CN207893331U - 真空气压浮台装置及印刷设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空气压浮台装置以及包含该真空气压浮台装置的印刷设备，该真空气压浮台装置包括微调帽、印刷基台和螺杆；微调帽设有第一内螺纹，微调帽具有装配部和拧动部，微调帽的装配部设有第一外螺纹；印刷基台设有安装槽，安装槽的内壁上设有第二内螺纹，第二内螺纹与第一外螺纹相匹配；螺杆具有第二外螺纹，第二外螺纹与第一内螺纹相匹配，螺杆通过微调帽安装在印刷基台的安装槽内，并且微调帽的拧动部暴露在印刷基台外以用于通过外力对印刷基台的水平度进行调节，防止扳手等工具对螺杆的磨损，也可以减少或避免印刷基台内螺纹的磨损，便于更换微调帽，延长整个印刷基台和螺杆的使用寿命，节约成本。

Description

真空气压浮台装置及印刷设备

技术领域

本实用新型涉及显示器制作设备领域，特别是涉及一种真空气压浮台装置及印刷设备。

背景技术

印刷有机发光器件(OLED)由于具有高效、低成本、大面积制备等优点引起了国内外的广泛关注和深入研究。在先进技术的发展和市场的需求推动下，目前印刷OLED已进入市场开发推广阶段，其中印刷工艺包括基板清洗、基板处理、喷墨打印、干燥固化、蒸镀、封装等。

为提高设备使用寿命和印刷成膜质量，通常可进行设备和工艺的优化。例如在印刷设备中，通过采用真空气流浮台装置精确控制基板的水平精度，同时减少印刷过程中玻璃基板等基板与印刷基台因摩擦等引起的静电作用。

传统的真空气流浮台装置包括支撑架、印刷基台以及与支撑架一体化的螺杆，通过螺杆和设置在螺杆上远离印刷基台所在端的螺母相配合实现对印刷基台高度的微调控和固定，调控范围为0-20μm。在实际操作中，印刷基台的高度及水平精度是目前印刷工艺的重要保障。而该传统的设置方式在微调和固定方面还是极为不便，需要扳手等工具进行强力调整，容易磨损螺杆影响固定效果，尤其是在多次微调之后印刷基台内还容易出现的螺纹磨损，进而造成的设备使用寿命受损和平稳度降低等问题。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种不易使印刷基台和螺杆发生磨损的真空气压浮台装置及印刷设备。

一种真空气压浮台装置，包括微调帽、印刷基台和螺杆；

所述微调帽整体上呈中空的柱体结构，所述微调帽设有第一内螺纹，所述微调帽具有装配部和拧动部，所述微调帽的装配部设有第一外螺纹；

所述印刷基台具有置物面，所述印刷基台的非置物面所在侧设有安装槽，所述安装槽的内壁上设有第二内螺纹，所述第二内螺纹与所述第一外螺纹相匹配；

所述螺杆具有第二外螺纹，所述第二外螺纹与所述第一内螺纹相匹配，所述螺杆通过所述微调帽安装所述安装槽内，并且所述拧动部暴露在所述印刷基台外。

在其中一个实施例中，所述第一内螺纹的螺距小于所述第一外螺纹的螺距。

在其中一个实施例中，所述第一内螺纹的螺距为2-3μm；

所述第一内螺纹的螺纹圈数为5-25圈；

所述第一外螺纹的螺距为200-500μm；

所述第一外螺纹的螺纹圈数为1-4圈。

在其中一个实施例中，所述印刷基台的中部设有多个气流孔，多个所述气流孔均匀分布。

在其中一个实施例中，所述印刷基台为陶瓷板。

在其中一个实施例中，所述安装槽有多个，多个所述安装槽间隔设置在所述印刷基台的边缘区域上；

所述螺杆有多个，所述微调帽有多个，多个所述微调帽和多个所述螺杆一一配套并分别对应安装在多个所述安装槽内。

在其中一个实施例中，所述真空气压浮台装置还包括支撑架，多个所述螺杆分别穿设于所述支撑架。

在其中一个实施例中，所述支撑架和多个所述螺杆呈一体化结构。

在其中一个实施例中，所述第二外螺纹设于所述螺杆的顶端，所述螺杆还包括位于所述螺杆的中部或下部的第三外螺纹；

所述支撑架上设有固定孔，所述固定孔内设有与所述第三外螺纹相匹配的第三内螺纹，所述固定孔有多个，多个所述螺杆分别通过多个所述固定孔与所述支撑架螺纹连接。

一种印刷设备，包括上述任一项所述的真空气压浮台装置。

上述真空气压浮台装置通过相配合设置的微调帽、印刷基台和螺杆，从而能够通过拧动微调帽的拧动部实现对印刷基台精细的微调控，简化了微调控操作过程，防止扳手等工具对螺杆的磨损，也可以减少或避免印刷基台内螺纹的磨损，便于更换微调帽，能够延长整个印刷基台和螺杆的使用寿命，从而节约成本。

