技术中沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具组件，模具组件包括连接杆和模具，出气口设置在炉体的顶部，连接杆穿过连接杆伸入炉体内，模具设置在炉体内并与连接杆连接，沉积炉的生产过程中会产生具有腐蚀性的废气，由于出气口与连接杆的伸出口为同一口，具有腐蚀性的废气与连接杆长时间接触，具有腐蚀性的废气腐蚀连接杆，加快了连接杆的老化速度，降低了产品的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型提供了一种使用寿命长的沉积炉。

本实用新型提供了一种沉积炉，包括：炉体，所述炉体具有炉腔，所述炉体上设置有连通所述炉腔的进气口和出气口，所述出气口设置在所述炉体的侧面；排气管道，所述排气管道设于所述出气口处，用于将所述炉腔内的气体排出；和加热装置，所述加热装置设置在所述炉腔内。

优选地，所述排气管道包括：收集部，所述收集部位于所述炉体内，且所述收集部上设置有多个收集孔；和输送部，所述输送部的一端连接所述收集部，另一端穿过所述出气口伸出所述炉体。

优选地，所述收集部呈环形。

优选地，所述环形为封闭环形或开口环形。

优选地，所述收集部包括第一部分和第二部分，所述第一部分和第二部分分别自输送部向两侧延伸环绕形成环形。

优选地，沉积炉还包括：多个收集罩，所述收集罩固定在所述收集部的外壁上，所述收集罩与所述收集孔相对应设置，所述收集罩呈喇叭口状。

优选地，所述输送部的另一端连接有过滤装置。

优选地，所述炉体包括主体和炉盖，所述出气口设置在所述主体上或炉盖上。

优选地，所述炉盖上设置有第一法兰，所述主体上设置有第二法兰，所述炉体和所述炉盖通过所述第一法兰和所述第二法兰固定连接。

优选地，沿所述炉体的周向设置有多个所述出气口。

优选地，所述排气管道的内壁上设置有防腐层。

本实用新型提供的沉积炉，出气口设置在炉体的侧面，模具组件的连接杆从炉体的顶部的通孔穿出，沉积炉在工作过程中产生具有腐蚀性的废气，废气直接从出气口排出，减少了具有腐蚀性的废气与连接杆的接触时间，从而降低了废气对连接杆的腐蚀作用，进而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型所述沉积炉的剖视结构示意图；

图2是本实用新型所述排气管道的第一种实施例的结构示意图；

图3是图2所示排气管道的侧视结构示意图；

图4是本实用新型所述排气管道的第二种实施例的结构示意图；

图5是本实用新型所述排气管道的第三种实施例的结构示意图；

图6是本实用新型所述排气管道的第四种实施例的结构示意图；

图7是本实用新型所述排气管道的第五种实施例的结构示意图。

其中，图1至图7中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10炉体，11炉腔，12主体，13炉盖，14出气口，15进气口，20排气管道，21收集部，211第一部分，212第二部分，22输送部，23收集孔，30收集罩，40第一法兰，50第二法兰，60过滤装置，70通孔，80收集口。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下述讨论提供了本实用新型的多个实施例。虽然每个实施例代表了实用新型的单一组合，但是本实用新型不同实施例可以替换，或者合并组合，因此本实用新型也可认为包含所记载的相同和/或不同实施例的所有可能组合。因而，如果一个实施例包含A、B、C，另一个实施例包含B和D的组合，那么本实用新型也应视为包括含有A、B、C、D的一个或多个所有其他可能的组合的实施例，尽管该实施例可能并未在以下内容中有明确的文字记载。

如图1所示，本实用新型提供的沉积炉包括：炉体10、排气管道20和加热装置。

具体地，炉体10具有炉腔11，炉体10上设置有连通炉腔11的进气口15和出气口14，出气口14设置在炉体10的侧面；排气管道20设于出气口14处，用于将炉腔11内的气体排出；加热装置设置在炉腔11内。

本实用新型提供的沉积炉，如图1所示，出气口14设置在炉体10的侧面，模具组件(图中未示出)的连接杆从炉体10顶部的通孔70穿出，沉积炉在工作过程中产生具有腐蚀性的废气，废气通过排气管道20直接从出气口14排出，减少了具有腐蚀性的废气与连接杆的接触时间，从而降低了废气对连接杆的腐蚀作用，进而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。

本实用新型的排气管道20即可在出气口14处向外延伸，也可以是部分伸入到炉腔11内。在本实用新型的一个实施例中，图2至图6所示，排气管道20包括：收集部21和输送部22，收集部21位于炉体10内，且收集部21上设置有多个收集孔23；输送部22的一端连接收集部21，另一端穿过出气口14伸出炉体10，沉积炉生产过程中产生的具有腐蚀性的气体从收集孔23进入收集部21内，多个收集孔23的设置在保证收集部21的强度情况下，保证了收集部21具有较大收集废气的进气面积，使沉积炉产生的废气快速地和大量地进入收集部21内，从而降低了废气滞留在炉腔11内的时间，减少了废气与模具组件的连接杆的接触时间，进而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。另外，将收集部21设置炉腔内，避免了气体由一侧导出影响反应气体在炉腔内的部分，而导致沉积不均匀的问题。在本实用新型的一个实施例中，如图7所示，收集部21上的多个收集孔23替换成一个收集口80，收集口80沿收集部21的长度方向设置，增加了收集部21收集废气的进气面积，使沉积炉产生的废气快速地和大量地进入收集部21内，从而降低了废气滞留在炉腔11内的时间，减少了废气与模具组件的连接杆的接触时间，进而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。

