CN208008881U - 一种高效真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓，所述镀膜仓的底部设有支撑架，所述镀膜仓的外部侧壁上安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通，所述镀膜仓的内部底端安装有坩埚，所述坩埚开口朝上，所述坩埚内部内部安装有电热管，所述坩埚上方镀膜仓内部水平设有冷却盒，所述冷却盒的底部开设有若干个通孔，所述冷却盒顶部开设有多个通风口，所述通风口内部均安装有风扇，所述冷却盒顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆，两根所述支撑杆共同连接在镀膜仓顶部内壁上，两根所述支撑杆相邻的一侧对称设有夹紧装置。本实用新型，结构简单，操作方便，镀膜速度快，效率高，同时有效的提高了镀膜的均匀度。

Description

一种高效真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种高效真空镀膜装置。

背景技术

在现有的技术中真空镀膜腔的底部设置一个坩埚，对其加热后产生离子或原子蒸汽流，由于靠近坩埚的位置蒸汽流中的离子密度较大，远离坩埚的位置蒸汽流中离子的密度较小，因此在整个镀膜腔中造成离子分布不均匀，极大的影响了对应基片的镀膜均匀度。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在镀膜均匀度差的缺点，而提出的一种高效真空镀膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓，所述镀膜仓的底部设有支撑架，所述镀膜仓的外部侧壁上安装有真空泵，所述真空泵的抽气口与镀膜仓内部连通，所述镀膜仓的内部底端安装有坩埚，所述坩埚开口朝上，所述坩埚内部安装有电热管，所述坩埚上方镀膜仓内部水平设有冷却盒，所述冷却盒的底部开设有若干个通孔，所述冷却盒顶部开设有多个通风口，所述通风口内部均安装有风扇，所述冷却盒顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆，两根所述支撑杆共同连接在镀膜仓顶部内壁上，两根所述支撑杆相邻的一侧对称设有夹紧装置，所述夹紧装置包括固定板，所述固定板与支撑杆之间相互平行，所述固定板靠近支撑杆的一侧垂直连接有转轴，所述转轴连接在轴承内部，所述轴承安装在支撑杆上，所述固定板远离转轴的一侧竖直对称开设有两条滑槽，所述滑槽内部均滑动安装有滑块，所述滑块上固定连接有夹板，在所述滑槽内部均安装有弹簧，所述弹簧的两端分别固定连接在滑槽端部与滑块上，在所述转轴一端贯穿轴承连接有驱动装置。

优选的，所述驱动装置包括第一皮带轮，所述第一皮带轮固定连接在转轴端部，所述第一皮带轮上方设有电机，所述电机固定安装在电机架内部，所述电机架固定连接在镀膜仓内部顶端，在所述电机的输出轴上连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮之间通过皮带连接。

优选的，所述镀膜仓的一侧铰接有密封盖。

优选的，所述固定板上的两块夹板相互靠近的一侧均开设有限位卡槽。

本实用新型提出的一种高效真空镀膜装置，有益效果在于：将需要镀膜的基片通过夹紧装置固定在镀膜仓内部，驱动装置带动基片旋转，通过真空泵将镀膜仓内部的空气抽出，通过电热管给坩埚提供热量，坩埚发热蒸发，从而蒸汽通过通孔进入冷却盒内部冷区，再通过风扇将冷却盒内部的蒸汽送到基片上即可。本实用新型，结构简单，操作方便，镀膜速度快，效率高，同时有效的提高了镀膜的均匀度。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种高效真空镀膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种高效真空镀膜装置的夹紧装置结构示意图；

