CN207719229U - 一种实现perc电池热氧钝化的管式镀膜装置 - Google Patents
一种实现perc电池热氧钝化的管式镀膜装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站，所述装料站的正面设置有操作板，所述装料站的侧面设置有抽排系统，所述抽排系统的侧面设置有水平式炉体，所述水平式炉体的顶部设置有气柜，所述水平式炉体的内部设置有气体系统，所述气体系统包括第一进气管，所述第一进气管的侧面设置有截止阀，所述截止阀的侧面设置有单向阀，所述第一进气管的一端设有分支。该实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，通过设置了完善的气体管道利用热氧氢作为钝化的材料，具有退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散的作用。可有效降低Si表面的界面态密度,降低结区复合,提高开路电压,有利于电流的收集,提升转换效率并能减少能源消耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体为一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置。
背景技术
目前，晶硅PERC太阳电池的生产工艺包括：制绒，扩散，去背结和PSG，背面钝化，正面制作减反射膜，丝印烧结。其中，钝化是太阳电池发电的关键步骤，因此钝化的特性好坏直接影响着电池的光电转换效率。普通PERC电池仅在背面制作钝化层，其转换效率受到一定限制。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，具备退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散等优点，解决了目前PERC电池钝化不完全的问题。
(二)技术方案
为实现上述一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置退火、吸杂及阻挡杂质向硅片的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站，所述装料站的正面设置有操作板，所述装料站的侧面设置有抽排系统，所述抽排系统的侧面设置有水平式炉体，所述水平式炉体的顶部设置有气柜，所述水平式炉体的内部设置有气体系统，所述气体系统包括第一进气管，所述第一进气管的侧面设置有截止阀，所述截止阀的侧面设置有单向阀，所述第一进气管的一端设有分支，所述分支的数量为两个，两个所述分支上设置有质量流量计和配量阀，所述第一进气管远离单向阀的一端安装有气动双阀组箱，所述第一进气管与第二进气管连通，所述第二进气管与上安装有质量流量计，所述质量流量计的两侧分别安装有气动双阀组箱，所述第二进气管远离第一进气管的一端连通有第三进气管，所述第三进气管上安装有气动阀，所述气动阀的侧面安装有质量流量计。
优选的，所述第一进气管、第二进气管与第三进气管入口一端均安装有截止阀和单向阀。
优选的，所述第二进气管与第一进气管连通处安装有从第一进气管流向第二进气管的单向阀。
优选的，所述第二进气管与第三进气管在远离入口处的一端连通，所述第三进气管与第一进气管连通，所述第一进气管出气的一端安装有过滤器。
优选的，所述第二进气管的出口连通有真空泵。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，具备以下有益效果：
1、该实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，通过设置了完善的气体管道利用热氧氢作为钝化的材料，具有退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散的作用。可有效降低Si表面的界面态密度,降低结区复合,提高开路电压, 有利于电流的收集,提升转换效率并能减少能源消耗。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型气体系统结构示意图。
图中：1装料站、2操作板、3抽排系统、4水平式炉体、5气柜、6气体系统、7第一进气管、8截止阀、9单向阀、10分支、11质量流量计、12配量阀、13气动双阀组箱、14第二进气管、15第三进气管、16气动阀、17过滤器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站1，装料站1的正面设置有操作板2，装料站1的侧面设置有抽排系统3，抽排系统3的侧面设置有水平式炉体4，水平式炉体4的顶部设置有气柜5，水平式炉体4的内部设置有气体系统6，气体系统6包括第一进气管7，第一进气管7的侧面设置有截止阀8，截止阀8 的侧面设置有单向阀9，第一进气管7的一端设有分支10，分支10的数量为两个，两个分支10上设置有质量流量计11和配量阀12，第一进气管7远离单向阀9的一端安装有气动双阀组箱13，第一进气管7与第二进气管14连通，第二进气管14与上安装有质量流量计11，质量流量计11的两侧分别安装有气动双阀组箱13，第二进气管14远离第一进气管7的一端连通有第三进气管 15，第三进气管15上安装有气动阀16，气动阀16的侧面安装有质量流量计11。
