CN207594108U - 一种硅棒切片机的切割液冷却装置 - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 74
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 12
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体，所述箱体内设置有冷却间和设备间，所述冷却间设置于设备间顶端，所述冷却间和设备间之间设置有隔板，所述冷却间内设置有外盘冷却管，所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管，所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管，所述连接管一端延伸至外盘冷却管内，所述箱体顶部设置有顶板。本实用新型通过外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置，使冷凝器内的冷却液经过外盘冷却管和内盘冷却管时，通过热交换的原理，带走切割液中的温度，从而达到冷却的效果，并且通过杂质隔离网的设置，可以有效的去除冷却液内的颗粒状杂质，提高了冷却效果，而且结构简单，操作方便，冷却效果优良。
Description
技术领域
本实用新型涉及冷却技术领域，特别涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置。
背景技术
在如今的半导体行业，硅片切割是常见的生产环节。硅片切割过程中会用到切割液，但是在硅片切割过程中会产生大量热，导致切削后的切割液温度升高。因为硅片切割过程中对切割液的温度有严格要求，因此切割液必须进行冷却再循环利用。另外在切割过程中会有一些颗粒物等杂志进入切割液中，而现今的切割液冷却装置都是采用板式换热器，不仅冷却效果低而且不容易清理杂质，从而对产品质量造成影响。因此，发明一种硅棒切片机的切割液冷却装置来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅棒切片机的切割液冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体，所述箱体内设置有冷却间和设备间，所述冷却间设置于设备间顶端，所述冷却间和设备间之间设置有隔板，所述冷却间内设置有外盘冷却管，所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管，所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管，所述连接管一端延伸至外盘冷却管内，所述箱体顶部设置有顶板，所述顶板顶端设置有伸缩电机，所述伸缩电机输出端设置有伸缩杆，所述伸缩杆底端贯穿顶板，且延伸至冷却间内，所述伸缩杆底端设置有杂质隔离网，所述设备间内设置有冷凝器，所述冷凝器输出端设置有冷却液输出管，所述冷却液输出管输出端与外盘冷却管输入端连接，所述冷凝器输入端设置有冷却液回流管，所述冷却液回流管输入端与内盘冷却管输出端连接。
优选的，所述冷却液输出管设置有泵，所述泵设置于设备间内，所述冷却液输出管连接端设置有控温阀，所述控温阀一端贯穿设备间一侧壁，且延伸至箱体外壁一侧。
优选的，所述隔板顶部设置有凹槽，所述凹槽延伸至隔板内部，所述凹槽内设置有温度传感器，所述顶板顶部设置有智能控制器，所述智能控制器设置于伸缩电机一侧。
优选的，所述智能控制器包括单片机和液晶显示屏，所述液晶显示屏与单片机电性连接，所述温度传感器与单片机电性连接。
优选的，所述杂质隔离网设置于内盘冷却管内壁一侧。
优选的，所述外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置。
优选的，所述温度传感器型号设置为DS18B20 TO-92。
本实用新型的技术效果和优点：本实用新型通过外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置，使冷凝器内的冷却液经过外盘冷却管和内盘冷却管时，通过热交换的原理，带走切割液中的温度，从而达到冷却的效果，并且通过杂质隔离网的设置，可以有效的去除冷却液内的颗粒状杂质，提高了冷却效果，而且结构简单，操作方便，冷却效果优良。
附图说明
图1为本实用新型整体侧视剖面结构示意图。
图2为本实用新型俯视剖视结构示意图。
图中：1箱体、2冷却间、3设备间、4隔板、5外盘冷却管、6内盘冷却管、7连接管、8顶板、9伸缩电机、10伸缩杆、11杂质隔离网、12冷凝器、13冷却液输出管、14冷却液回流管、15泵、16控温阀、17温度传感器、18智能控制器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-2所示的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体1，所述箱体1内设置有冷却间2和设备间3，所述冷却间2设置于设备间3顶端，所述冷却间2和设备间3之间设置有隔板4，有利于隔开冷却间2和设备间3，避免两内部条件互为影响，所述冷却间2内设置有外盘冷却管5，所述外盘冷却管5内设置有内盘冷却管6，所述外盘冷却管5顶端一侧设置有连接管7，所述连接管7一端延伸至外盘冷却管5内，所述箱体1顶部设置有顶板8，所述顶板8顶端设置有伸缩电机9，有利于对伸缩杆10做功，所述伸缩电机9输出端设置有伸缩杆10，所述伸缩杆10底端贯穿顶板8，且延伸至冷却间2内，所述伸缩杆10底端设置有杂质隔离网11，可以有效的去除冷却液内的颗粒状杂质，提高了冷却效果，所述设备间3内设置有冷凝器12，有利于制作出冷却液，从而达到吸收热量的效果，所述冷凝器12输出端设置有冷却液输出管13，所述冷却液输出管13输出端与外盘冷却管5输入端连接，所述冷凝器12输入端设置有冷却液回流管14，所述冷却液回流管14输入端与内盘冷却管6输出端连接。
