CN207874064U - 一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装 - Google Patents

一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装 Download PDF

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王文建
项海铭
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Tianjin Feixuan Technology Co.,Ltd.
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Tianjin Feixuan Science And Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,包括支撑座,旋转座,连接件和固定件,所述支撑座由侧板和底座组成,旋转座由旋转板和固定板组成,底座上方固定连接侧板,侧板中部开设连接孔,侧板在铰接孔外侧开设定位孔,旋转板上方固定连接固定板,旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接,固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位,固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。

Description

一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装
技术领域
本实用新型属于工装夹具领域,特别是一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装。
背景技术
磁悬浮分子泵广泛的应在半导体生产线、真空镀膜生产线、高档汽车后视镜镀膜生产线等领域,它是与这些生产线配套用于抽真空的必不可少的子设备。由于这些生产线的形式各样,就导致分子泵与其连接的角度位置就不同。就是我们通常上讲的分子泵泵口的朝向问题,有的需要分子泵泵口朝上安装,有的需要分子泵泵口朝下安装,有的需要分子泵泵口45°倾斜安装等。磁悬浮分子泵在运行时,转子叶轮组件是处于悬浮状态,不与其他任何件产生接触。它的悬浮原理是通过位置传感器检测转子叶轮组件的轴偏差信号,将该信号送入控制器,通过功率放大器控制电磁轴承中的电流,从而产生电磁力的变化使转子叶轮组件悬浮于规定的位置。由于上面所述,不同角度状态下的磁悬浮分子泵,由于重力点位置的不同,对悬浮状态影响很大。因此,我们在生产磁悬浮分子泵时,就必须将它固定在所需要的角度进行调试参数,以便获得最佳的悬浮状态。
实用新型内容
本实用新型通过将磁悬浮分子泵固定在可旋转的旋转板上,将旋转板铰接在两个侧板上,是旋转板可以绕两侧板的中心连线旋转,并通过固定旋转板两端,使旋转板可以实现每15°递增的形式进行旋转,从而获得所需要的角度。
为了解决上述问题,本实用新型提出一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装。
本实用新型所采用的技术方案是:
一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,包括支撑座,旋转座,连接件和固定件,所述支撑座由侧板和底座组成,旋转座由旋转板和固定板组成,底座上方固定连接侧板,侧板中部开设连接孔,侧板在铰接孔外侧开设定位孔,旋转板上方固定连接固定板,旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接,固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位,固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。
进一步的,所述定位孔环绕连接孔一周,均匀间隔的设置24个定位孔。
优选的,所述侧板外侧面和固定板外侧面均设置有加强筋。
优选的,所述旋转板的边缘的首部、中部、尾部分别设置有带孔的吊耳板,首部和尾部的吊耳板与固定件配合,中部的吊耳板与连接件连接。
本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果:
1、本实用新型能够在生产磁悬浮分子泵时,将磁悬浮分子泵固定在所需要的角度进行调试参数,以便获得最佳的悬浮状态。
2、本实用新型结构简单、体积较小、操作简单,能快速以及精确的调整角度。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的的爆炸图。
标号说明:
底座1;旋转板2;固定板3;侧板4;铰接销5;固定螺栓螺母6;
吊耳板7;加强筋8;连接孔9;定位孔10;安装孔11。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例1:如图1至2所示,本实施例是一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,包括底座1、旋转板2、固定板3、侧板4、铰接销5和固定螺栓螺母6,所述底座1上立焊两块侧板4,每个侧板4外侧面焊接两块加强筋8,每个侧板4的中心开设贯通的连接孔9,并以连接孔9为中心绕其一周均匀间隔地开设24个定位孔10,旋转板2上立焊固定板3,固定板3外侧面焊接两块加强筋8,固定板3开设安装孔11,旋转板2表面的两边缘的前、中、后三处分别焊接3对吊耳板7,前、后两处的吊耳板7的通孔与固定螺栓螺母6相配合,中间吊耳板7的通孔与铰接销5相配合,铰接销5穿过连接孔9和吊耳板7进而使旋转板2与侧板4连接在一起,旋转板2可绕铰接销5旋转。
使用时,将连接法兰利用卡钳螺钉与磁悬浮分子泵连接在一起,之后再将它们利用螺栓与固定板3固定,这样它们就和固定板3视为一体,通过旋转旋转板2,可以实现每15°递增的形式进行旋转,调整旋转板2到合适的角度,从而磁悬浮分子泵也调整到相应的角度,然后利用固定螺栓螺母6锁紧旋转板2前、后两处的吊耳板,完成固定。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,其特征在于,包括支撑座,旋转座,连接件和固定件,所述支撑座由侧板和底座组成,旋转座由旋转板和固定板组成,底座上方固定连接侧板,侧板中部开设连接孔,侧板在铰接孔外侧开设定位孔,旋转板上方固定连接固定板,旋转板通过连接件与侧板实现旋转地连接,固定件通过定位孔与旋转板配合实现旋转板的定位,固定板设置有与磁悬浮分子泵相配合的安装孔。
2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,其特征在于,所述定位孔环绕连接孔一周,均匀间隔的设置24个定位孔。
3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,其特征在于,所述侧板外侧面和固定板外侧面均设置有加强筋。
4.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵可调整角度的测试工装,其特征在于,所述旋转板的边缘的首部、中部、尾部分别设置有带孔的吊耳板,首部和尾部的吊耳板与固定件配合,中部的吊耳板与连接件连接。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109443801A (zh) * 2018-12-19 2019-03-08 中汽研(常州)汽车工程研究院有限公司 一种角度可调的汽车座椅测试试验平台
CN110434782A (zh) * 2019-08-27 2019-11-12 北京国网富达科技发展有限责任公司 连接夹具

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