CN208008889U - 一种pvd真空离子镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及镀膜机技术领域，尤其是一种PVD真空离子镀膜机，所述机壳的一侧设置有密封门，所述机壳的另一侧设置有抽气泵，所述机壳的顶部设置有电机，所述机壳的内腔设置有转动支架，所述转动支架上垂直设有连接轴，所述连接轴通过联轴器与电机的动力轴连接，所述转动支架上开设有一对放置槽，所述转动支架的顶部转动连接有一对第二卡槽，所述转动支架的底部转动连接有第一卡槽，所述第一卡槽上固定连接转轴，所述转轴远离第一卡槽的一端固定连接转动齿轮，该PVD真空离子镀膜机在工作时电机带动转动支架旋转的同时待镀膜板在转动齿轮的带动下自转，实现了更加均匀镀膜的目的，避免出现镀膜不均匀的现象，保证了PVD镀膜的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜机技术领域，尤其涉及一种PVD真空离子镀膜机。
背景技术
随着科技水平的提高，电镀已经无法满足人们的需求。取而代之的真空离子镀技术越来越受到人们的欢迎，随着真空离子镀技术的不断发展，真空离子镀的市场也越来越大。那么传统真空离子镀膜机内的工件托架已经无法满足需求。传统的托架结构复杂而且悬挂的零件少，镀膜效率低。而且传统的托架只能围绕中心转轴旋转，经常出现零件镀膜厚度不均匀的现象，严重影响真空离子镀层的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在PVD真空镀膜机镀膜不均匀的缺点，而提出的一种PVD真空离子镀膜机。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
设计一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳，所述机壳的一侧设置有密封门，所述机壳的另一侧设置有抽气泵，所述机壳的顶部设置有电机，所述机壳的内腔设置有转动支架，所述转动支架上垂直设有连接轴，所述连接轴通过联轴器与电机的动力轴连接，所述转动支架上开设有一对放置槽，所述转动支架的顶部转动连接有一对第二卡槽，所述转动支架的底部转动连接有第一卡槽，所述第一卡槽上固定连接转轴，所述转轴远离第一卡槽的一端固定连接转动齿轮，所述机壳的内腔底部垂直设有立柱，所述立柱的顶部固定连接有与转动齿轮相互啮合的固定齿轮，所述机壳的内壁固定安装有等离子弧源。
优选的，所述转动支架的侧壁开设有插槽，所述插槽的底部转动设有滚轮。
优选的，所述第一卡槽、第二卡槽均为U型，并且U型内腔均设置有弧形弹片。
本实用新型提出的一种PVD真空离子镀膜机，有益效果在于：通过设置第一卡槽、第二卡槽、固定齿轮和转动齿轮，电机带动转动支架旋转的同时待镀膜板在转动齿轮的带动下自转，实现了更加均匀镀膜的目的，避免出现镀膜不均匀的现象，保证了PVD镀膜的质量。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种PVD真空离子镀膜机的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种PVD真空离子镀膜机的转动支架侧视图。
图中：1机壳、2密封门、3等离子弧源、4转动支架、5电机、6第一卡槽、7第二卡槽、8放置槽、9立柱、10固定齿轮、11转动齿轮、12滚轮、13插槽、14连接轴、15抽气泵。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳1，机壳1的一侧设置有密封门2，机壳1的另一侧设置有抽气泵15，机壳1的顶部设置有电机5，机壳1的内腔设置有转动支架4，转动支架4上垂直设有连接轴14，连接轴14通过联轴器与电机5的动力轴连接，转动支架4上开设有一对放置槽8，转动支架4的顶部转动连接有一对第二卡槽7，转动支架4的底部转动连接有第一卡槽6，第一卡槽6上固定连接转轴16，转轴16远离第一卡槽6的一端固定连接转动齿轮11，机壳1的内腔底部垂直设有立柱9，立柱9的顶部固定连接有与转动齿轮11相互啮合的固定齿轮10，机壳1的内壁固定安装有等离子弧源3。
转动支架4的侧壁开设有插槽13，插槽13的底部转动设有滚轮12，设置第一卡槽6、第二卡槽7均为U型，并且U型内腔均设置有弧形弹片，通过设置第一卡槽6、第二卡槽7、固定齿轮10和转动齿轮11，使得该镀膜机在使用时，将待镀膜板材从插槽13插入放置槽8中，第一卡槽6、第二卡槽7夹持待镀膜板材，电机5带动转动支架4旋转的同时待镀膜板在转动齿轮11的带动下自转，抽气泵15抽出机壳1中的空气，等离子弧源3对待镀膜板材进行离子镀膜，实现了更加均匀镀膜的目的，避免出现镀膜不均匀的现象，保证了PVD镀膜的质量。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳(1)，所述机壳(1)的一侧设置有密封门(2)，所述机壳(1)的另一侧设置有抽气泵(15)，其特征在于，所述机壳(1)的顶部设置有电机(5)，所述机壳(1)的内腔设置有转动支架(4)，所述转动支架(4)上垂直设有连接轴(14)，所述连接轴(14)通过联轴器与电机(5)的动力轴连接，所述转动支架(4)上开设有一对放置槽(8)，所述转动支架(4)的顶部转动连接有一对第二卡槽(7)，所述转动支架(4)的底部转动连接有第一卡槽(6)，所述第一卡槽(6)上固定连接转轴(16)，所述转轴(16)远离第一卡槽(6)的一端固定连接转动齿轮(11)，所述机壳(1)的内腔底部垂直设有立柱(9)，所述立柱(9)的顶部固定连接有与转动齿轮(11)相互啮合的固定齿轮(10)，所述机壳(1)的内壁固定安装有等离子弧源(3)。
2.根据权利要求1所述的一种PVD真空离子镀膜机，其特征在于，所述转动支架(4)的侧壁开设有插槽(13)，所述插槽(13)的底部转动设有滚轮(12)。
3.根据权利要求1所述的一种PVD真空离子镀膜机，其特征在于，所述第一卡槽(6)、第二卡槽(7)均为U型，并且U型内腔均设置有弧形弹片。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109852939A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-07 | 陕西理工大学 | 一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置 |
| CN115558899A (zh) * | 2022-10-19 | 2023-01-03 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院士官学校 | 一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法 |
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2018
- 2018-02-06 CN CN201820207170.0U patent/CN208008889U/zh not_active Expired - Fee Related
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