CN207645355U - 一种定位锁 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种定位锁，定位锁设有安装底板，气缸固定在安装底板上，气缸设有伸缩轴，固定板上设有锁定卡口；伸缩轴伸入锁定卡口，安装底板与固定板锁定；该定位锁安装在原子层沉积设备的自动化上下料机的多载位的一体舟上，实现了在桨水平运动时，桨的竖直方向的锁定；桨需要升降运动时，桨在水平方向上锁定；实现了两个轴向运动的相互独立，避免一体舟载体在运动轨迹中可能发生的碰撞和坠落风险。
Description
技术领域
本实用新型适用于通用型两轴双向运动机构的位置安全互锁的技术领域，具体涉及到原子层沉积设备的自动上下料机的一种桨的定位安全互锁装置。
背景技术
光伏行业竞争激烈，光伏厂家对于高效产能的要求，以及万级无尘车间内空间限制，工艺设备占地面积有限的考虑，通常单台ALD原子层沉积设备会在高度方向设有二个、三个或者多个工艺腔体，同时进行硅片的纳米镀层工艺。多工艺腔体的主机台结构，及每个腔体对硅片载体的装载及卸载精确的定位要求，同时也提高了配套自动化上下料机动作和节拍的复杂程度。机构和动作的复杂程度越高，造成机构意外失效及失控的概率即会增大。因此，如何保证自动化设备上下料的动作无故障高效率的执行，以及对于不可控风险的安全防护措施，就显得尤为重要。
ALD原子层沉积设备的自动化上下料机中，最终进入主机台腔体进行工艺作业的硅片载体，通常为多载位的一体舟。桨竖直升降及水平推送的龙门架集成组件，是实现一体舟搬运及装载入腔体的主要机构。桨集成组件需要实现竖直升降及水平搬运两个轴向的运动，由于满载的硅片价值和精密制造一体舟的价值，需要避免一体舟载体在运动轨迹中可能发生的碰撞和坠落风险，两个轴向的运动需要相互独立，而且不能同时进行。因此，引入桨机构的定位安全互锁装置，就变得极为必要。
发明内容
为了解决原子层沉积设备中的自动上下料机中现实存在的问题，避免桨竖直升降及水平推送的龙门架集成组件在水平和竖直两个运动方向的相互干扰，本实用新型提供了一种定位锁的技术方案。
定位锁设有安装底板，气缸固定在安装底板上，气缸设有伸缩轴，固定板上设有锁定卡口；伸缩轴伸入锁定卡口，安装底板与固定板锁定。
气缸通过气缸安装座固定在安装底板上；所述伸缩轴在轴座内孔内伸缩；需要进行位置锁定时，气缸的伸缩轴伸出，伸入锁定卡口，固定板与安装底板不能发生相对移动。
锁定卡口的内侧设有缓冲套，缓冲套可以减少伸缩轴对锁定卡口的冲击力，缓冲套方便更换，对锁定卡口具有保护作用。
伺服电机滚珠丝杠组件带动桨及一体舟，实现竖直升降运动；伺服电机齿轮齿条组件带动桨及一体舟，实现水平推送运动。
水平方向的定位锁的安装底板为原子层沉积设备的自动上下料机的桨的安装板，气缸安装座固定在安装地板上；锁定卡口设在桨上；气缸伸缩轴伸入桨上的锁定卡口，桨的水平方向锁定。水平位置的定位锁布置于桨加持一体舟的另外一端。
竖直方向的定位锁的安装底板为原子层沉积设备的自动上下料机的桨的安装板，气缸安装板通过支撑轴与安装底板连接；所述锁定卡口设有多个，分别设置在原子层沉积设备的自动上下料机的龙门架上的不同高度上；桨升降到龙门架的锁定卡口的位置，伸缩轴伸入锁定卡口内，桨的竖直方向锁定。
优选的竖直位置的定位锁具体设有三处锁定卡口，布置在龙门架的竖直方向，分别对应主机台三个竖直布置的工艺腔体。
竖直升降运动和水平推送运动相互独立不同时进行。当整个机构做竖直方向升降运动的时候，水平位置定位锁执行机械锁定动作，使得桨和一体舟在水平方向定位在一个固定位置，升降动作完成，水平位置的定位锁解除锁定；当桨升降到与工艺腔体对接位置，桨推送一体舟进行水平运动时，触发竖直位置安定位锁，将桨和一体舟竖直方向上固定在龙门架三处卡口中的一处。
另外，定位锁可以采用电缸代替气缸，电缸的固定方式与气缸的固定方式相同，电缸轴伸入锁定卡口，安装底板与固定板位置锁死。
本实用新型的有益效果：
采用定位锁，桨竖直升降及水平推送的龙门架集成组件在水平和竖直两个运动方向均为机械方式的锁定机构，在电气位置互锁的基础上多增加了一道保障，避免了锁定机构因为电气故障而失效的可能。
水平和竖直位置定位锁的结构简单易于实现，可有效的避免各种意外失控造成的硅片和一体舟载体的损伤。在机器做维护或者检修的时候，水平和竖直位置锁定装置同时执行锁定，保证了检修维护人员一直处于可控的安全空间之内，避免意外触碰或者其余不可控失效造成的人员伤害。
附图说明
图1桨竖直升降及水平推送的龙门架集成组件及其定位锁位置的示意图。