在本实用新型的一个实施例中，如图4至图6所示，收集部21呈环形，增加了收集部21与废气的接触面积，使沉积炉产生的废气快速地和大量地进入收集部21内，从而降低了废气滞留在炉腔11内的时间，减少了废气与模具组件的连接杆的接触时间，从而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。同时，收集部21成环形，可以进一步保证反应气体在炉腔内的均匀分布，进而提高了沉积制品的均匀。在本实用新型的一个实施例中，如图4和图5所示，环形为封闭环形或开口环形，也可以是螺旋状等，当然，排气管道20也可为一个直管，本领域的技术人员可根据具体的情况和要求使用相应形状的排气管道20的形状。在本实用新型的另一个实施例中，如图6所示，收集部21包括第一部分211和第二部分212，第一部分211和第二部分212分别自输送部22向两侧延伸环绕形成开口环形。该结构既能保证反应气体在炉腔内均匀分布，又由于开口的存在，有利于组装。

在本实用新型的一个实施例中，如图2至图6所示，沉积炉还包括：多个收集罩30，收集罩30固定在收集部21的外壁上，收集罩30与收集孔23相对应设置，如图3所示，收集罩30的为一端口大，另一端口小，收集罩30整体呈喇叭口状，收集罩30端口较小的一端与收集孔23连接，收集罩30较大的一端用于收集气体，使沉积炉产生的废气快速地和大量地进入收集部21内，从而降低了废气滞留在炉腔11内的时间，减少了废气与模具组件的连接杆的接触时间，从而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。

在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，输送部22的另一端连接有过滤装置60，过滤装置60设置，可将废气中颗粒过滤下来，避免了对出气口14下游的设备造成损害，从而增加了产品的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。

在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，炉体10包括主体12和炉盖13，出气口14设置在主体12上或炉盖13上，本领域的技术人员可根据具体的要求将出气口14设置在不同的位置。在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，炉盖13上设置有第一法兰40，主体12上设置有第二法兰50，炉体10和炉盖通过第一法兰40和第二法兰50固定连接，法兰连接使用方便，能够承受较大的压力，从而保证了炉盖13与主体12的连接强度和密封度，进而保证了产品的使用可靠性，增加了产品的市场竞争力。

在本实用新型的一个实施例中，沿炉体10的周向设置有多个出气口14，使排气管道20中的废气能够快速地排出，从而使沉积炉产生的废气快速地和大量地进入收集部21内，从而降低了废气滞留在炉腔11内的时间，减少了废气与模具组件的连接杆的接触时间，进而延长了模具组件的使用寿命，增加了产品的市场竞争力。并且设置多个出气口14时，即使排气管道20不伸入炉体内，也能提高反应气体在炉腔内分布的均匀性。

在本实用新型的一个实施例中，排气管道20的内壁上设置有防腐层，防腐层的设置，当具有腐蚀性的废气经过排气管道20时，防腐层将废气与排气管道20隔离，避免了具有腐蚀性的废气对排气管道20的腐蚀，从而延长了排气管道20的使用寿命，增加了产品的品质。

在本实用新型中，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种沉积炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体具有炉腔，所述炉体上设置有连通所述炉腔的进气口和出气口，所述出气口设置在所述炉体的侧面；

排气管道，所述排气管道设于所述出气口处，用于将所述炉腔内的气体排出；和

加热装置，所述加热装置设置在所述炉腔内。

2.根据权利要求1所述的沉积炉，其特征在于，所述排气管道包括：

收集部，所述收集部位于所述炉体内，且所述收集部上设置有多个收集孔；和

输送部，所述输送部的一端连接所述收集部，另一端穿过所述出气口伸出所述炉体。

3.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，

所述收集部呈环形。

4.根据权利要求3所述的沉积炉，其特征在于，

所述环形为封闭环形或开口环形。

5.根据权利要求3所述的沉积炉，其特征在于，

所述收集部包括第一部分和第二部分，所述第一部分和第二部分分别自输送部向两侧延伸环绕形成环形。

6.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，还包括：

多个收集罩，所述收集罩固定在所述收集部的外壁上，所述收集罩与所述收集孔相对应设置，所述收集罩呈喇叭口状。

7.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，

所述输送部的另一端连接有过滤装置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的沉积炉，其特征在于，

所述炉体包括主体和炉盖，所述出气口设置在所述主体上或炉盖上。

9.根据权利要求8所述的沉积炉，其特征在于，

所述炉盖上设置有第一法兰，所述主体上设置有第二法兰，所述炉体和所述炉盖通过所述第一法兰和所述第二法兰固定连接。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的沉积炉，其特征在于，

沿所述炉体的周向设置有多个所述出气口。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的沉积炉，其特征在于，

所述排气管道的内壁上设置有防腐层。