CN207701756U - 一种嵌入块 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种嵌入块，该嵌入块包括沿轴向依次设置的防腐蚀部、O型圈安装部以及基部，并且其中部包括贯穿防腐蚀部、O型圈安装部以及基部的开口，并且防腐蚀部、O型圈安装部以及基部沿轴向以台阶状形式逐渐增大。由于本实用新型的嵌入块包括从嵌入块主体向反应腔内凸出的防腐蚀部，防腐蚀部形成阻挡O2等离子接触O型圈的暗区，有效降低了到达O型圈处的O2等离子的量，进而显著延长了O型圈的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及高密度电浆(High Density Plasma,HDP)机台，更具体地涉及HDP机台使用的嵌入块。
背景技术
HDP机台的反应腔壳体与嵌入块的对接处通常采用O型圈进行密封。但由于反应腔内长期存在O2等离子或是卤素等反应性气体离子，O型圈暴露在这样的环境下易被腐蚀，缩短寿命。目前改善O型圈抗腐蚀性的方法主要是针对材料进行改进，采用全氟化O型圈，但其抗腐蚀能力仍有待提高。
实用新型内容
本实用新型提供了一种具有防腐蚀结构的嵌入块。使用该嵌入块能够有效延长O型圈的使用寿命。
根据本实用新型的一方面，提供一种嵌入块，该嵌入块包括沿轴向依次设置的防腐蚀部、O型圈安装部以及基部，嵌入块的中部包括贯穿防腐蚀部、O型圈安装部以及基部的开口，并且防腐蚀部、O型圈安装部以及基部沿轴向以台阶状形式逐渐增大。
根据本实用新型的一个实施例，防腐蚀部沿轴向的尺寸在20mm以上。
根据本实用新型的一个实施例，防腐蚀部沿轴向的尺寸是20mm。
根据本实用新型的一个实施例，防腐蚀部的壁厚介于1.8～2mm之间。
根据本实用新型的一个实施例，防腐蚀部为长方体状的筒形。
根据本实用新型的一个实施例，长方体状筒形的四个角包括圆角，每个角对应的内侧壁圆角与外侧壁圆角的弧度半径不同。
根据本实用新型的一个实施例，O型圈安装部包括用于安装O型圈的槽。
根据本实用新型的一个实施例，基部呈板状并且纵长的两端包括安装孔。
由于本实用新型的嵌入块包括从嵌入块主体向反应腔内凸出的防腐蚀部，防腐蚀部形成阻挡O2等离子接触O型圈的暗区，有效降低了到达O型圈处的O2等离子的量，进而显著延长了O型圈的使用寿命。
附图说明
图1是机台以及现有技术的嵌入块的结构示意图；
图2是根据本实用新型的一个实施例的嵌入块的使用状态的剖视图；
图3是根据本实用新型的一个实施例的嵌入块的局部剖视图；
图4是根据本实用新型的一个实施例的嵌入块的另一示意图；
图5是根据本实用新型的一个实施例的嵌入块的立体图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合具体实施例及附图，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
图1示意性地示出了嵌入块100’在HDP机台上的使用位置。如本领域技术人员所知道的，嵌入块100’通常定位在反应腔(CH)与传输模块(TM)之间。为了形成密封结构以避免加工期间发生泄漏，需要在嵌入块100’与反应腔和传输模块之间设置O型圈。如图1所示，嵌入块100’与反应腔之间设有外密封圈O1，嵌入块100’与传输模块之间设有内密封圈O2。由于反应腔中长期存在O2等离子，O型圈容易被腐蚀。尤其地，如图1所示，反应腔与嵌入块100’对接的位置存在间隙，外密封圈O1的一部分暴露在该位置，O2等离子在该位置与外密封圈O1直接接触，对其造成严重腐蚀，严重缩短了O型圈的使用寿命。现有的延长O型圈使用寿命的方式主要是针对其材料作出改进，使用全氟化的材料制造O型圈。经测试表明，全氟化的O型圈其使用寿命大概为2～3个月。在浅沟渠隔离(Shallow Trench Isolation,STI)工艺条件下使用的全氟化O型圈可以实现生产约4000片的产品。仍存在进一步延长O型圈使用寿命，提升机台效率的需求。
