CN207775340U - 一种蒸发源以及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种蒸发源以及蒸镀装置，该蒸发源包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；蒸发箱包括顶板、底板、第一侧板、第二侧板、第一端板和第二端板；顶板朝向底板的一侧设有连接部，底板具有用于向背离顶板方向喷出气体的喷气孔组；坩埚包括坩埚本体和设于坩埚本体外侧的折边，折边上设有多个出气口，且坩埚本体通过折边与连接部滑动配合。该蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的方向发生变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板变形以及金属微粒附着在基板上形成的产品不良问题。

Description

一种蒸发源以及蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸发源以及蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光显示面板(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)是由多种功能层堆叠组成的发光器件。目前OLED的主要制作工艺是采用蒸镀技术制造，而蒸镀的具体操作为通过加热丝对材料进行加热，使得材料受热蒸发在基板表面成膜。

但是，传统的蒸镀方式中蒸镀装置内的蒸发孔为向上放置，玻璃基板在蒸发孔的上方，对于大尺寸基板或金属的掩膜来说，存在玻璃基板变形问题、掩膜板变形问题以及传送过程中掩膜滚轮之间摩擦产生微粒、微粒沉积在基板表面导致的产品不良问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种蒸发源以及蒸镀装置，上述蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的喷出方向发生了变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板变形以及金属微粒附着在基板上形成的产品不良问题。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种蒸发源，用于蒸镀装置，包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；

所述蒸发箱包括相对设置的顶板和底板、位于所述顶板和所述底板间且相对设置的第一侧板和第二侧板以及选择性开合的第一端板和第二端板；所述顶板朝向所述底板的一侧设有用于与所述坩埚滑动配合、以使所述坩埚可自所述第一端板和/或第二端板对应端部进出的连接部，所述底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组；

所述坩埚包括具有开口朝向所述顶板的坩埚本体和设于所述坩埚本体外侧的折边，所述折边上设有多个出气口，且所述坩埚本体通过所述折边与所述连接部滑动配合；当所述第一端板和第二端板扣合时，所述坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室；

所述加热单元置于所述蒸发箱内、且置于蒸发室外侧。

本实用新型提供一种蒸发源，上述蒸发源包括蒸发箱、坩埚和加热单元，由于蒸发箱的底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组，则处于蒸镀腔室中的蒸发箱的喷气口组朝向蒸镀腔室的底部；此外，由于蒸发箱内的第一端板和第二端板具有两个工位，则当第一端板和/或第二端板为打开状态时，坩埚可通过折边与设于蒸发箱内的连接部滑动配合自第一端板和/或第二端板对应的端部出入蒸发箱，从而操作工可实现对坩埚本体内物料的填充与更换；当第一端板和第二端板为扣合状态时，由于加热箱内坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室，则填充于坩埚内的物料蒸发产生有机蒸气后，有机蒸气可通过折边上的出气口导出蒸发室并进入蒸发室外侧与蒸发箱内壁形成的空间内，之后通过蒸发箱底板上的喷气孔组喷出并对基板进行镀膜。需要说明的是，置于蒸发箱与蒸发室之间的加热单元实现了对将要从喷气孔组喷出的有机蒸气的加热作用，使得气体在流动过程中不存在冷区，不会出现在蒸发箱内的凝结现象，利于气体在沿流动路径流动过程中平稳流动，材料利用率更高。

综上，本实用新型提供的蒸发源实现了整个蒸发源的倒置，使得蒸发源中的喷气孔组朝向蒸镀装置中蒸镀腔室的底部；而且，本实用新型提供的蒸发源中蒸发箱的第一端板与第二端板可选择性开合，蒸发箱内的坩埚可通过与蒸发箱内连接部的滑动配合相对第一端板和/或第二端板对应的端部出入蒸发箱，便于对坩埚内物料的填充、更换以及对坩埚的进行清洁操作。此外，本实用新型提供的蒸发源中沿有机蒸气的流动路径设置的加热单元使得整个蒸发源内不存在冷区，有机蒸气在流动过程中的形态更加稳定，材料的利用率更高。最后，本实用新型提供的蒸发源的流动路径更加合理，有机蒸气从蒸发室的出气口导出后需流经蒸发室与蒸发箱间的流动路径、自喷气孔组的喷气孔喷出，因此由于有机蒸气在流动路径流动的过程中蒸汽量稳定而均匀，则从喷气孔组喷出的蒸汽也是均匀而稳定的，不会出现喷溅现象。

