CN207699656U - 一种三t型oled蒸镀线源 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种三T型OLED蒸镀线源，其包括：三个坩埚，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；三个气流平衡管，每个气流平衡管分别与一个坩埚相连；每个气流平衡管的顶部分别设有多个喷嘴，所有的所述喷嘴排列为一排。本实用新型的三T型OLED蒸镀线源设计了3只坩埚，它们分别装填料，密封面积小，装、填方便。它们分别对应线源喷嘴的左、中、右部分，并各自控制左中右的速率，易于控制。

Description

一种三T型OLED蒸镀线源

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种三T型OLED蒸镀线源。

背景技术

现有的量产蒸镀设备的线源多为“一字型”，顾名思义，一字型线源即一种外形近似汉字“一”的线性蒸发源。如图1所示，传统一字型线源的有机材是通过线源主体2顶端的一排水平间隔排布的喷嘴1喷出。一字型线源也可以近似理解为一个长方体，长方体内部添加有机材料，顶端有一排水平间隔排布的喷嘴，当长方体侧壁被加热时，内部有机材料即气化而从顶端喷嘴处喷出，并最终在基板上沉积成膜。

虽然一字型线源目前应用很广泛，但是一字型线源由于自身结构限制，存在一些缺点。其中，装、退材料困难及系统惯性大速率难于控制两个缺点尤为致命。前者因为一字型线源内部都有一支长条形内坩埚，向内坩埚装填材料时，很难做到水平方向的均匀。加入材料后需要做端面密封将内坩埚封闭在线源内，这一过程非常繁琐，且有一定难度。而“系统惯性大速率难于控制”是由于一字型线源全部材料都是平铺在一字长条形内坩埚中，而内坩埚的侧面几乎都在加热丝的辐射范围内。所以升温降温都很难控制，因此说其系统惯性大，速率控制困难。

日本ULVAC和韩国SFA公司都申请了一字线源的专利，但是他们提供的线源在实际使用中均存在上述问题。

实用新型内容

本实用新型要解决现有技术中的技术问题，提供一种三T型OLED蒸镀线源。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案具体如下：

一种三T型OLED蒸镀线源，包括：

三个坩埚，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；

三个气流平衡管，每个气流平衡管分别与一个坩埚相连；每个气流平衡管的顶部分别设有多个喷嘴，所有的所述喷嘴排列为一排。

在上述技术方案中，中间的气流平衡管上的多个喷嘴的间距大于两侧的气流平衡管上的多个喷嘴的间距。

在上述技术方案中，每个所述气流平衡管的外围设有平衡管加热丝。

在上述技术方案中，每个所述喷嘴的外围设有喷嘴加热丝。

在上述技术方案中，每个所述坩埚的外围设有坩埚加热丝。

在上述技术方案中，每个所述气流平衡管的中部设有与所述坩埚的顶端相连的竖直管状结构。

在上述技术方案中，所述竖直管状结构的直径大于所述坩埚的直径。

本实用新型具有以下的有益效果：

本实用新型的三T型OLED蒸镀线源设计了3只坩埚，它们分别装填料，密封面积小，装、填方便。它们分别对应线源喷嘴的左、中、右部分，并各自控制左中右的速率，易于控制。

本实用新型的三T型OLED蒸镀线源，有机材料装填方便；避免有机材料漏料，方便维护；易于控制，膜厚均匀性好、重复性高。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术中的“一字型”线源的结构示意图。

图2为本实用新型的三T型OLED蒸镀线源的主视结构示意图。

图3为本实用新型的三T型OLED蒸镀线源的侧视结构示意图。

图中的附图标记表示为：

1-喷嘴；2-线源主体；3-坩埚；4-气流平衡管；5-坩埚加热丝；6-平衡管加热丝；7-喷嘴加热丝。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做以详细说明。

图2展示了本实用新型的三T型OLED蒸镀线源的内部主体部分，包括：喷嘴1、气流平衡管4、坩埚3。不包括加热部分、水冷、外壳、限制板等。图2中所示的各部分表面外部均实际均有设计加热丝。如图3所示，坩埚3的外围设有坩埚加热丝5，平衡管4的外围设有平衡管加热丝6，喷嘴1的外围设有喷嘴加热丝7。这些加热丝保证了有机材料在坩埚3内被加热气化，而进入气流平衡管4、并最终从喷嘴1喷出的过程中不会发生固化。

每个气流平衡管4包括一个水平管状结构和一个竖直管状结构，竖直管状结构的上端与水平管状结构的中部下端相连，竖直管状结构的下端与坩埚3的顶端相连，喷嘴1设置在水平管状结构的顶端。该竖直管状结构的直径大于坩埚3的直径。由一个坩埚3和一个气流平衡管4组成一个T型单元。本实用新型中通过左中右3个T型单元水平拼接组成一个线源整体，拼接保证3个单元的喷嘴水平排列为一线。这样设计的优势：首先3个T型单元可以分别装填材料，因为坩埚3为筒状，所以装填材料较方便。且坩埚3和气流平衡管4间的连接及密封容易实现，采用螺纹连接即可；再者左中右3个T型单元间是间隔的，所以它们的速率控制是分别控制、各自为政的，因此左中右速率控制实现了独立进行，这样使线源的整体速率控制非常灵活、稳定，可以在保证非常好的膜厚均匀性的同时保证了非常高的重复性。

另外，本实用新型中左中右3个T型单元各自都是只留一排喷嘴开孔的统一整体，即除喷嘴孔外其它面都是密闭的。并且在坩埚3、气流平衡管4、喷嘴1旁边都分别布置了加热丝，材料在坩埚中被加热气化，蒸气分子碰到被加热的平衡管壁或者喷嘴管壁时会被反射，并最终从喷嘴1喷出。这样的设计可以有效地防止有机材料在蒸镀过程中的漏料，从而达到方便维护的效果。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (7)

1.一种三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：

三个坩埚(3)，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；

三个气流平衡管(4)，每个气流平衡管(4)分别与一个坩埚(3)相连；每个气流平衡管(4)的顶部分别设有多个喷嘴(1)，所有的所述喷嘴(1)排列为一排。

2.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，中间的气流平衡管(4)上的多个喷嘴(1)的间距大于两侧的气流平衡管(4)上的多个喷嘴(1)的间距。

3.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述气流平衡管(4)的外围设有平衡管加热丝(6)。

4.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述喷嘴(1)的外围设有喷嘴加热丝(7)。

5.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述坩埚(3)的外围设有坩埚加热丝(5)。

6.根据权利要求1-5中的任意一项所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述气流平衡管(4)的中部设有与所述坩埚(3)的顶端相连的竖直管状结构。

7.根据权利要求6所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，所述竖直管状结构的直径大于所述坩埚(3)的直径。