本实用新型对嵌入块的结构作出改进，增加了防止O2等离子与O型圈接触的防腐蚀部，有效抑制了O2等离子对O型圈的腐蚀。
参考图2，本实用新型的嵌入块100总体包括沿轴向依次设置的防腐蚀部110、O型圈安装部120以及基部130。嵌入块100的中部包括贯穿防腐蚀部110、O型圈安装部120以及基部130的开口。其中，防腐蚀部110、O型圈安装部120以及基部130沿轴向以台阶状形式逐渐增大，其轮廓与安装嵌入块100的反应腔和传输模块相适应。
嵌入块100的防腐蚀部110沿轴向延伸一定长度以形成有效阻挡O2等离子进入反应腔与嵌入块100对接位置的结构。经研究得出，该长度L(图3)至少为20mm，防腐蚀部110在该尺寸以上可形成暗区，显著降低到达对接位置的O2等离子的量。
参考图3-5，在该实施例中，防腐蚀部110为长方体状的筒形，其具有沿周向设置的壁，壁厚T介于1.8～2mm之间。壁太厚会造成开口空间太小，壁太薄难以承受使用过程中的应力作用。如图所示，防腐蚀部110与O型圈安装部120相连，O型圈安装部120中设有安装O型圈的槽121，槽121围绕防腐蚀部110的外周。O型圈安装部120还与基部130相连，在该实施例中，基部130呈板状，在其纵长的两端分别设有多个安装孔131。
在本实用新型的一个实施例中，如图4所示，长方体状的防腐蚀部110具有四个圆角111。如图中放大部分A示出的，每个角对应的内侧壁圆角R1的弧度半径与外侧壁圆角R2的弧度半径不同，即该角的内侧壁和外侧壁为不等角设计。采用不等角设计可以进一步减小防腐蚀部110与反应腔壳体之间的间隙，降低与O型圈接触的O2等离子的量。
经测试表明，本实用新型的等角结构的嵌入块在STI工艺条件下密封圈可实现生产约8000片产品，采用不等角结构的嵌入块可实现生产约12000片产品，与常规结构的嵌入块相比，采用本实用新型的嵌入块可以有效降低O2等离子对O型圈的腐蚀作用，显著延长O型圈的使用寿命。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种嵌入块，其特征在于，所述嵌入块包括沿轴向依次设置的防腐蚀部、O型圈安装部以及基部，并且所述嵌入块中部包括贯穿所述防腐蚀部、所述O型圈安装部以及所述基部的开口，并且所述防腐蚀部、所述O型圈安装部以及所述基部沿轴向以台阶状形式逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的嵌入块，其特征在于，所述防腐蚀部沿轴向的尺寸在20mm以上。
3.根据权利要求2所述的嵌入块，其特征在于，所述防腐蚀部沿轴向的尺寸是20mm。
4.根据权利要求1所述的嵌入块，其特征在于，所述防腐蚀部的壁厚介于1.8～2mm之间。
5.根据权利要求1所述的嵌入块，其特征在于，所述防腐蚀部为长方体状的筒形。
6.根据权利要求5所述的嵌入块，其特征在于，所述长方体状筒形的四个角包括圆角，每个角对应的内侧壁圆角与外侧壁圆角的弧度半径不同。
7.根据权利要求1所述的嵌入块，其特征在于，所述O型圈安装部包括用于安装O型圈的槽。
8.根据权利要求1所述的嵌入块，其特征在于，所述基部呈板状并且纵长的两端包括安装孔。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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2017
- 2017-11-13 CN CN201721505992.9U patent/CN207701756U/zh active Active
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