因此，上述蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的喷出方向发生了变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板变形以及金属微粒附着在基板上形成的产品不良问题。

优选地，所述连接部包括设于所述蒸发箱顶板的钩块，所述钩块包括沿所述顶板到底板方向延伸的连接区以及与所述连接区延伸方向垂直、用于与所述坩埚的折边滑动配合的承载区，所述坩埚的折边搭接于所述承载区朝向所述顶板一侧，且所述坩埚上的多个所述出气孔设于所述折边未与所述承载区搭接部分。

优选地，还包括用于冷却所述蒸发箱的冷却单元；

所述冷却单元置于所述蒸发箱的外侧，且所述冷却单元包括用于支撑并冷却所述蒸发箱底板的底部冷却单元；所述底部冷却单元通过连接组件与所述蒸镀装置中的蒸镀腔室可拆卸连接；所述底部冷却单元具有开缝，用以使所述喷气孔组自所述开缝伸出、朝向所述蒸镀腔室底部方向。

优选地，所述冷却单元还包括用于冷却所述蒸发箱顶板的顶部冷却单元、用于冷却所述第一侧板的第一侧部冷却单元以及用于冷却所述第二侧板的第二侧部冷却单元。

优选地，所述冷却单元为水冷板。

优选地，还包括置于所述蒸发箱外侧的保温单元。

优选地，所述保温单元包括置于所述第一侧板与所述第一侧部冷却单元之间的第一侧部保温板、置于所述第二侧板与所述第二侧部冷却单元之间的第二侧部保温板、置于所述蒸发箱顶板与所述顶板冷却单元之间的顶部保温板以及置于所述蒸发箱底板与所述底部冷却单元之间的底部保温板。

优选地，所述底部冷却单元朝向所述蒸发箱的一侧设有固定块，所述底部保温板设有与所述固定块形状对应的长槽，以使所述固定块自所述长槽伸出支撑并固定所述蒸发箱。

优选地，所述加热单元包括置于所述第一侧边板朝向所述坩埚一侧的第一侧部加热板、置于所述第二侧边板朝向所述坩埚一侧的第二侧部加热板以及置于所述底板朝向所述坩埚一侧的底部加热板。

本实用新型还提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、置于所述蒸镀腔室内的承载平台以及置于所述蒸镀腔室内的上述技术方案中提供的任意一种蒸发源；

所述承载平台朝向所述蒸发源的一侧具有用于承载基板的承载面，所述承载平台背离所述承载面的一侧设有用于与所述蒸镀腔室的底部滑动配合以使所述承载平台可相对所述蒸镀腔室的底部滑动的滑动组件。

优选地，所述蒸镀腔室还包括设于所述蒸镀腔室顶部的连接组件，所述蒸发源通过底部冷却单元与所述连接组件可拆卸连接。

优选地，所述承载平台的承载面设有用于固定所述基板的固定装置。

优选地，所述固定装置包括一对位于对角线线上的直角型定位块，每个所述直角型定位块的内侧面用于卡合置于所述承载面上的基板的边角。

优选地，所述承载面设有至少一个便于拾取所述基板的沟槽。

优选地，所述承载平台背离所述承载面的一侧与所述蒸镀腔室的底板之间通过滑轨和滑槽滑动配合。

优选地，所述承载平台背离所述承载面的一侧与所述蒸镀腔室的底板之间通过滚轮与滚道滑动配合。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的蒸发源结构示意图；

图2为图1中坩埚结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的蒸镀装置中承载平台俯视图；

图4为本实用新型实施例提供的承载平台的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的承载平台另一种结构示意图。

