CN207648459U - 一种全自动特殊气体四瓶供应柜 - Google Patents
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Abstract
一种全自动特殊气体四瓶供应柜，它涉及特殊气体输送技术领域。它包含柜体、控制显示单元、气瓶工作单元、吹扫单元、报警单元；柜体为密闭装置，控制显示操作单元设置在柜体表面的上部，气瓶工作单元、吹扫单元、报警单元设置在柜体的内部且气瓶工作单元、吹扫单元、报警单元为一个整体。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它利用计算机控制技术，实现按气体换瓶流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
Description
技术领域
本实用新型涉及特殊气体输送技术领域,具体涉及一种全自动特殊气体四瓶供应柜。
背景技术
在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。
特殊气体供应柜主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体。因工艺一般为钢瓶包装，在工厂运转过程中须不断更换新的气体钢瓶，拆除在线的用空的气体钢瓶，我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换过程中为保证有毒有害气体不外漏威胁到人身安全，拆除用空的钢瓶前，须用高纯氮气置换与钢瓶相连的管线内的有毒有害气体，这在钢瓶更换流程称之为换瓶前吹。为确保有毒有害气体能置换干净，须重复开关排空阀和吹扫阀60次以上。当空钢瓶拆除换装上新的钢瓶后须对新装好的钢瓶接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的钢瓶我们要做换瓶后吹扫，以清除换瓶过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种全自动特殊气体四瓶供应柜，它利用计算机控制技术，实现按气体换瓶流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：它包含柜体1、控制显示单元2、气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5；柜体1为密闭装置，控制显示操作单元2设置在柜体1表面的上部，气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5设置在柜体1的内部且气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5为一个整体。
所述的柜体1设置有左右两扇相同的门11，门11的上部设置有观察窗12，观察窗12为防爆玻璃观察窗，门11的下部设置有柜门气栅门13。观察窗12用于观察柜体1内各单元的工作情况。
所述的控制显示操作单元2包含微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22；显示屏和操作单元在柜体1的上部且同侧，操作单元连接微处理器21。微处理器21用于控制触摸屏22。
所述的气瓶工作单元3设置在柜体1的内部，它包含四个相同规格的气瓶31，且包含气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38；气瓶31出口端连接过滤器34、调压阀38、工艺气体出口阀36；压力传感器33的数量为6个，设置在气动隔离阀32出口一端和调压阀38后的工作管路35内，并连接微处理器21；气瓶秤37放置在气瓶31下，并连接微处理器21。气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38通过工作管路35连接气瓶31的出口，且均由微处理器21控制。
所述的吹扫单元4包含吹扫气体进口41、微流阀42、吹扫隔离阀43、高压气体排放阀44、低压气体排放阀45、真空发生器46、单向阀47；吹扫气体进口41设置在柜体1上；微流阀42的进口通过管路连接到吹扫气体进口41，微流阀42的出口通过管路经过单向阀47连接到吹扫隔离阀43，吹扫隔离阀43出口连通气动隔离阀32，真空发生器46的进口经过工作管路经过单向阀47连通高压气体排放阀44和低压气体排放阀45，其出口通过管路连接到柜体1外。单向阀47设置在微流阀42后端的吹扫工作管路35中。单向阀47用于限制气体的固定流向。微流阀42、吹扫隔离阀43、高压气体排放阀44、低压气体排放阀45、真空发生器46受控于微处理器21。
所述的报警单元5包含气体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压开关53、声光报警器54；气体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压开关53设置在柜体1内，连接微处理器21；声光报警器54安装在柜体1的外表面上。声光报警器54受控于微处理器21。
本实用新型的工作原理：本实用新型的全自动特殊气体四瓶供应柜，采用计算机控制和触摸屏的人机界面技术，通过气动阀控制工艺气的流，可有效的解决以前手动、半自动供应柜的各种弊端。气瓶的数量可以为1个以上(本双瓶柜为4个气瓶)，配套的管路和阀等相应的增加，以达到更好的使用效果。全自动气体双瓶供应柜利用计算机控制技术，事先按气体换瓶流程编好程式，通过计算机的程式控制气动阀自己完成换瓶前吹、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它利用计算机控制技术，实现按气体换瓶流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的外观结构示意图；
图2是本实用新型对应图1的内部结构示意图。
附图标记说明：柜体1、控制显示单元2、气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5、门11、观察窗12、柜门气栅门13、微处理器21、触摸屏22、气瓶31、气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38、吹扫气体进口41、微流阀42、吹扫隔离阀43、高压气体排放阀44、低压气体排放阀45、真空发生器46、单向阀47气体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压开关53、声光报警器54。
具体实施方式
参看图1-图2所示，本具体实施方式采用的技术方案是：它包含柜体1、控制显示单元2、气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5；柜体1为密闭装置，控制显示操作单元2设置在柜体1表面的上部，气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5设置在柜体1的内部且气瓶工作单元3、吹扫单元4、报警单元5为一个整体。
