CN207798024U - 一种紧凑型的数字全息显微系统 - Google Patents
一种紧凑型的数字全息显微系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207798024U CN207798024U CN201820068675.3U CN201820068675U CN207798024U CN 207798024 U CN207798024 U CN 207798024U CN 201820068675 U CN201820068675 U CN 201820068675U CN 207798024 U CN207798024 U CN 207798024U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- lens
- camera
- digital holographic
- reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种紧凑型的数字全息显微系统，本实用新型所采用的技术方案是包括棱镜延时反射式数字全息显微镜光路和棱镜延时透射式数字全息显微镜光路；棱镜延时反射式数字全息显微镜光路中，光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波，其中一束经过二分之一波片和透镜后入射相机、另一束经过透镜和样品表面反射后入射相机，相干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后，传输入计算机，进行数字重建。本实用新型的有益效果是系统更容易调整和达到较高精度。
Description
技术领域
本实用新型属于显微技术领域，涉及一种紧凑型的数字全息显微系统。
背景技术
现有反射式数字全息显微镜的延时系统为使用两个垂直反射镜组合的方式延时，通过调整两个反射镜的位置来匹配参考光与物光的光程差，从而达到实现干涉成像的目标。此系统需要精确控制两面反射镜互相垂直，并且需要同时移动两面反射镜来达到改变光程的目的，调节困难且要求精度较高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种紧凑型的数字全息显微系统，本实用新型的有益效果是系统更容易调整和达到较高精度。
本实用新型所采用的技术方案是包括反射式数字全息显微镜光路和透射式数字全息显微镜光路；反射式数字全息显微镜光路中光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波；其中一束经过第一反射镜反射后依次经过第一透镜、非偏振分光棱镜和物镜后平行出射于样品表面，样品反射光经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束，另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束，此路光穿过四分之一波片经第三反射镜反射后，再次透过四分之一波片和偏振分光棱镜，依次经过第二反射镜反射、第二透镜会聚、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射相机，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后，传输入计算机，进行数字重建；
透射式数字全息显微镜光路中光源发出的线偏振光经第一二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波，其中一束经过第一反射镜反射后依次经过第一透镜、照射于样品表面，由物镜收集后，经过非偏振分光棱镜反射后被第三透镜准直为平面波入射相机作为物光束；另一束经偏振分光棱镜折射的光束为参考光束，此路光穿过四分之一波片经第三反射镜反射后，再次透过四分之一波片和偏振分光棱镜，依次经过第二反射镜反射、第二透镜会聚、非偏振分光棱镜透射和第三透镜准直后入射相机，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机数字转化后，传输入计算机，进行数字重建。
进一步，光源为线偏振光源。
进一步，相机包括面阵彩色相机、线阵彩色相机、面阵黑白相机和线阵黑白相机，相机传感器类型包括CCD和CMOS。
进一步，第二反射镜角度和位置可变。
进一步，第一扩束镜、第二扩束镜、第三扩束镜有以下几种安装方式：
a)只安装第一扩束镜；
b)只安装其中任意两个；
c)三个扩束镜全部安装。
附图说明
图1是反射式数字全息显微系统、四分之一波片和反射镜延时结构示意图；
图2是透射式数字全息显微系统、四分之一波片和反射镜延时结构示意图；
图3是光源方案一示意图；
图4是光源方案二示意图。
图中，1.光源，2.第一二分之一波片，3.偏振分光棱镜，4.第一反射镜，5.第一透镜，6.非偏振分光棱镜，7.物镜，8.样品，9.第二二分之一波片，10.棱镜，11.第二透镜，12.第二反射镜，13.第三透镜，14.相机，15.计算机，16.四分之一波片，17.第三反射镜，18.第一扩束镜，19.第二扩束镜，20.第三扩束镜，21.发光源，22.第一聚焦透镜，23.针孔，24.第二聚焦透镜，25.光纤，26.第三聚焦透镜。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
本实用新型以四分之一波片和反射镜作为延时系统的数字全息显微系统如图1和图2所示。反射式数字全息显微镜光路如图1所示，光源1发出的线偏振光经第一二分之一波片2和偏振分光棱镜3后分为两束偏振态垂直的光波。其中透射光束作为物光束，其经过第一反射镜4反射后依次经过第一透镜5、非偏振分光棱镜6和物镜7后平行出射于样品8表面，样品8反射光经过非偏振分光棱镜6反射后被第三透镜13准直为平面波入射相机14作为物光束。另一束经偏振分光棱镜3折射的光束为参考光束，此路光穿过四分之一波片16经第三反射镜17反射后，再次透过四分之一波片16和偏振分光棱镜3，依次经过第二反射镜12反射、第二透镜11会聚、非偏振分光棱镜6透射和第三透镜13准直后入射相机14，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机14数字转化后，传输入计算机15，进行数字重建。