图2为水平位置定位锁的剖面示意图。
图3为竖直位置定位锁的剖面示意图。
具体实施方式
下面结合附图1-3和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明。
实施例一
本实施例所述的定位锁用于ALD原子层沉积设备的桨位置定位互锁，由图1所示,伺服电机滚珠丝杠组件带动桨及一体舟，实现竖直升降运动；伺服电机齿轮齿条组件带动桨及一体舟，实现水平推送运动。
如图1所示，水平位置定位锁10布置于桨加持一体舟的另外一端。竖直位置定位锁20的三处卡口部分201，布置在龙门架的竖直方向，分别对应主机台三个竖直布置的工艺腔体。竖直升降运动和水平推送运动相互独立不同时进行。
当整个机构做竖直方向升降运动的时候，水平位置定位锁10执行机械锁定动作，使得桨和一体舟在水平方向定位在一个固定位置，升降动作完成，水平位置定位锁10，解除锁定；当桨升降到与工艺腔体对接位置，桨推送一体舟进行水平运动时，触发竖直位置定位锁20，将桨和一体舟竖直方向上固定在龙门架三处卡口201中的一处。
以下附图详细说明水平位置安全锁定装置(10)和竖直位置安全锁定装置(20)的具体结构和机构执行原理。
如图2所示，为水平位置定位锁10，由以下部件构成：安装底板11，气缸安装座12，伸缩轴13，气缸14，轴座15，缓冲套16，锁定卡口17。
其中安装底板11为整个桨机构的安装基板，整个运动的主体部件，均安装在这个安装底板11上，气缸14通过气缸安装座安装在安装底板11上，伸缩轴13与气缸头部连接，直接受气缸作用，在轴座15内孔内做伸缩运动，当水平位置定位锁10接收到执行信号时，此时恰好锁定卡口17和轴座15在同一轴线上，伸缩轴伸出，卡在锁定卡口17中，锁定卡口17内设有缓冲套16，因为锁定卡口17直接为桨板上的孔位，故整个桨板水平方向受限锁定。
如图3所示，为竖直位置定位锁20的剖面示意图。
竖直定位锁包括支撑轴(21)，气缸安装板(22)，轴座(23)，无油轴承(24)，伸缩轴(25)，缓冲套(26)，气缸(27)，安装底板(28)、锁定卡口201。
竖直方向的定位锁的气缸安装板22通过支撑轴21与安装底板28连接，安装底板28为原子层沉积设备的自动上下料机的桨的安装板连接；所述锁定卡口201设有三个，分别设置在原子层沉积设备的自动上下料机的龙门架上的不同高度上，对应各自腔体位置；所述气缸27的伸缩轴25在轴座23内伸缩，轴座23的端部设有无油轴承24。桨升降到龙门架的任一锁定卡口201的位置，伸缩轴伸入锁定卡口201内，锁定卡口201内设有缓冲套26，桨的竖直方向锁定。
实施例二
本实施例与实施例一基本相同，区别点在于，采用电缸代替气缸，定位锁设有安装底板，电缸固定在安装底板上，电缸设有伸缩轴，固定板上设有锁定卡口；伸缩轴伸入锁定卡口，安装底板与固定板锁定。
Claims (9)
1.一种定位锁，其特征在于：定位锁设有安装底板，气缸固定在安装底板上，气缸设有伸缩轴，固定板上设有锁定卡口；伸缩轴伸入锁定卡口，安装底板与固定板锁定。
2.根据权利要求1所述的一种定位锁，其特征在于：所述气缸通过气缸安装座固定在安装底板上；所述伸缩轴在轴座内孔内伸缩。
3.根据权利要求1所述的一种定位锁，其特征在于：所述锁定卡口的内侧设有缓冲套。
4.根据权利要求1至3任一项所述的一种定位锁，其特征在于：所述安装底板为原子层沉积设备的自动上下料机的桨的安装板，气缸安装座固定在安装地板上；所述锁定卡口设在桨上；气缸伸缩轴伸入桨上的锁定卡口，桨的水平方向锁定。
5.根据权利要求1至3任一项所述的一种定位锁，其特征在于：所述安装底板为原子层沉积设备的自动上下料机的桨的安装板，气缸安装板通过支撑轴与安装底板连接；所述锁定卡口设有多个，分别设置在原子层沉积设备的自动上下料机的龙门架上的不同高度上；桨升降到龙门架的锁定卡口的位置，伸缩轴伸入锁定卡口内，桨的竖直方向锁定。
6.根据权利要求4所述的一种定位锁，其特征在于：桨沿自动上下料机的龙门架升降，桨的水平方向锁定。
7.根据权利要求5所述的一种定位锁，其特征在于：桨水平运动，桨的竖直方向锁定。
8.根据权利要求5所述的一种定位锁，其特征在于：桨的水平方向锁定和桨的竖直方向同时锁定，桨的位置锁死。
9.一种定位锁，其特征在于：定位锁设有安装底板，电缸固定在安装底板上，电缸设有伸缩轴，固定板上设有锁定卡口；伸缩轴伸入锁定卡口，安装底板与固定板锁定。
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