CN207946621U - 一种热板式基板干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种热板式基板干燥装置，包括干燥室(1)和整流气室(2)，所述整流气室(2)设置于所述干燥室(1)的顶部，其中，所述整流气室(2)的侧壁上设置有至少一个进气口(3)，所述整流气室(2)的底面为整流板(7)，所述整流板(7)上开设有多个联通所述干燥室(1)与所述整流气室(2)的气孔(8)；所述干燥室(1)内设置有加热板(4)和基板支承件(5)，且所述干燥室(1)的侧壁上设置有至少两个排气口(6)。本实用新型的热板式基板干燥装置有效地减少了吹向玻璃基板的气流的不均匀乱流现象，缓解了表面湿润的配向膜发生色差的情况。

Description

一种热板式基板干燥装置

技术领域

本实用新型属于液晶显示技术领域，具体涉及一种热板式基板干燥装置。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-LCD，TFT-LCD)近年来得到了飞速的发展和广泛的应用，通常是由一个彩膜基板(Color Filter，CF)、一个薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)和一个配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)构成，其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。玻璃基板是TFT-LCD中最基础且重要的材料，目前彩色滤光片的制作流程包括：在玻璃基板上涂覆光刻胶，然后将涂覆光刻胶后的玻璃基板搬送到真空干燥室内进行干燥，干燥后再将该玻璃基板搬送到烘烤炉进行加热固化。

现有的干燥方式大致为利用鼓风机将外部空气送入干燥装置内，并加热吸入空气，以不断增加热空气对收容于干燥装置内的被干燥物的干燥处理。参见图1，图1示出了一种现有干燥炉的结构示意图及气流方向。现有的基板干燥装置通常是将加热气体从上方或一侧直接吹向玻璃基板，因此吹向玻璃基板的气流会呈现不均匀乱流现象，引起表面湿润的配向膜发生色差，影响液晶面板画面品质。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种热板式基板干燥装置。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本实用新型提供了一种热板式基板干燥装置，包括干燥室和整流气室，所述整流气室设置于所述干燥室的顶部，其中，

所述整流气室的侧壁上设置有至少一个进气口，所述整流气室的底面为整流板，所述整流板上开设有多个联通所述干燥室与所述整流气室的气孔；

所述干燥室内设置有加热板和基板支承件，且所述干燥室的侧壁上设置有至少两个排气口。

在本实用新型的一个实施例中，所述整流板上安装有多个气孔调节板，所述气孔调节板能够在所述整流板上平移，其中，所述气孔调节板上开设有多个调节孔。

在本实用新型的一个实施例中，所述气孔调节板通过紧固件连接在所述整流板上。

在本实用新型的一个实施例中，所述整流板上开设有安装孔，所述气孔调节板上开设有与所述安装孔配合使用的安装槽，所述紧固件依次穿过所述安装孔和所述安装槽，所述气孔调节板可沿所述安装槽移动。

在本实用新型的一个实施例中，所述气孔与所述调节孔的孔径相同，且多个所述气孔的孔间距与多个所述调节孔的孔间距相同。

在本实用新型的一个实施例中，所述干燥室和所述整流气室通过锁附机构锁定。

在本实用新型的一个实施例中，所述整流气室的侧壁上设置有两个进气口，分别位于所述整流气室相对的两个侧壁上。

在本实用新型的一个实施例中，所述干燥室的侧壁上设置有四个排气口，分别位于所述干燥室的四个侧壁上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型的热板式基板干燥装置包括通过整流板间隔开的整流气室和干燥室，进入整流气室中的气体通过整流板上的气孔均匀的吹向干燥室，有效地减少了吹向玻璃基板的气流的不均匀乱流现象，缓解了表面湿润的配向膜发生色差的情况。

2、本实用新型的整流板上设置有多个气孔调节板，所述气孔调节板能够根据实际需要灵活地调节气孔调节板局部区域的气孔大小，从而进一步减小干燥室内部的气流不均匀乱流现象。

附图说明

图1是一种现有的基板干燥装置的截面图；

图2是本实用新型实施例提供的一种热板式基板干燥装置的截面图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种热板式基板干燥装置的截面图；

图4是本实用新型热板式基板干燥装置的整流板的气流调节过程示意图；

图5是本实用新型提供的一种气流调节板的示意图。

附图标记说明：

1-干燥室；2-整流气室；3-进气口；4-加热板；5-基板支承件；6-排气口；7-整流板；8-气孔；9-气孔调节板；10-调节孔；11-安装孔；12-安装槽；13-锁附机构；14-玻璃基板。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型做进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例一

请参见图2，图2是本实用新型实施例提供的一种热板式基板干燥装置的截面图。如图所示，本实施例的热板式基板干燥装置包括干燥室1和位于干燥室1顶部的整流气室2，整流气室2的底面为整流板7，整流板7上开设有多个联通干燥室1与整流气室2的气孔8。干燥室1的内部设置有加热板4和基板支承件5。待干燥处理的玻璃基板14通过机器人手臂放入干燥室1内的基板支承件5上。加热板4位于已经放置的玻璃基板14的下方，用于对玻璃基板14进行烘烤，使玻璃基板14上配向膜中的有机溶剂挥发。如图2所示，整流气室2的侧壁上设置有两个进气口3，分别位于整流气室2相对的两个侧壁上。干燥室1的侧壁上设置有四个排气口6，分别位于干燥室1的四个侧壁上。使用过程中，通过进气口3向整流气室2中通入气体，整流气室2为具有一定容积的腔室，气流进入整流气室2之内后整合形成稳定的流体，所述稳定气流通过整流板7上的气孔8均匀地吹向位于干燥室1内的玻璃基板14，从而有效地减少了吹向玻璃基板的气流的不均匀乱流现象，缓解了表面湿润的配向膜发生色差的情况。随后，在干燥室1内加热的气流将玻璃基板14挥发的有机溶剂从排气口6排出。

本实施例的热板式基板干燥装置包括整流气室和干燥室，进入整流气室中的气体通过整流板上的气孔均匀地吹向干燥室，有效地减少了吹向玻璃基板的气流的不均匀乱流现象，缓解了表面湿润的配向膜发生色差的情况。

实施例二

请一并参见图3至图5，图3是本实用新型实施例提供的另一种热板式基板干燥装置的截面图；图4是本实用新型热板式基板干燥装置的整流板的气流调节过程的示意图；图5是本实用新型提供的一种气流调节板的示意图。在本实施例中，干燥室1内的气流排出时需通过干燥室1侧壁上的排气口6排出，因排气口6分布在四个侧壁上故而在干燥室1可能形成新的扰流现象。为了解决这一问题，使干燥室内的气流更加均匀，在上述实施例的基础上，如图4所示，本实施例的热板式基板干燥装置的整流板7上安装有多个气孔调节板9，气孔调节板9为长方形板状结构，每个气孔调节板9上开设有多个调节孔10。气孔调节板9通过紧固件连接在整流板7上，并且能够在整流板7上平移。在本实施例中，整流板7上开设有安装孔11，气孔调节板9上开设有安装槽12，紧固件依次穿过安装孔11和安装槽12将所述气孔调节板9紧固在整流板7上。此处的紧固件可以为螺栓，由于螺栓可以在具有一定长度的安装槽12内平移，因此，气孔调节板9能够在整流板7上平移，以使得调节孔10与气孔8完全重合、部分重合或完全不重合，以调节气孔8的大小，从而调节局部气流的大小。

例如，如图4所示，在A处，第一个气孔调节板9的调节孔10与气孔8完全重合，此时气孔8被调节至最大，此处的气流最大；在B处，第二个气孔调节板9的调节孔10与气孔8约50％重合，此时气孔8的一部分被气孔调节板9阻挡，此处通过气流减小；在C处，第二个气孔调节板9的调节孔10与气孔8完全不重合，即气孔8被气孔调节板9完全阻挡，此处的气流无法通过。如上所述，根据不同区域气流压差的大小不同，通过调节该区域的气孔调节板9，达到在干燥室1内气流的再次平衡。

进一步地，在本实施例中，气孔8与调节孔10的孔径相同，且多个相邻气孔8的孔间距与相邻调节孔10的孔间距相同，以便于加工、安装和调节。

进一步地，如图3所示，在本实施例中，干燥室1和整流气室2通过锁附机构13安装并锁定在一起。这种独立的设计便于干燥室1内各部件的维修以及气孔调节板上气孔8的大小的调节。在需要调节气孔8的大小时，打开锁附机构13，移开整流气室2，将气孔8与调节孔10调节至适当地相对位置，再将锁附机构13锁紧。

本实施例的整流板上设置有多个气孔调节板，所述气孔调节板能够根据实际需要灵活地调节气孔调节板局部区域的气孔大小，从而进一步减小干燥室内部的气流不均匀乱流现象。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种热板式基板干燥装置，其特征在于，包括干燥室(1)和整流气室(2)，所述整流气室(2)设置于所述干燥室(1)的顶部，其中，

所述整流气室(2)的侧壁上设置有至少一个进气口(3)，所述整流气室(2)的底面为整流板(7)，所述整流板(7)上开设有多个联通所述干燥室(1)与所述整流气室(2)的气孔(8)；

所述干燥室(1)内设置有加热板(4)和基板支承件(5)，且所述干燥室(1)的侧壁上设置有至少两个排气口(6)。

2.根据权利要求1所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述整流板(7)上安装有多个气孔调节板(9)，所述气孔调节板(9)能够在所述整流板(7)上平移，其中，所述气孔调节板(9)上开设有多个调节孔(10)。

3.根据权利要求2所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述气孔调节板(9)通过紧固件连接在所述整流板(7)上。

4.根据权利要求3所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述整流板(7)上开设有安装孔(11)，所述气孔调节板(9)上开设有与所述安装孔(11)配合使用的安装槽(12)，所述紧固件依次穿过所述安装孔(11)和所述安装槽(12)，所述气孔调节板(9)可沿所述安装槽(12)移动。

5.根据权利要求3所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述气孔(8)与所述调节孔(10)的孔径相同，且多个所述气孔(8)的孔间距与多个所述调节孔(10)的孔间距相同。

6.根据权利要求1所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述干燥室(1)和所述整流气室(2)通过锁附机构(13)锁定。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述整流气室(2)的侧壁上设置有两个进气口(3)，分别位于所述整流气室(2)相对的两个侧壁上。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的热板式基板干燥装置，其特征在于，所述干燥室(1)的侧壁上设置有四个排气口(6)，分别位于所述干燥室(1)的四个侧壁上。