透射式数字全息显微镜光路如图2所示，光源1发出的线偏振光经第一二分之一波片2和偏振分光棱镜3后分为两束偏振态垂直的光波。其中透射光束作为物光束，其经过第一反射镜4反射后依次经过第一透镜5、照射于样品8表面，由物镜7收集后，经过非偏振分光棱镜6反射后被第三透镜13准直为平面波入射相机14作为物光束。另一束经偏振分光棱镜3折射的光束为参考光束，此路光穿过四分之一波片16经第三反射镜17反射后，再次透过四分之一波片16和偏振分光棱镜3，依次经过第二反射镜12反射、第二透镜11会聚、非偏振分光棱镜6透射和第三透镜13准直后入射相机14，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机14数字转化后，传输入计算机15，进行数字重建。由于物光光束和参考光光束需要扩束到合适尺寸进行干涉，可以选用扩束镜将偏振分光棱镜3的入射光斑和出射光斑进行扩束，第一扩束镜18、第二扩束镜19、第三扩束镜20安装位置如图1至图4所示。在数字全息显微技术中，物光与参考光需要严格控制偏振方向从而产生干涉。产生干涉的物光和参考光光程差需要严格控制在相干范围之内，本实用新型中棱镜10和第三反射镜17的位置可以在y轴方向精确移动从而匹配参考光光程与物光光程。
由于物光和参考光需要振动方向相同才能产生干涉，偏振方向也需要严格控制，四分之一波片16的光轴需要与光路平面呈45度才可以达到将第三反射镜17反射出的光线完全透过偏振分光棱镜的目的。光源1可由激光器经空间滤波器滤波后由透镜准直组成(如图3所示)，也可以由激光器光纤耦合输出后经透镜准直至合适光斑大小后输出(如图4所示)。本实用新型中所提光源皆为线偏振光源，若光源为随机偏振态，则可让激光先经过偏振片，变为线偏振态。图3为光源方案一。其中发光源21可采用半导体激光器，气体激光器(氦氖激光器)，LED，Super LED等。发光源21射入针孔23内，穿过第一聚焦透镜22和第二聚焦透镜24后射出，针孔23、第一聚焦透镜22和第二聚焦透镜24构成一个空间滤波器。图4位光源的方案二，入射光经过光纤25射出，穿过第三聚焦透镜26。相机(14)包括且不限于面阵彩色相机、线阵彩色相机、面阵黑白相机和线阵黑白相机。相机传感器类型包括其不限于CCD和CMOS。第二反射镜(12)角度和位置可变，可使参考光束与物光束形成夹角可变从而控制干涉条纹密度。
本实用新型提出了使用四分之一波片和反射镜组合的方式实现调整参考路光程的目的。另外也提出使用一个棱镜达到将光束偏转180度从而实现调整光程的目的。提出的这两种延时系统相较于两个反射镜的延时系统更容易调整和达到较高精度。本实用新型将系统的集成度提高并且简化了延时系统的调节难度。不同于传统的两面反射镜作为延时，本专利中用棱镜或四分之一波片作为延时的主要器件。属于数字全息成像技术领域，可用于三维实时形貌测量。
以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施方式所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种紧凑型的数字全息显微系统，其特征在于：包括反射式数字全息显微镜光路和透射式数字全息显微镜光路；
反射式数字全息显微镜光路中光源(1)发出的线偏振光经第一二分之一波片(2)和偏振分光棱镜(3)后分为两束偏振态垂直的光波；其中一束经过第一反射镜(4)反射后依次经过第一透镜(5)、非偏振分光棱镜(6)和物镜(7)后平行出射于样品(8)表面，样品(8)反射光经过非偏振分光棱镜(6)反射后被第三透镜(13)准直为平面波入射相机(14)作为物光束，另一束经偏振分光棱镜(3)折射的光束为参考光束，此路光穿过四分之一波片(16)经第三反射镜(17)反射后，再次透过四分之一波片(16)和偏振分光棱镜(3)，依次经过第二反射镜(12)反射、第二透镜(11)会聚、非偏振分光棱镜(6)透射和第三透镜(13)准直后入射相机(14)，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机(14)数字转化后，传输入计算机(15)，进行数字重建；
透射式数字全息显微镜光路中光源(1)发出的线偏振光经第一二分之一波片(2)和偏振分光棱镜(3)后分为两束偏振态垂直的光波，其中一束经过第一反射镜(4)反射后依次经过第一透镜(5)、照射于样品(8)表面，由物镜(7)收集后，经过非偏振分光棱镜(6)反射后被第三透镜(13)准直为平面波入射相机(14)作为物光束；另一束经偏振分光棱镜(3)折射的光束为参考光束，此路光穿过四分之一波片(16)经第三反射镜(17)反射后，再次透过四分之一波片(16)和偏振分光棱镜(3)，依次经过第二反射镜(12)反射、第二透镜(11)会聚、非偏振分光棱镜(6)透射和第三透镜(13)准直后入射相机(14)，与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹经相机(14)数字转化后，传输入计算机(15)，进行数字重建。
2.按照权利要求1所述一种紧凑型的数字全息显微系统，其特征在于：所述光源(1)为线偏振光源。
3.按照权利要求1所述一种紧凑型的数字全息显微系统，其特征在于：所述相机(14)包括面阵彩色相机、线阵彩色相机、面阵黑白相机和线阵黑白相机，相机传感器类型包括CCD和CMOS。