进一步地，上述真空气压浮台装置通过将微调帽的第一外螺纹的螺距和所述第一内螺纹的螺距分别调整200-500μm和2-3μm，能够显著提高微调控的精度，提高置于印刷基台上的待打印的基板的水平精度，进而提高印刷成膜的精度和均匀性。

附图说明

图1为一实施方式的真空气压浮台装置的一视角的结构示意图；

图2为图1中的真空气压浮台装置的印刷基台的结构示意图；

图3为图1中的真空气压浮台装置的另一视角的结构示意图；

图4为图1中的真空气压浮台装置的又一视角的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请结合图1和图2，一实施方式的真空气压浮台装置10，包括印刷基台100、微调帽200和螺杆300。

微调帽200整体上呈中空的柱体结构，微调帽200设有第一内螺纹，微调帽200具有装配部和拧动部，微调帽200的装配部设有第一外螺纹。印刷基台100具有置物面，印刷基台100的非置物面所在侧设有安装槽101，安装槽101的内壁上设有第二内螺纹，第二内螺纹与第一外螺纹相匹配。螺杆300具有第二外螺纹，第二外螺纹与第一内螺纹相匹配，螺杆300通过微调帽200安装在印刷基台100的安装槽101内，并且微调帽200的拧动部暴露在印刷基台100外以用于通过外力对印刷基台100的水平度进行调节。

本实施方式的真空气压浮台装置10依靠依次螺纹配合的印刷基台100、微调帽200和螺杆300，能够通过拧动微调帽200的拧动部实现对印刷基台100精细的微调控，简化了微调控操作过程，防止扳手等工具对螺杆300的磨损，也可以减少或避免印刷基台100内螺纹的磨损，便于更换微调帽200，能够延长整个印刷基台100和螺杆300的使用寿命，从而节约成本。

事实上，本构思下的真空气压浮台装置10能够根据水平精度的要求，按需设置印刷基台100、微调帽200和螺杆300相配合的螺纹规格参数，从而尽可能提高印刷基台100的水平精度。

具体地，螺帽的高度可对应安装槽101的深度，例如设定为0.5-1cm。微调帽200上的第一外螺纹和第一内螺纹的尺寸分别与印刷基台100的安装槽101内的第二内螺纹和螺杆300的第二外螺纹的尺寸相对应设置。第二外螺纹设于螺杆300的顶端。

其中，印刷基台100的安装槽101内的第二内螺纹可以通过螺纹铣削的方式对已使用的印刷基台基础上在其卡槽增加螺纹来形成，安装槽101的直径优选为30-50mm，第二内螺纹为螺距优选为200-500μm。同时，也可以通过对已使用的螺杆进行改造，即在螺杆顶部增加高精度螺纹，利用螺纹铣削的方式在螺杆顶部增加高精度螺纹，螺距为2-3μm，螺纹5-20圈，可调控范围2-60μm。螺杆外直径为10-30mm。通过对已使用的印刷基台和螺杆的改造，能够进一步节约成本。

相对应地，微调帽200上的第一外螺纹的螺距例如可以为200μm、250μm、280μm、320μm、450μm或500μm等，对应优选为200-500μm，第一外螺纹的螺纹圈数例如可以为2圈或3圈，优选为1-4圈。第一内螺纹的螺距优选为2-3μm，第一内螺纹的螺纹圈数例如可以为8圈、16圈、20圈或25圈等，优选为5-20圈，从而整体上具有较高的调节精度。

在本实施方式中，印刷基台100优选为陶瓷板，整体上呈长方形。安装槽101设置有六个，其中四个分布在四个端角，其余两个分别分布在印刷基台100的两长边上，以提高对印刷基台100的支撑强度和稳固性。

另外，印刷基台100的中部设有多个气流孔102，多个气流孔102均匀分布，并呈高密度分布，以提高气流分布的均匀性，进而确保真空气压对玻璃基板等基板的均匀性作用力，从而保证印刷OLED器件的成膜均匀性。

请进一步结合图3和图4，在本实施方式中，螺杆300有六个，微调帽200有六个，六个微调帽200和六个螺杆300一一配套并分别对应安装在六个印刷基台100的安装槽101内。

可以理解，在其他实施方式中，印刷基台100的安装槽101可以有多个，多个安装槽101间隔设置在印刷基台100的边缘区域上，只要能够保证对印刷基台100的支撑强度和水平稳固性即可。对应地，螺杆300也对应设置多个，微调帽200也对应设置多个，多个微调帽200和多个螺杆300一一配套并分别对应安装在多个安装槽101内。