第一进气管7、第二进气管14与第三进气管15入口一端均安装有截止阀 8和单向阀9。
优第二进气管14与第一进气管7连通处安装有从第一进气管7流向第二进气管14的单向阀9。
第二进气管14与第三进气管15在远离入口处的一端连通，第三进气管 15与第一进气管7连通，第一进气管7出气的一端安装有过滤器17。
第二进气管14的出口连通有真空泵。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
实施例一，首先在装料站1内装上硅片，然后将硅片1移动到水平式炉体4内，同时水平式炉体4内利用氮气进行清洁，此时水平式炉体4的内部温度为740摄氏度，并且使得炉内气压在1060帕，微大于一个大气压，然后水平式炉体4进行密封，内部气压升高到995帕，并且整个内部持续通氮气，整个持续时间为420秒，下一步将温度调节至700摄氏度，并且将硅片在995 帕压力下氧化600秒，硅片表面生产二氧化硅，在氧化结束以后内部温度降至650摄氏度，并且炉内压力提升到1060帕，并且将水平式炉体4出口处氮气流速调至2000毫升每秒，保护内部环境，在加工完成以后进行冷却。
实施例二，在进行热氧钝化加工时，内部温度与压力保持与实施例一一致，在加工之前利用真空泵抽空水平式炉体4内部空气达到真空状态，主要是利用第一管道7将氮气输送到炉体内部进行清洁，第三管道15输入小氮，大氮是纯氮气，量大一般为2000，小氮携带磷源，量小一般为1000-2000左右，第一管道7输入的氮气为大氮，其中第二管道14与第一管道7内部的气体进行混合进入到水平式炉体4内部，进行热氧钝化。
综上所述，该实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，通过设置了完善的气体管道利用热氧氢作为钝化的材料，具有退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散的作用。可有效降低Si表面的界面态密度,降低结区复合,提高开路电压,有利于电流的收集,提升转换效率并能减少能源消耗。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站(1)，所述装料站(1)的正面设置有操作板(2)，所述装料站(1)的侧面设置有抽排系统(3)，所述抽排系统(3)的侧面设置有水平式炉体(4)，所述水平式炉体(4)的顶部设置有气柜(5)，其特征在于：所述水平式炉体(4)的内部设置有气体系统(6)，所述气体系统(6)包括第一进气管(7)，所述第一进气管(7)的侧面设置有截止阀(8)，所述截止阀(8)的侧面设置有单向阀(9)，所述第一进气管(7)的一端设有分支(10)，所述分支(10)的数量为两个，两个所述分支(10)上设置有质量流量计(11)和配量阀(12)，所述第一进气管(7)远离单向阀(9)的一端安装有气动双阀组箱(13)，所述第一进气管(7)与第二进气管(14)连通，所述第二进气管(14)与上安装有质量流量计(11)，所述质量流量计(11)的两侧分别安装有气动双阀组箱(13)，所述第二进气管(14)远离第一进气管(7)的一端连通有第三进气管(15)，所述第三进气管(15)上安装有气动阀(16)，所述气动阀(16)的侧面安装有质量流量计(11)。
2.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第一进气管(7)、第二进气管(14)与第三进气管(15)入口一端均安装有截止阀(8)和单向阀(9)。
3.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第二进气管(14)与第一进气管(7)连通处安装有从第一进气管(7)流向第二进气管(14)的单向阀(9)。
4.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第二进气管(14)与第三进气管(15)在远离入口处的一端连通，所述第三进气管(15)与第一进气管(7)连通，所述第一进气管(7)出气的一端安装有过滤器(17)。
5.根据权利要求1所述的一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，其特征在于：所述第二进气管(14)的出口连通有真空泵。
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