图标：1-蒸发箱；11-喷气孔组；2-坩埚；21-坩埚本体；22-折边；221-出气口；3-加热单元；31-第一侧部加热板；32-第二侧部加热板；33-底部加热板；4-冷却单元；41-顶部冷却单元；42-第一侧部冷却单元；43-第二侧部冷却单元；44-底部冷却单元；5-保温单元；51-顶部保温板；52-第一侧部保温板；53-第二侧部保温板；54-底部保温板；6-蒸镀腔室；61-连接组件；7-承载平台；71-固定装置；72-沟槽；73-滑槽；74-滚轮；8-基板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1和图2，本实用新型提供一种蒸发源，用于蒸镀装置，包括：蒸发箱1、坩埚2和加热单元3；

蒸发箱1包括相对设置的顶板和底板、位于顶板和底板间且相对设置的第一侧板和第二侧板以及选择性开合的第一端板和第二端板；顶板朝向底板的一侧设有用于与坩埚2滑动配合、以使坩埚2可自第一端板和/或第二端板对应端部进出的连接部，底板具有用于向背离顶板方向喷出气体的喷气孔组11；

坩埚2包括具有开口朝向顶板的坩埚本体21和设于坩埚本体21外侧的折边22，折边22上设有多个出气口221，且坩埚本体21通过折边22与连接部滑动配合；当第一端板和第二端板扣合时，坩埚2、连接部、顶板以及折边22配合形成蒸发室；

加热单元3置于蒸发箱1内、且置于蒸发室外侧。

本实用新型提供一种蒸发源，上述蒸发源包括蒸发箱1、坩埚2和加热单元3，由于蒸发箱1的底板具有用于向背离顶板方向喷出气体的喷气孔组11，则处于蒸镀腔室6中的蒸发箱1的喷气口组朝向蒸镀腔室6的底部；此外，由于蒸发箱1内的第一端板和第二端板具有两个工位，则当第一端板和/或第二端板为打开状态时，坩埚2可通过折边22与设于蒸发箱1内的连接部滑动配合自第一端板和/或第二端板对应的端部出入蒸发箱1，从而操作工可实现对坩埚本体21内物料的填充与更换；当第一端板和第二端板为扣合状态时，由于加热箱内坩埚2、连接部、顶板以及折边22配合形成蒸发室，则填充于坩埚2内的物料蒸发产生有机蒸气后，有机蒸气可通过折边22上的出气口221导出蒸发室并进入蒸发室外侧与蒸发箱1内壁形成的空间内，之后通过蒸发箱1底板上的喷气孔组11喷出并对基板8进行镀膜。需要说明的是，置于蒸发箱1与蒸发室之间的加热单元33实现了对将要从喷气孔组11喷出的有机蒸气的加热作用，使得气体在流动过程中不存在冷区，不会出现在蒸发箱1内的凝结现象，利于气体在沿流动路径流动过程中平稳流动，材料利用率更高。

综上，本实用新型提供的蒸发源实现了整个蒸发源的倒置，使得蒸发源中的喷气孔组11朝向蒸镀装置中蒸镀腔室6的底部；而且，本实用新型提供的蒸发源中蒸发箱1的第一端板与第二端板可选择性开合，蒸发箱1内的坩埚2可通过与蒸发箱1内连接部的滑动配合相对第一端板和/或第二端板对应的端部出入蒸发箱1，便于对坩埚2内物料的填充、更换以及对坩埚2的进行清洁操作。此外，本实用新型提供的蒸发源中沿有机蒸气的流动路径设置的加热单元3使得整个蒸发源内不存在冷区，有机蒸气在流动过程中的形态更加稳定，材料的利用率更高。最后，本实用新型提供的蒸发源的流动路径更加合理，有机蒸气从蒸发室的出气口221导出后需流经蒸发室与蒸发箱1间的流动路径、自喷气孔组11的喷气孔喷出，因此由于有机蒸气在流动路径流动的过程中蒸汽量稳定而均匀，则从喷气孔组11喷出的蒸汽也是均匀而稳定的，不会出现喷溅现象。

因此，上述蒸发源通过改变内部各部分的结构，使得喷气孔的喷出方向发生了变化，利于使用上述蒸发源的蒸镀装置解决基板8变形以及金属微粒附着在基板8上形成的产品不良问题。

在上述技术方案的基础上，为了保证安装在蒸发箱1内的坩埚2的稳定性，作为一种优选实施方式，连接部包括设于蒸发箱1顶板的钩块，钩块包括沿顶板到底板方向延伸的连接区以及与连接区延伸方向垂直、用于与坩埚2的折边22滑动配合的承载区，坩埚2的折边22搭接于承载区朝向顶板一侧，且坩埚2上的多个出气孔设于折边22未与承载区搭接部分。

需要说明的是，在需要拆卸或安装坩埚2时，可通过坩埚2的折边22与钩块的承载区之间的滑动连接关系，抽拉坩埚本体21使其自第一端盖或者第二端盖进出蒸发箱1。

在上述技术方案的基础上，优选的，请继续参考图1，本实用新型提供的蒸发源还包括用于冷却蒸发箱1的冷却单元4；

冷却单元4置于蒸发箱1的外侧，且冷却单元4包括用于支撑并冷却蒸发箱1底板的底部冷却单元44；底部冷却单元44通过连接组件61与蒸镀装置中的蒸镀腔室6可拆卸连接；底部冷却单元44具有开缝，用以使喷气孔组11自开缝伸出、朝向蒸镀腔室6底部方向。

需要说明的是，冷却单元4置于蒸发箱1外侧且包括用于支撑并固定上述蒸发箱1的底部冷却单元44，且底部冷却单元44通过连接组件61与蒸镀装置中蒸镀腔室6可拆卸连接，则使得处于蒸镀腔室6中的蒸发箱1的喷气口组朝向蒸镀腔室6的底部；且由上述结构可知，当解除连接组件61与底部冷却单元44的连接关系时，可实现对蒸发箱1的拆卸。

综上，本实用新型提供的蒸发源利用冷却单元4中的底部冷却单元44不仅实现了整个蒸发源的倒置，使得蒸发源中的喷气孔组11朝向蒸镀装置中蒸镀腔室6的底部，而且通过底部冷却单元44与连接组件61之间的可拆卸结构，实现了对蒸发源从整个蒸镀装置中进行拆卸和维护的可能性，便于后期使用与维护。

值得注意的是，冷却单元4实现了对蒸发箱1的冷却，可有效的缓解蒸发箱1与蒸镀腔室6内部的热量交换，较好的维护蒸镀腔室6内部的温度平衡。

在上述技术方案的基础上，优选的，冷却单元4还包括用于冷却蒸发箱1顶板的顶部冷却单元41、用于冷却第一侧板的第一侧部冷却单元42以及用于冷却第二侧板的第二侧部冷却单元43。

需要说明的是，该结构实现了从各个方位对蒸发箱1的冷却作用，可以更好的实现对蒸发箱1的冷却效果。

具体的，顶部冷却单元41悬挂在蒸镀腔室6的顶板上，第一侧部冷却单元42以及第二侧部冷却单元43分别安装于蒸镀腔室6内部。

在上述技术方案的基础上，优选的，冷却单元4为水冷板。

在上述技术方案的基础上，为了进一步保证加热单元3对沿路径流动的有机蒸气的加热效果，减缓加热单元3产生的热量经蒸发箱1散失现象，本实用新型提供的蒸发源还包括置于蒸发箱1外侧的保温单元5。

具体的，优选保温单元5包括置于第一侧板与第一侧部冷却单元42之间的第一侧部保温板52、置于第二侧板与第二侧部冷却单元43之间的第二侧部保温板53、置于蒸发箱1顶板与顶部冷却单元41之间的顶部保温板51以及置于蒸发箱1底板与底部冷却单元44之间的底部保温板54。

此外，各保温板之间可以为一体式结构也可以是可拆卸结构。

优选的，第一侧部保温板52、第二侧部保温板53、顶部保温板51以及底部保温板54之间可拆卸连接。需要说明的是，上述各保温板之间的可拆卸连接结构，便于操作工对保温板的安装与拆卸操作。