进一步地，本实施方式的真空气压浮台装置10还包括支撑架400，六个螺杆300分别穿设于支撑架400。支撑架400优选为钢架。

根据印刷成膜中对真空气压浮台固定稳固性的要求，螺杆200与支撑架400优选设为一体化结构，从而增加固定的精度。将一体化螺杆300与支撑架400通过微调帽200固定到印刷机台100的安装槽101内，将微调帽200旋上至螺杆300的顶端，再将带气孔的印刷基台100平放于微调帽200上，通过旋转微调帽200来达到连接印刷基台100和支撑架400。

在其他实施方式中，螺杆300还可以包括位于螺杆300的中部或下部的第三外螺纹。支撑架400上设有固定孔，固定孔内设有与第三外螺纹相匹配的第三内螺纹，固定孔有六个(多个)，六个(多个)螺杆300分别通过六个固定孔与支撑架400螺纹连接。

从整体上讲，本实施方式的真空气压浮台装置10通过增加微调帽200，微调帽200上的第一外螺纹的作用是为微调做一个可转动的活性结构以起固定印刷基台100的作用，高精度的第一内螺纹与螺杆300的螺纹相互配合来实现微调控，例如顺时针旋转微调帽200的拧动部，印刷基台100相对支撑架400下降，逆时针旋转微调帽200的拧动部，印刷基台100相对支撑架400上升。

本实施方式的真空气压浮台装置10通过螺纹的螺距可用来标度微调的尺度，可以按统一标准进行调控，减少了因强力操作而引起的误差，且可根据不同工艺需求通过旋转微调帽200来进行印刷基台100的水平度微调控，而不影响印刷基台100的固定。也就是，通过增加微调帽200将印刷基台100和支撑架400的固定与微调控操作可选择性的分离，还能够提高微调控的精度，简化微调控操作。

同时，本实施方式的真空气压浮台装置10避免传统固定方式中螺杆与支撑架、印刷基台在多次微调过程引起的磨损对固定功能的影响，可以更换微调帽200，有效减少甚至避免印刷基台100内的螺纹在多次微调控操作后的磨损，延长整个印刷基台的使用寿命，也能够减少扳手对螺杆300的磨损，节约成本。

另外，从OLED器件的制程方面讲，在印刷过程中，本实施方式的真空气压浮台装置10能够有效避免因印刷基台100不平或者高度不适而引起的印刷失误，同时真空气压浮台装置10的微调与系统调控结合可以满足不同工艺的需求，有利于大面积印刷工艺的推进。

一种印刷设备，包括上述任一实施方式的真空气压浮台装置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空气压浮台装置，其特征在于，包括微调帽、印刷基台和螺杆；

所述微调帽整体上呈中空的柱体结构，所述微调帽设有第一内螺纹，所述微调帽具有装配部和拧动部，所述微调帽的装配部设有第一外螺纹；

所述印刷基台具有置物面，所述印刷基台的非置物面所在侧设有安装槽，所述安装槽的内壁上设有第二内螺纹，所述第二内螺纹与所述第一外螺纹相匹配；

所述螺杆具有第二外螺纹，所述第二外螺纹与所述第一内螺纹相匹配，所述螺杆通过所述微调帽安装在所述安装槽内，并且所述拧动部暴露在所述印刷基台外。

2.根据权利要求1所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述第一内螺纹的螺距小于所述第一外螺纹的螺距。

3.根据权利要求2所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述第一内螺纹的螺距为2-3μm；

所述第一内螺纹的螺纹圈数为5-25圈；

所述第一外螺纹的螺距为200-500μm；

所述第一外螺纹的螺纹圈数为1-4圈。

4.根据权利要求1至3任一项所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述印刷基台的中部设有多个气流孔，多个所述气流孔均匀分布。

5.根据权利要求4所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述印刷基台为陶瓷板。

6.根据权利要求1至3任一项所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述安装槽有多个，多个所述安装槽间隔设置在所述印刷基台的边缘区域上；

所述螺杆有多个，所述微调帽有多个，多个所述微调帽和多个所述螺杆一一配套并分别对应安装在多个所述安装槽内。

7.根据权利要求6所述的真空气压浮台装置，其特征在于，还包括支撑架，多个所述螺杆分别穿设于所述支撑架。

8.根据权利要求7所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述支撑架和多个所述螺杆呈一体化结构。

9.根据权利要求7所述的真空气压浮台装置，其特征在于，所述第二外螺纹设于所述螺杆的顶端，所述螺杆还包括位于所述螺杆的中部或下部的第三外螺纹；

所述支撑架上设有固定孔，所述固定孔内设有与所述第三外螺纹相匹配的第三内螺纹，所述固定孔有多个，多个所述螺杆分别通过多个所述固定孔与所述支撑架螺纹连接。

10.一种印刷设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的真空气压浮台装置。