所述冷却液输出管13设置有泵15，所述泵15设置于设备间3内，所述冷却液输出管13连接端设置有控温阀16，所述控温阀16一端贯穿设备间3一侧壁，且延伸至箱体1外壁一侧，有利于根据切割液的温度调节冷却液输出管13内冷却液的液体流量，从而控制热交换的反应效率，所述隔板4顶部设置有凹槽，所述凹槽延伸至隔板4内部，所述凹槽内设置有温度传感器17，有利于感应切割液内的温度变化，所述顶板8顶部设置有智能控制器18，所述智能控制器18设置于伸缩电机9一侧，所述智能控制器18包括单片机和液晶显示屏，所述液晶显示屏与单片机电性连接，所述温度传感器17与单片机电性连接，有利于对温度传感器17采集的信号进行分析和处理，并且供操作人员参考，所述杂质隔离网11设置于内盘冷却管6内壁一侧，所述外盘冷却管5和内盘冷却管6均呈螺旋盘式设置，有利于增大热交换时的表面接触面积，从而提高冷却效率，所述温度传感器17型号设置为DS18B20 TO-92。
本实用工作原理：在冷却切割液时，冷凝器12中的冷却液通过冷却液输出管13进入外盘冷却管5中，再然后通过内盘冷却管6进入冷却液回流管14中，实现一个回流过程，在冷却液回流的过程中，带走切割液中的热量，从而达到冷却切割液的效果，当温度传感器17感应切割液内温度过高时，通过调节控温阀16，增大冷却液的流量，以此来提高冷却效果，当切割液内含有颗粒状杂质时，通过伸缩电机9利用伸缩杆10带动杂质隔离网11运动，使杂质隔离网11将冷却液中的杂质过滤掉，并且通过冷却间2顶部开口清理掉，从而达到本实用的目的。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内设置有冷却间（2）和设备间（3），所述冷却间（2）设置于设备间（3）顶端，所述冷却间（2）和设备间（3）之间设置有隔板（4），所述冷却间（2）内设置有外盘冷却管（5），所述外盘冷却管（5）内设置有内盘冷却管（6），所述外盘冷却管（5）顶端一侧设置有连接管（7），所述连接管（7）一端延伸至外盘冷却管（5）内，所述箱体（1）顶部设置有顶板（8），所述顶板（8）顶端设置有伸缩电机（9），所述伸缩电机（9）输出端设置有伸缩杆（10），所述伸缩杆（10）底端贯穿顶板（8），且延伸至冷却间（2）内，所述伸缩杆（10）底端设置有杂质隔离网（11），所述设备间（3）内设置有冷凝器（12），所述冷凝器（12）输出端设置有冷却液输出管（13），所述冷却液输出管（13）输出端与外盘冷却管（5）输入端连接，所述冷凝器（12）输入端设置有冷却液回流管（14），所述冷却液回流管（14）输入端与内盘冷却管（6）输出端连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于：所述冷却液输出管（13）设置有泵（15），所述泵（15）设置于设备间（3）内，所述冷却液输出管（13）连接端设置有控温阀（16），所述控温阀（16）一端贯穿设备间（3）一侧壁，且延伸至箱体（1）外壁一侧。
3.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于：所述隔板（4）顶部设置有凹槽，所述凹槽延伸至隔板（4）内部，所述凹槽内设置有温度传感器（17），所述顶板（8）顶部设置有智能控制器（18），所述智能控制器（18）设置于伸缩电机（9）一侧。
4.根据权利要求3所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于：所述智能控制器（18）包括单片机和液晶显示屏，所述液晶显示屏与单片机电性连接，所述温度传感器（17）与单片机电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于：所述杂质隔离网（11）设置于内盘冷却管（6）内壁一侧。
6.根据权利要求1所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于：所述外盘冷却管（5）和内盘冷却管（6）均呈螺旋盘式设置。
7.根据权利要求3所述的一种硅棒切片机的切割液冷却装置，其特征在于：所述温度传感器（17）型号设置为DS18B20 TO-92。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721658213.9U CN207594108U (zh) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | 一种硅棒切片机的切割液冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721658213.9U CN207594108U (zh) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | 一种硅棒切片机的切割液冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207594108U true CN207594108U (zh) | 2018-07-10 |
Family
ID=62762118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721658213.9U Expired - Fee Related CN207594108U (zh) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | 一种硅棒切片机的切割液冷却装置 |
Country Status (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112140376A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-12-29 | 王焯 | 一种硅棒切片机的切割液冷却装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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