CN207992682U - 一种用于直写光刻设备中的mems光阑打标装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，包括对准镜筒，依次设置在对准镜筒内的压圈、隔圈、透镜和LED光源，连接在对准镜筒上端的吸盘通光光阑底座，设置在吸盘通光光阑底座内的MEMS光阑，以及连接在对准镜筒下端的LED托板。本实用新型采用MEMS光阑，这种MEMS光阑不同于以往的机械光阑，是利用半导体曝光机及光刻工艺加工而成，光阑孔是图形而不是通孔，可防止灰尘落入打标装置中，且光阑孔具有700nm的超高精度，大大提升了打标装置的精度，从而提高了直写光刻设备的内层对准速度。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻技术领域，具体是一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置。
背景技术
直写光刻设备的对准分为内层对准和外层最准。内层对准是需要利用能量较高、穿透力较强的光源，结合光学准直系统、光阑，将光阑孔的形状印刷在PCB板内层，光阑孔印刷到PCB板内层的点通常称为Mark点。光阑孔的精度直接决定了打标Mark的精度，从而影响直写设备的整体产能。传统机械光阑的精度已无法满足直写光刻设备的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，该装置的打标光阑不同于传统的机械光阑，光阑孔是通过高精度的半导体光刻设备曝光而成的图形而不是通孔，精度可达700nm，远远高于传统的机械光阑。
本实用新型的技术方案为：
一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，包括对准镜筒，依次设置在对准镜筒内的压圈、隔圈、透镜和LED光源，连接在对准镜筒上端的吸盘通光光阑底座，设置在吸盘通光光阑底座内的MEMS光阑，以及连接在对准镜筒下端的LED托板。
所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，所述对准镜筒、吸盘通光光阑底座、压圈、隔圈、透镜、LED光源、LED托板和MEMS光阑的中心均在同一条直线上。
所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，所述吸盘通光光阑底座上设有若干点胶孔。
所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，所述LED光源的波段为405nm。
本实用新型的有益效果为：
由以上技术方案可知，本实用新型采用MEMS光阑，这种MEMS光阑不同于以往的机械光阑，是利用半导体曝光机及光刻工艺加工而成，光阑孔是图形而不是通孔，可防止灰尘落入打标装置中，且光阑孔具有700nm的超高精度，大大提升了打标装置的精度，从而提高了直写光刻设备的内层对准速度。本实用新型通过MEMS工艺来保证光阑的精度，具有设计合理、结构简单、经济实用、精度高等特点，是直写光刻设备中理想的光阑打标装置。
附图说明
图1是本实用新型的爆炸结构示意图；
图2是吸盘通光光阑底座的结构示意图；
图3是MEMS光阑的结构示意图；
其中：1、对准镜筒，2、吸盘通光光阑底座，3、压圈，4、隔圈，5、透镜，6、LED光源，7、LED托板，8、MEMS光阑，9、点胶孔。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明：
如图1、图3所示，一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，包括对准镜筒1，自上而下依次设置在对准镜筒1内的压圈3、隔圈4、透镜5和LED光源6，连接在对准镜筒1上端的吸盘通光光阑底座2，设置在吸盘通光光阑底座2内的MEMS光阑8，以及连接在对准镜筒1下端的LED托板7。
LED光源6的波段为405nm，为系统提供照明光源。压圈3、隔圈4和透镜5构成准直系统，用于LED光源的光束准直。对准镜筒1、吸盘通光光阑底座2、压圈3、隔圈4、透镜5、LED光源6、LED托板7和MEMS光阑8的中心均在同一条直线上。LED光源6发出的光通过准直系统，打到MEMS光阑8上，从MEMS光阑8中心孔射出，完成打标功能。
如图2所示，吸盘通光光阑底座2上设有四个点胶孔9。点胶孔9用于MEMS光阑8安装后的点胶固化。
MEMS光阑8安装于吸盘通光光阑底座2内，通过UV光学胶与吸盘通光光阑底座2点胶、固化为一个整体，然后该整体与对准镜筒1通过螺纹配合连接，位于对准镜筒1的上方。MEMS光阑8是利用较高精度的半导体光刻设备，在光刻掩膜板上曝光所需的光阑图形，曝光后的光刻掩膜板经过蚀刻、冲洗、去胶、烘干等一系列的光刻工艺，再经光学加工切割而成。因为用光刻设备曝光加工，其精度可达到700nm，是一种新型的高精度光阑，而MEMS光阑8的精度决定了系统打标的精度。
LED托板7用于承载LED光源，LED托板7与对准镜筒1的下端螺纹连接。
以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
Claims (4)
1.一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：包括对准镜筒，依次设置在对准镜筒内的压圈、隔圈、透镜和LED光源，连接在对准镜筒上端的吸盘通光光阑底座，设置在吸盘通光光阑底座内的MEMS光阑，以及连接在对准镜筒下端的LED托板。
2.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：所述对准镜筒、吸盘通光光阑底座、压圈、隔圈、透镜、LED光源、LED托板和MEMS光阑的中心均在同一条直线上。
3.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：所述吸盘通光光阑底座上设有若干点胶孔。
4.根据权利要求1所述的用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：所述LED光源的波段为405nm。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN207992682U (zh) |
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2018
- 2018-03-19 CN CN201820372368.4U patent/CN207992682U/zh active Active
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