所述的柜体1设置有左右两扇相同的门11，门11的上部设置有观察窗12，观察窗12为防爆玻璃观察窗，门11的下部设置有柜门气栅门13。观察窗12用于观察柜体1内各单元的工作情况。
所述的控制显示操作单元2包含微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22；显示屏和操作单元在柜体1的上部且同侧，操作单元连接微处理器21。微处理器21用于控制触摸屏22。
所述的气瓶工作单元3设置在柜体1的内部，它包含四个相同规格的气瓶31，且包含气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38；气瓶31出口端连接过滤器34、调压阀38、工艺气体出口阀36；压力传感器33的数量为6个，设置在气动隔离阀32出口一端和调压阀38后的工作管路35内，并连接微处理器21；气瓶秤37放置在气瓶31下，并连接微处理器21。气动隔离阀32、压力传感器33、过滤器34、工作管路35、工艺气体出口阀36、气瓶秤37、调压阀38通过工作管路35连接气瓶31的出口，且均由微处理器21控制。
所述的吹扫单元4包含吹扫气体进口41、微流阀42、吹扫隔离阀43、高压气体排放阀44、低压气体排放阀45、真空发生器46、单向阀47；吹扫气体进口41设置在柜体1上；微流阀42的进口通过管路连接到吹扫气体进口41，微流阀42的出口通过管路经过单向阀47连接到吹扫隔离阀43，吹扫隔离阀43出口连通气动隔离阀32，真空发生器46的进口经过工作管路经过单向阀47连通高压气体排放阀44和低压气体排放阀45，其出口通过管路连接到柜体1外。单向阀47设置在微流阀42后端的吹扫工作管路35中。单向阀47用于限制气体的固定流向。微流阀42、吹扫隔离阀43、高压气体排放阀44、低压气体排放阀45、真空发生器46受控于微处理器21。
所述的报警单元5包含气体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压开关53、声光报警器54；气体泄漏传感器51、火焰探测器52、差压开关53设置在柜体1内，连接微处理器21；声光报警器54安装在柜体1的外表面上。声光报警器54受控于微处理器21。
本实用新型的工作原理：本实用新型的全自动特殊气体四瓶供应柜，采用计算机控制和触摸屏的人机界面技术，通过气动阀控制工艺气的流，可有效的解决以前手动、半自动供应柜的各种弊端。气瓶的数量可以为1个以上(本双瓶柜为4个气瓶)，配套的管路和阀等相应的增加，以达到更好的使用效果。全自动气体双瓶供应柜利用计算机控制技术，事先按气体换瓶流程编好程式，通过计算机的程式控制气动阀自己完成换瓶前吹、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它利用计算机控制技术，实现按气体换瓶流程编好程式，通过程式控制气动阀自己完成换瓶前吹扫、钢瓶接口泄漏测试、换瓶后吹扫，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
以上所述，仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (4)
1.一种全自动特殊气体四瓶供应柜，它包含柜体(1)、控制显示操作单元(2)、吹扫单元(4)、报警单元(5)，其特征在于：它还包含气瓶工作单元(3)设置在柜体(1)的内部，它包含四个相同规格的气瓶(31)，且包含气动隔离阀(32)、压力传感器(33)、过滤器(34)、工作管路(35)、工艺气体出口阀(36)、气瓶秤(37)、调压阀(38)；气瓶(31)出口端连接过滤器(34)、调压阀(38)、工艺气体出口阀(36)；压力传感器(33)的数量为六个，设置在气动隔离阀(32)出口一端和调压阀(38)后的工作管路(35)内，并连接微处理器(21)；气瓶秤(37)放置在气瓶(31)下，并连接微处理器(21)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动特殊气体四瓶供应柜，其特征在于：所述的柜体(1)设置有左右两扇门(11)，门(11)的上部设置有观察窗(12)，观察窗(12)为防爆玻璃观察窗，门(11)的下部设置有柜门气栅门(13)；控制显示操作单元(2)包含微处理器(21)、显示屏和操作单元为触摸屏(22)；显示屏和操作单元在柜体(1)的上部且同侧，操作单元连接微处理器(21)。
3.根据权利要求1所述的一种全自动特殊气体四瓶供应柜，其特征在于：吹扫单元(4)包含吹扫气体进口(41)、微流阀(42)、吹扫隔离阀(43)、高压气体排放阀(44)、低压气体排放阀(45)、真空发生器(46)、单向阀(47)；吹扫气体进口(41)设置在柜体(1)上；微流阀(42)的进口通过管路连接到吹扫气体进口(41)，微流阀(42)的出口通过管路经过单向阀(47)连接到吹扫隔离阀(43)，吹扫隔离阀(43)出口连通气动隔离阀(32)，真空发生器(46)的进口经过工作管路经过单向阀(47)连通高压气体排放阀(44)和低压气体排放阀(45)，其出口通过管路连接到柜体(1)外；单向阀(47)设置在微流阀(42)后端的吹扫工作管路(35)中。
4.根据权利要求1所述的一种全自动特殊气体四瓶供应柜，其特征在于：报警单元(5)包含气体泄漏传感器(51)、火焰探测器(52)、差压开关(53)、声光报警器(54)；气体泄漏传感器(51)、火焰探测器(52)、差压开关(53)设置在柜体(1)内，连接微处理器(21)；声光报警器(54)安装在柜体(1)的外表面上。
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| CN201721320129.6U CN207648459U (zh) | 2017-10-13 | 2017-10-13 | 一种全自动特殊气体四瓶供应柜 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110207010A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-09-06 | 深圳融科半导体装备有限公司 | 一种移动式供气柜 |
| CN110307468A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-10-08 | 深圳融科半导体装备有限公司 | 一种易燃易爆炸气体安全输送装置 |
| CN115597001A (zh) * | 2022-09-05 | 2023-01-13 | 安徽壹月科技有限公司（Cn） | 一种具有多支路压力独立调节结构的特气分流箱 |
| CN117450423A (zh) * | 2023-09-20 | 2024-01-26 | 上海良薇机电工程有限公司 | 一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统 |
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2017
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