CN207567042U - 一种超纯水处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超纯水处理系统，包括原水槽、预处理装置、软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置和脱氧EDI装置，原水槽的一端连接有原水进管，原水进管的另一端连接预处理装置，预处理装置连接软水处理装置，软水处理装置连接超滤处理装置，超滤处理装置连接反渗透处理装置，反渗透处理装置连接脱氧EDI装置，脱氧EDI装置连接有温床离子树脂槽，温床离子树脂槽连接有终端超滤设备，终端超滤设备连接有回水TOC‑UV机，回水TOC‑UV机连接有超纯水出管。通过设置预处理装置进行大分子过滤操作，结合软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置，对水进行深化处理，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；通过设置脱氧EDI装置，大大提高了脱气性能。

Description

一种超纯水处理系统

技术领域

本实用新型涉及一种超纯水处理系统。

背景技术

纯水，既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水，电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值(25℃)。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。但是要想达到超纯水的要求，一般都需要经过很多道工序，生产装置结构复杂，且生产效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超纯水处理系统，该系統结构简单、科学便利、针对性强，通过设置预处理装置进行大分子过滤操作，结合软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置，对水进行深化处理，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；通过设置脱氧EDI装置，大大提高了脱气性能，本实用新型能够有效实现超纯水的提纯操作，大大提高生产效率，安全高效。

为了解决上述技术问题，采用如下技术方案：

一种超纯水处理系统，包括原水槽、预处理装置、软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置和脱氧EDI装置，原水槽的一端连接有原水进管，原水进管的另一端连接预处理装置，预处理装置连接软水处理装置，软水处理装置连接超滤处理装置，超滤处理装置连接反渗透处理装置，反渗透处理装置连接脱氧EDI装置，脱氧EDI装置连接有温床离子树脂槽，温床离子树脂槽连接有终端超滤设备，终端超滤设备连接有回水TOC-UV机，回水TOC-UV机连接有超纯水出管。

进一步，预处理装置包括覆层过滤器、化学加药泵和自动再生软水设备，覆层过滤器的一端连接原水槽，覆层过滤器的另一端连接化学加药泵，化学加药泵连接自动再生软水设备，自动再生软水设备连接软水处理装置。通过设置覆层过滤器、化学加药泵等设备对水中的悬浮物、对有机物、胶体胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重金属离子进行有效的过滤，降低水体的浊度和色度，净化水质，减少对后续系统(反渗透、超滤、离子交换器)的污染，提高了超纯水过滤的效果和效率。

进一步，软水处理装置包括预过滤器、软水储槽和软水泵，预过滤器的一端连接自动再生软水设备，预过滤器的另一端连接软水储槽，软水储槽连接软水泵。通过设置软水预处理装置对原水进行软水处理，方便进行超滤和反渗透处理工作。

进一步，超滤处理装置包括超滤设备、超滤产水槽、超滤控制泵、超滤清洗组件和超滤反洗组件，超滤设备的进水端连接软水泵，超滤设备的出水端连接超滤产水槽，超滤产水槽连接超滤控制泵，超滤控制泵连接反渗透处理装置，超滤清洗组件设置于超滤设备的进水端，超滤反洗组件设置于超滤设备的出水端。通过设置超滤设备，当水流过超滤膜元件的膜表面时，只允许水、无机盐和小分子物质透过膜，而截留水中的悬浮物、胶体和微生物，以达到净化分离的目的。该装置中采用的超滤膜元件，系采用国际先进的膜工艺开发而成，以PVDF膜丝作为膜材料，端头密封采用不会开裂、不会泄漏的聚胺脂材料，采用更耐污染和耐高悬浮物的外压式中空纤维超滤膜主件；膜壳耐压可达到1.0MPa，强度大；超滤膜元件具有通量高，抗污染性能好，性能稳定，检漏修补方便，使用寿命长等特点，可以满足大多数反渗透前处理以及中水回用，以适应较高的进水浊度和较强的清洗要求。

进一步，超滤清洗组件包括超滤清洗箱和超滤清洗泵，超滤清洗箱连接超滤清洗泵，超滤清洗泵连接于超滤设备的进水端。

进一步，超滤反洗组件包括超滤反洗设备、超滤反洗泵和再生水进泵，超滤反洗设备的一端连接超滤反洗泵，超滤反洗泵连接超滤产水槽，超滤反洗设备的另一端连接再生水进泵。超滤清洗组件采用化学清洗，错流过滤方式，浓水进行回流，并辅以超滤反洗设备和超滤反洗泵的气、水反洗技术，以保证超滤膜元件稳定的产水量，并提高系统的水利用率，也使系统运行更稳定。