4.按照权利要求1所述一种紧凑型的数字全息显微系统，其特征在于：所述第二反射镜(12)角度和位置可变。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820068675.3U CN207798024U (zh) | 2018-01-16 | 2018-01-16 | 一种紧凑型的数字全息显微系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820068675.3U CN207798024U (zh) | 2018-01-16 | 2018-01-16 | 一种紧凑型的数字全息显微系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207798024U true CN207798024U (zh) | 2018-08-31 |
Family
ID=63272204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820068675.3U Active CN207798024U (zh) | 2018-01-16 | 2018-01-16 | 一种紧凑型的数字全息显微系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207798024U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109443234A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-08 | 许之敏 | 同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜 |
| CN112945083A (zh) * | 2021-01-29 | 2021-06-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光纤互联的并行相移数字全息显微成像系统 |
| WO2022241875A1 (zh) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 | 深圳技术大学 | 一种透射反射式数字全息显微系统 |
-
2018
- 2018-01-16 CN CN201820068675.3U patent/CN207798024U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109443234A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-08 | 许之敏 | 同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜 |
| CN112945083A (zh) * | 2021-01-29 | 2021-06-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光纤互联的并行相移数字全息显微成像系统 |
| WO2022241875A1 (zh) * | 2021-05-21 | 2022-11-24 | 深圳技术大学 | 一种透射反射式数字全息显微系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108415230A (zh) | 一种新型可变焦数字全息显微镜 | |
| CN108168425A (zh) | 一种具有新型延时系统的数字全息显微系统 | |
| US5548403A (en) | Phase shifting diffraction interferometer | |
| KR101056926B1 (ko) | Ｏｆｆ-ａｘｉｓ 방식의 이중 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3Ｄ 측정장치 | |
| JP7116174B2 (ja) | 直接レーザ干渉構造化のための光学装置 | |
| CN106292238B (zh) | 一种反射式离轴数字全息显微测量装置 | |
| JP6548727B2 (ja) | 照明装置及び計測装置 | |
| CN207798024U (zh) | 一种紧凑型的数字全息显微系统 | |
| CN107796330B (zh) | 一种白光干涉三维形貌测量光学系统 | |
| CN102289152B (zh) | 光学系统波像差检测装置 | |
| KR20100134609A (ko) | 물체의 표면 형태를 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
| JPS63311121A (ja) | エンコ−ダ− | |
| WO2021175118A1 (zh) | 一种动态光场发生方法及发生装置 | |
| CN208297941U (zh) | 一种新型可变焦数字全息显微镜 | |
| CN207797998U (zh) | 一种具有新型延时系统的数字全息显微系统 | |
| KR20120068090A (ko) | 레이저 주사 방식에서 편광 간섭무늬방향의 변환이 가능한 미세 패턴 제조장치 및 그 제조장치를 이용한 미세패턴 제조방법 | |
| CN110319939A (zh) | 偏振移相结合pzt移相的短相干光源系统及实验方法 | |
| CN110031982A (zh) | 利用二维光栅和棱镜产生正方阵列矢量光束的方法与装置 | |
| WO2024007674A1 (zh) | 一种实现超高速结构光照明显微成像的方法和装置 | |
| CN106907987A (zh) | 一种干涉成像光学系统 | |
| CN208705667U (zh) | 一种三波长反射式数字全息显微镜 | |
| CN116974053A (zh) | 基于空间光调制器的光发射装置及固态激光雷达 | |
| CN109062018A (zh) | 一种三波长反射式数字全息显微镜 | |
| CN101251653A (zh) | 二维光学高阶衍射分束器的制备方法 | |
| KR100893768B1 (ko) | 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |