CN207746897U - 一种硅片研磨固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片研磨固定装置，包括固定座，所述固定座上端中部均匀设有移动槽，移动槽内部安装有导向块，同一条直线上的所述导向块内部连接有第一螺杆，第一螺杆末端安装有第一旋转板，所述导向块上端连接有移动柱，移动柱顶端安装有移动板，移动板中部安装有第二螺杆，第二螺杆底端安装有压板，所述第二螺杆上端安装有第二旋转板。本实用新型，通过设有的第二螺杆和移动板之间的相互配合，实现着对硅片研磨时的固定，避免人工手持进行研磨，既降低着工人的劳动轻度，同时也增加着研磨质量，同时通过设有的导向块与第一螺杆之间的相互配合，实现着不同直径的硅片的夹持，适用性强，可靠性高，且操作简单。

Description

一种硅片研磨固定装置

技术领域

本实用新型涉及硅片研磨技术领域，具体是一种硅片研磨固定装置。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。

在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去，因此就需要人工手持的方式在砂轮的来回校正，但是由于采用手持的方式，因此该操作就会带来以下缺点：1，浪费专门研磨的1个劳动力；2，由于手持过程中可能会出现轻微晃动，导致研磨的平整度人为很难把握，报废率相对较大；人工操作，效率相对不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片研磨固定装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片研磨固定装置，包括固定座，所述固定座上端中部均匀设有移动槽，移动槽内部安装有导向块，同一条直线上的所述导向块内部连接有第一螺杆，第一螺杆末端安装有第一旋转板，所述导向块上端连接有移动柱，移动柱顶端安装有移动板，移动板中部安装有第二螺杆，第二螺杆底端安装有压板，所述第二螺杆上端安装有第二旋转板。

作为本实用新型进一步的方案：所述压板外侧套有保护套，所述保护套为硅胶材料制成。

作为本实用新型进一步的方案：所述导向块中部设有与第一螺杆相互配合的螺纹孔。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一旋转板中部安装有第一手柄。

作为本实用新型进一步的方案：所述第二旋转板中部安装有第二手柄。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一螺杆一端外侧设有左旋向螺纹，另一端外侧设有右旋向螺纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

所述一种硅片研磨固定装置，结构合理，设计新颖，通过设有的第二螺杆和移动板之间的相互配合，实现着对硅片研磨时的固定，避免人工手持进行研磨，既降低着工人的劳动轻度，同时也增加着研磨质量，同时通过设有的导向块与第一螺杆之间的相互配合，实现着不同直径的硅片的夹持，适用性强，可靠性高，且操作简单。

附图说明

图1为一种硅片研磨固定装置的结构示意图。

图2为一种硅片研磨固定装置中固定座的俯视结构示意图。

图3为一种硅片研磨固定装置中压板的结构示意图。

图4为一种硅片研磨固定装置中第一螺杆的结构示意图。

图5为图1中A-A的剖视结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

参阅图1～5，本实用新型实施例中，一种硅片研磨固定装置，包括固定座1，所述固定座1上端中部均匀设有移动槽2，所述移动槽2为燕尾槽，移动槽2内部安装有导向块4，所述导向块4可以沿着移动槽2内部进行移动，所述导向块4中部设有与第一螺杆5相互配合的螺纹孔14，进而将第一螺杆5的旋转运动转化为导向块4的直线运动，同一条直线上的所述导向块4内部连接有第一螺杆5，所述第一螺杆5一端外侧设有左旋向螺纹15，另一端外侧设有右旋向螺纹16，进而使得第一螺杆5在转动的时候，第一螺杆5两端中部的两个导向块4可以沿着相反方向进行转动，从而实现着同一直线上的两个移动板9沿着相对方向进行移动，第一螺杆5末端安装有第一旋转板11，所述第一旋转板11中部安装有第一手柄12，用于带动着移动板6进行转动，所述导向块4上端连接有移动柱3，移动柱3顶端安装有移动板6，移动板6中部安装有第二螺杆7，第二螺杆7底端安装有压板8，所述压板8外侧套有保护套13，避免着压板8一所需要研磨硅片的直接接触，所述保护套13为硅胶材料制成，所述第二螺杆7上端安装有第二旋转板9，所述第二旋转板9中部安装有第二手柄10，用于带动着第二旋转板9进行转动。

所述一种硅片研磨固定装置，使用时，将需要研磨的硅片放置在固定座1上，然后通过转动第一手柄12，使得第一旋转板11带动第一螺杆5转动，从而使得同一直线上的两个导向块4沿着相对方向进行移动，进而使得移动板6位于研磨的硅片的外侧边缘，之后转动第二手柄10，第二手柄10带动着第二螺杆7转动，进而使得压板8同步往下移动，从而使得保护套13下端压紧着硅片，进而实现着对硅片的固定，调节方便，实现着对不同厚度和不同宽度的硅片的固定。本实用新型，结构合理，设计新颖，通过设有的第二螺杆7和移动板9之间的相互配合，实现着对硅片研磨时的固定，避免人工手持进行研磨，既降低着工人的劳动轻度，同时也增加着研磨质量，同时通过设有的导向块4与第一螺杆2之间的相互配合，实现着不同直径的硅片的夹持，适用性强，可靠性高，且操作简单。

需要特别说明的是，本申请中导向块4在移动槽2内的移动为现有技术中燕尾槽和梯形块的应用，利用第一螺杆2和导向块4、第二螺杆7和移动板6分别实现着对不同宽度和厚度的硅片的固定为本申请的创新点，其有效解决了现有技术中人工手持硅片进行研磨的技术问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片研磨固定装置，包括固定座（1），其特征在于，所述固定座（1）上端中部均匀设有移动槽（2），移动槽（2）内部安装有导向块（4），同一条直线上的所述导向块（4）内部连接有第一螺杆（5），第一螺杆（5）末端安装有第一旋转板（11），所述导向块（4）上端连接有移动柱3（），移动柱（3）顶端安装有移动板（6），移动板（6）中部安装有第二螺杆（7），第二螺杆（7）底端安装有压板（8），所述第二螺杆（7）上端安装有第二旋转板（9）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨固定装置，其特征在于，所述压板（8）外侧套有保护套（13），所述保护套（13）为硅胶材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种硅片研磨固定装置，其特征在于，所述导向块（4）中部设有与第一螺杆（5）相互配合的螺纹孔（14）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片研磨固定装置，其特征在于，所述第一旋转板（11）中部安装有第一手柄（12）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片研磨固定装置，其特征在于，所述第二旋转板（9）中部安装有第二手柄（10）。

6.根据权利要求1所述的一种硅片研磨固定装置，其特征在于，所述第一螺杆（5）一端外侧设有左旋向螺纹（15），另一端外侧设有右旋向螺纹（16）。