图3为图1中A处放大结构示意图。

图中：镀膜仓1、电机2、电机架3、转轴4、弹簧5、固定板6、夹板7、支撑杆8、轴承9、冷却盒10、通风口11、风扇12、通孔13、坩埚14、电热管15、支撑架16、真空泵17、滑块18、滑槽19、第一皮带轮20、第二皮带轮21、密封盖22、限位卡槽23。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓1，镀膜仓1的一侧铰接有密封盖22，镀膜仓1的底部设有支撑架16，镀膜仓1的外部侧壁上安装有真空泵17，真空泵17的抽气口与镀膜仓1内部连通，镀膜仓1的内部底端安装有坩埚14，坩埚14开口朝上，坩埚14内部安装有电热管15，坩埚14上方镀膜仓1内部水平设有冷却盒10，冷却盒10的底部开设有若干个通孔13，冷却盒10顶部开设有多个通风口11，通风口11内部均安装有风扇12，冷却盒10顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆8，两根支撑杆8共同连接在镀膜仓1顶部内壁上，两根支撑杆8相邻的一侧对称设有夹紧装置，夹紧装置包括固定板6，固定板6与支撑杆8之间相互平行，固定板6靠近支撑杆8的一侧垂直连接有转轴4，转轴4连接在轴承9内部，轴承9安装在支撑杆8上，固定板6远离转轴4的一侧竖直对称开设有两条滑槽19，滑槽19内部均滑动安装有滑块18，滑块18上固定连接有夹板7，固定板6上的两块夹板7相互靠近的一侧均开设有限位卡槽23，在滑槽19内部均安装有弹簧5，弹簧5的两端分别固定连接在滑槽19端部与滑块18上，在转轴4一端贯穿轴承9连接有驱动装置；打开镀膜仓1上的密封盖22，通过拉动夹板7，从而滑块18在滑槽19内部滑动，同时对弹簧5进行拉扯，将需要镀膜的基片的两端分别放置在两块夹板7之间的卡槽23内部进行限位，松开夹板7，弹簧5收缩，从而夹板7对基片进行夹紧固定，关上密封盖22，真空泵17将镀膜仓1内部的空气抽出，通过电热管15给坩埚14提供热量，坩埚14发热蒸发，从而蒸汽通过通孔13进入冷却盒10内部冷区，再通过风扇12将冷却盒10内部的蒸汽送到基片上即可。

驱动装置包括第一皮带轮20，第一皮带轮20固定连接在转轴4端部，第一皮带轮20上方设有电机2，电机2固定安装在电机架3内部，电机架3固定连接在镀膜仓1内部顶端，在电机2的输出轴上连接有第二皮带轮21，第一皮带轮20与第二皮带轮21之间通过皮带连接；通过启动电机2，从而第二皮带轮21通过皮带带动第一皮带轮20转动，转动的过程中带动基片旋转，从而使蒸汽均匀的附着在基片的表面。

实施方式：将需要镀膜的基片通过夹紧装置固定在镀膜仓1内部，驱动装置带动基片旋转，通过真空泵17将镀膜仓1内部的空气抽出，通过电热管15给坩埚14提供热量，坩埚14发热蒸发，从而蒸汽通过通孔13进入冷却盒10内部冷区，再通过风扇12将冷却盒10内部的蒸汽送到基片上即可。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种高效真空镀膜装置，包括镀膜仓(1)，所述镀膜仓(1)的底部设有支撑架(16)，所述镀膜仓(1)的外部侧壁上安装有真空泵(17)，所述真空泵(17)的抽气口与镀膜仓(1)内部连通，其特征在于，所述镀膜仓(1)的内部底端安装有坩埚(14)，所述坩埚(14)开口朝上，所述坩埚(14)内部安装有电热管(15)，所述坩埚(14)上方镀膜仓(1)内部水平设有冷却盒(10)，所述冷却盒(10)的底部开设有若干个通孔(13)，所述冷却盒(10)顶部开设有多个通风口(11)，所述通风口(11)内部均安装有风扇(12)，所述冷却盒(10)顶部两端分别垂直连接有两根支撑杆(8)，两根所述支撑杆(8)共同连接在镀膜仓(1)顶部内壁上，两根所述支撑杆(8)相邻的一侧对称设有夹紧装置，所述夹紧装置包括固定板(6)，所述固定板(6)与支撑杆(8)之间相互平行，所述固定板(6)靠近支撑杆(8)的一侧垂直连接有转轴(4)，所述转轴(4)连接在轴承(9)内部，所述轴承(9)安装在支撑杆(8)上，所述固定板(6)远离转轴(4)的一侧竖直对称开设有两条滑槽(19)，所述滑槽(19)内部均滑动安装有滑块(18)，所述滑块(18)上固定连接有夹板(7)，在所述滑槽(19)内部均安装有弹簧(5)，所述弹簧(5)的两端分别固定连接在滑槽(19)端部与滑块(18)上，在所述转轴(4)一端贯穿轴承(9)连接有驱动装置。

2.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于，所述驱动装置包括第一皮带轮(20)，所述第一皮带轮(20)固定连接在转轴(4)端部，所述第一皮带轮(20)上方设有电机(2)，所述电机(2)固定安装在电机架(3)内部，所述电机架(3)固定连接在镀膜仓(1)内部顶端，在所述电机(2)的输出轴上连接有第二皮带轮(21)，所述第一皮带轮(20)与第二皮带轮(21)之间通过皮带连接。

3.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜仓(1)的一侧铰接有密封盖(22)。

4.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于，所述固定板(6)上的两块夹板(7)相互靠近的一侧均开设有限位卡槽(23)。