进一步，反渗透处理装置包括反渗透设备和反渗透产水槽，反渗透设备的进水端连接超滤控制泵，反渗透设备的出水端连接反渗透产水槽，反渗透产水槽连接脱氧EDI装置。该装置采用的反渗透设备，具有脱盐率高、透过速度快、机械强度好、抗污染性能好等特点，其优点在于：1)该种反渗透膜通过增加膜袋的片数，缩短进水流道的长度，增大进水隔网的宽度，不仅拥有更高的水通量，而且可以减少有机物及微生物在膜表面的吸附，具有更强的耐污染能力。2)通过对膜材料的改进，创造了具有优异的化学物理稳定性、耐久性、以及高产水量和高脱盐性能的膜元件。3)膜片表面更光滑、更耐污染。

进一步，脱氧EDI装置包括EDI送水泵、第一TOC-UV设备、第二TOC-UV设备、第一薄膜脱氧设备、第二薄膜脱氧设备、EDI纯水设备、EDI产水槽、循环送水泵和热交换器，EDI送水泵的一端连接反渗透产水槽，EDI送水泵的另一端连接第一TOC-UV设备，第一TOC-UV设备连接第一薄膜脱氧设备，第一薄膜脱氧设备连接EDI纯水设备，EDI纯水设备连接EDI产水槽，EDI产水槽连接循环送水泵，循环送水泵连接热交换器，热交换器连接第二TOC-UV设备，第二TOC-UV设备连接第二薄膜脱氧设备，第二薄膜脱氧设备连接温床离子树脂槽。脱氧EDI装置通过设置两套TOC-UV设备和薄膜脱氧设备，导电物质将离子化物质从产水中迁移出去,以达到生产高纯水的过程，EDI替代了水处理中传统的混床技术具有很多积极的作用，提升去离子效果。

进一步，第一薄膜脱氧设备连接有真空泵。

由于采用上述技术方案，具有以下有益效果：

本实用新型为一种超纯水处理系统，该系統结构简单、科学便利、针对性强，通过设置预处理装置进行大分子过滤操作，结合软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置，对水进行深化处理，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；通过设置脱氧EDI装置，大大提高了脱气性能，本实用新型能够有效实现超纯水的提纯操作，大大提高生产效率，安全高效。

通过设置覆层过滤器、化学加药泵等设备对水中的悬浮物、对有机物、胶体胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重金属离子进行有效的过滤，降低水体的浊度和色度，净化水质，减少对后续系统(反渗透、超滤、离子交换器)的污染，提高了超纯水过滤的效果和效率。

通过设置软水预处理组件对原水进行软水处理，方便进行超滤和反渗透处理工作。

通过设置超滤设备，当水流过超滤膜元件的膜表面时，只允许水、无机盐和小分子物质透过膜，而截留水中的悬浮物、胶体和微生物，以达到净化分离的目的。该装置中采用的超滤膜元件，系采用国际先进的膜工艺开发而成，以PVDF膜丝作为膜材料，端头密封采用不会开裂、不会泄漏的聚胺脂材料，采用更耐污染和耐高悬浮物的外压式中空纤维超滤膜主件；膜壳耐压可达到1.0MPa，强度大；超滤膜元件具有通量高，抗污染性能好，性能稳定，检漏修补方便，使用寿命长等特点，可以满足大多数反渗透前处理以及中水回用，以适应较高的进水浊度和较强的清洗要求。

超滤清洗组件采用化学清洗，错流过滤方式，浓水进行回流，并辅以超滤反洗设备和超滤反洗泵的气、水反洗技术，以保证超滤膜元件稳定的产水量，并提高系统的水利用率，也使系统运行更稳定。

该装置采用的反渗透设备，具有脱盐率高、透过速度快、机械强度好、抗污染性能好等特点，其优点在于：1)该种反渗透膜通过增加膜袋的片数，缩短进水流道的长度，增大进水隔网的宽度，不仅拥有更高的水通量，而且可以减少有机物及微生物在膜表面的吸附，具有更强的耐污染能力。2)通过对膜材料的改进，创造了具有优异的化学物理稳定性、耐久性、以及高产水量和高脱盐性能的膜元件。3)膜片表面更光滑、更耐污染。

脱氧EDI装置通过设置两套TOC-UV设备和薄膜脱氧设备，导电物质将离子化物质从产水中迁移出去,以达到生产高纯水的过程，EDI替代了水处理中传统的混床技术具有很多积极的作用，提升去离子效果。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型中一种超纯水处理系统的结构示意图。

图中：1-原水槽；2-预处理装置；3-软水处理装置；4-超滤处理装置；5-反渗透处理装置；6-脱氧EDI装置；7-原水进管；8-温床离子树脂槽；9-终端超滤设备；10-回水TOC-UV机；11-超纯水出管；12-覆层过滤器；13-化学加药泵；14-自动再生软水设备；15-预过滤器；16-软水储槽；17-软水泵；18-超滤设备；19-超滤产水槽；20-超滤控制泵；21-超滤清洗箱；22-超滤清洗泵；23-超滤反洗设备；24-超滤反洗泵；25-再生水进泵；26-反渗透设备；27-反渗透产水槽；28-EDI送水泵；29-后第一TOC-UV设备；30-第二TOC-UV设备；31-第一薄膜脱氧设备；32-第二薄膜脱氧设备；33-EDI纯水设备；34-EDI产水槽；35-循环送水泵；36-热交换器；37-真空泵板。