在上述技术方案的基础上，为了保证蒸发箱1放置位置的平稳性以及在蒸发箱1与底部冷却单元44之间为底部保温板54留出放置空间，作为一种优选实施方式，底部冷却单元44朝向蒸发箱1的一侧设有固定块，底部保温板54设有与固定块形状对应的长槽，以使固定块自长槽伸出支撑并固定蒸发箱1。

在上述技术方案的基础上，加热单元3包括置于第一侧边板朝向坩埚2一侧的第一侧部加热板31、置于第二侧边板朝向坩埚2一侧的第二侧部加热板32以及置于底板朝向坩埚2一侧的底部加热板33。

需要说明的是，第一侧部加热板31、第二侧部加热板32以及底部加热板33的设置，实现了对有机蒸气沿蒸发路径流动过程中的全过程加热，使得整个蒸发路径中不存在冷区，从而有利于保证有机蒸气在从出气口221到喷气孔喷出的过程中温度的稳定性。

由于在不设置加热单元3时，有机蒸气沿出气口221到喷气孔流动过程中温度逐渐降低，则作为一种优选实施方案，设置加热单元3沿出气口221到喷气孔方向的加热温度由低到高。

因此，当选取各加热板的结构均设置有加热丝时，可将各加热板看作一个整体，该整体上的加热丝的数目沿出气口221到喷气孔方向由稀疏到密集。

请继续参考图1，本实用新型还提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室6、置于蒸镀腔室6内的承载平台7以及置于蒸镀腔室6内的上述技术方案中提供的任意一种蒸发源；

承载平台7朝向蒸发源的一侧具有用于承载基板8的承载面，承载平台7背离承载面的一侧设有用于与蒸镀腔室6的底部滑动配合以使承载平台7可相对蒸镀腔室6的底部滑动的滑动组件。

上述蒸镀装置中，蒸发源的喷气孔组11朝向蒸镀腔室6的底部，从而使得承载平台7朝向蒸镀腔室6的顶部，且承载平台7与蒸镀腔室6的底部滑动连接的滑动组件位于承载面背离蒸发源的一侧，则当大尺寸基板8和掩膜版置于承载面时，不会产生由于重力作用造成的变形弯曲问题，且由于基板8位于承载平台7和滑动组件的上方，则滑动组件滑动过程中产生的金属类灰尘不会沉积在基板8的表面，减少了由于金属类灰尘的沉积造成的产品不良的情况发生，可提高产品的合格率。而且，本实用新型提供的蒸镀装置可以不需要掩膜板框架，利于减少对基板8进行镀膜的成本。

在上述技术方案的基础上，具体的，蒸镀腔室6包括设于蒸镀腔室6顶部的连接组件61，蒸发源通过底部冷却单元44与连接组件61可拆卸连接。

在上述技术方案的基础上，为了更好的固定基板8的位置，使得产品更加满足蒸镀要求，优选的，承载平台7的承载面设有用于固定基板8的固定装置71。

具体的，请参考图3，固定装置71包括一对位于对角线线上的直角型定位块，每个直角型定位块的内侧面用于卡合置于承载面上的基板8的边角。

在上述技术方案的基础上，为了便于机械手等拾取装置对完成蒸镀后的基板8的拾取操作，优选承载面设有至少一个便于拾取基板8的沟槽72。

需要说明的是，为了保持机械手等拾取装置对基板8拾取过程的稳定性，优选沟槽72的数目为至少三个。

在上述技术方案的基础上，需要说明的是，承载平台7与蒸镀腔室6的底部之间的滑动组件存在多种结构，具体至少为以下几种结构中的一种：

结构一：承载平台7背离承载面的一侧与蒸镀腔室6的底板之间通过滑轨和滑槽73滑动配合，例如，如图4所示，选取承载平台7上设置有滑槽73。

结构二：承载平台7背离承载面的一侧与蒸镀腔室6的底板之间通过滚轮74与滚道滑动配合，例如，如图5所示，选取承载平台7上设置有滚轮74。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (16)

1.一种蒸发源，用于蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发箱、坩埚和加热单元；

所述蒸发箱包括相对设置的顶板和底板、位于所述顶板和所述底板间且相对设置的第一侧板和第二侧板以及选择性开合的第一端板和第二端板；所述顶板朝向所述底板的一侧设有用于与所述坩埚滑动配合、以使所述坩埚可自所述第一端板和/或第二端板对应端部进出的连接部，所述底板具有用于向背离所述顶板方向喷出气体的喷气孔组；

所述坩埚包括具有开口朝向所述顶板的坩埚本体和设于所述坩埚本体外侧的折边，所述折边上设有多个出气口，且所述坩埚本体通过所述折边与所述连接部滑动配合；当所述第一端板和第二端板扣合时，所述坩埚、连接部、顶板以及折边配合形成蒸发室；

所述加热单元置于所述蒸发箱内、且置于蒸发室外侧。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述连接部包括设于所述蒸发箱顶板的钩块，所述钩块包括沿所述顶板到底板方向延伸的连接区以及与所述连接区延伸方向垂直、用于与所述坩埚的折边滑动配合的承载区，所述坩埚的折边搭接于所述承载区朝向所述顶板一侧，且所述坩埚上的多个所述出气孔设于所述折边未与所述承载区搭接部分。

3.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括用于冷却所述蒸发箱的冷却单元；

所述冷却单元置于所述蒸发箱的外侧，且所述冷却单元包括用于支撑并冷却所述蒸发箱底板的底部冷却单元；所述底部冷却单元通过连接组件与所述蒸镀装置中的蒸镀腔室可拆卸连接；所述底部冷却单元具有开缝，用以使所述喷气孔组自所述开缝伸出、朝向所述蒸镀腔室底部方向。

4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却单元还包括用于冷却所述蒸发箱顶板的顶部冷却单元、用于冷却所述第一侧板的第一侧部冷却单元以及用于冷却所述第二侧板的第二侧部冷却单元。

5.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却单元为水冷板。

6.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，还包括置于所述蒸发箱外侧的保温单元。

7.根据权利要求6所述的蒸发源，其特征在于，所述保温单元包括置于所述第一侧板与所述第一侧部冷却单元之间的第一侧部保温板、置于所述第二侧板与所述第二侧部冷却单元之间的第二侧部保温板、置于所述蒸发箱顶板与所述顶板冷却单元之间的顶部保温板以及置于所述蒸发箱底板与所述底部冷却单元之间的底部保温板。

8.根据权利要求7所述的蒸发源，其特征在于，所述底部冷却单元朝向所述蒸发箱的一侧设有固定块，所述底部保温板设有与所述固定块形状对应的长槽，以使所述固定块自所述长槽伸出支撑并固定所述蒸发箱。

9.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述加热单元包括置于所述第一侧边板朝向所述坩埚一侧的第一侧部加热板、置于所述第二侧边板朝向所述坩埚一侧的第二侧部加热板以及置于所述底板朝向所述坩埚一侧的底部加热板。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸镀腔室、置于所述蒸镀腔室内的承载平台以及置于所述蒸镀腔室内的如权利要求1-9任一项所述的蒸发源；

所述承载平台朝向所述蒸发源的一侧具有用于承载基板的承载面，所述承载平台背离所述承载面的一侧设有用于与所述蒸镀腔室的底部滑动配合以使所述承载平台可相对所述蒸镀腔室的底部滑动的滑动组件。

11.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔室还包括设于所述蒸镀腔室顶部的连接组件，所述蒸发源通过底部冷却单元与所述连接组件可拆卸连接。

12.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载平台的承载面设有用于固定所述基板的固定装置。

13.根据权利要求12所述的蒸镀装置，其特征在于，所述固定装置包括一对位于对角线上的直角型定位块，每个所述直角型定位块的内侧面用于卡合置于所述承载面上的基板的边角。

14.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载面设有至少一个便于拾取所述基板的沟槽。

15.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载平台背离所述承载面的一侧与所述蒸镀腔室的底板之间通过滑轨和滑槽滑动配合。

16.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，所述承载平台背离所述承载面的一侧与所述蒸镀腔室的底板之间通过滚轮与滚道滑动配合。