具体实施方式

如图1所示，一种超纯水处理系统，包括原水槽1、预处理装置2、软水处理装置3、超滤处理装置4、反渗透处理装置5和脱氧EDI装置6，原水槽1的一端连接有原水进管7，原水进管7的另一端连接预处理装置2，预处理装置2连接软水处理装置3，软水处理装置3连接超滤处理装置4，超滤处理装置4连接反渗透处理装置5，反渗透处理装置5连接脱氧EDI装置6，脱氧EDI装置6连接有温床离子树脂槽8，温床离子树脂槽8连接有终端超滤设备9，终端超滤设备9连接有回水TOC-UV机10，回水TOC-UV机10连接有超纯水出管11。

预处理装置2包括覆层过滤器12、化学加药泵13和自动再生软水设备14，覆层过滤器12的一端连接原水槽1，覆层过滤器12的另一端连接化学加药泵13，化学加药泵13连接自动再生软水设备14，自动再生软水设备14连接软水处理装置3。通过设置覆层过滤器12、化学加药泵13等设备对水中的悬浮物、对有机物、胶体胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重金属离子进行有效的过滤，降低水体的浊度和色度，净化水质，减少对后续系统(反渗透、超滤、离子交换器)的污染，提高了超纯水过滤的效果和效率。

软水处理装置3包括预过滤器15、软水储槽16和软水泵17，预过滤器15的一端连接自动再生软水设备14，预过滤器15的另一端连接软水储槽16，软水储槽16连接软水泵17。通过设置软水预处理装置3对原水进行软水处理，方便进行超滤和反渗透处理工作。

超滤处理装置4包括超滤设备18、超滤产水槽19、超滤控制泵20、超滤清洗组件和超滤反洗组件，超滤设备18的进水端连接软水泵17，超滤设备18的出水端连接超滤产水槽19，超滤产水槽19连接超滤控制泵20，超滤控制泵20连接反渗透处理装置5，超滤清洗组件设置于超滤设备18的进水端，超滤反洗组件设置于超滤设备18的出水端。通过设置超滤设备18，当水流过超滤膜元件的膜表面时，只允许水、无机盐和小分子物质透过膜，而截留水中的悬浮物、胶体和微生物，以达到净化分离的目的。该装置中采用的超滤膜元件，系采用国际先进的膜工艺开发而成，以PVDF膜丝作为膜材料，端头密封采用不会开裂、不会泄漏的聚胺脂材料，采用更耐污染和耐高悬浮物的外压式中空纤维超滤膜主件；膜壳耐压可达到1.0MPa，强度大；超滤膜元件具有通量高，抗污染性能好，性能稳定，检漏修补方便，使用寿命长等特点，可以满足大多数反渗透前处理以及中水回用，以适应较高的进水浊度和较强的清洗要求。

超滤清洗组件包括超滤清洗箱21和超滤清洗泵22，超滤清洗箱21连接超滤清洗泵22，超滤清洗泵22连接于超滤设备18的进水端。超滤反洗组件包括超滤反洗设备23、超滤反洗泵24和再生水进泵25，超滤反洗设备23的一端连接超滤反洗泵24，超滤反洗泵24连接超滤产水槽19，超滤反洗设备23的另一端连接再生水进泵25。超滤清洗组件采用化学清洗，错流过滤方式，浓水进行回流，并辅以超滤反洗设备23和超滤反洗泵24的气、水反洗技术，以保证超滤膜元件稳定的产水量，并提高系统的水利用率，也使系统运行更稳定。

反渗透处理装置5包括反渗透设备26和反渗透产水槽27，反渗透设备26的进水端连接超滤控制泵20，反渗透设备26的出水端连接反渗透产水槽27，反渗透产水槽27连接脱氧EDI装置6。该装置采用的反渗透设备26，具有脱盐率高、透过速度快、机械强度好、抗污染性能好等特点，其优点在于：1)该种反渗透膜通过增加膜袋的片数，缩短进水流道的长度，增大进水隔网的宽度，不仅拥有更高的水通量，而且可以减少有机物及微生物在膜表面的吸附，具有更强的耐污染能力。2)通过对膜材料的改进，创造了具有优异的化学物理稳定性、耐久性、以及高产水量和高脱盐性能的膜元件。3)膜片表面更光滑、更耐污染。

脱氧EDI装置6包括EDI送水泵28、第一TOC-UV设备29、第二TOC-UV设备30、第一薄膜脱氧设备31、第二薄膜脱氧设备32、EDI纯水设备33、EDI产水槽34、循环送水泵35和热交换器36，EDI送水泵28的一端连接反渗透产水槽27，EDI送水泵28的另一端连接第一TOC-UV设备29，第一TOC-UV设备29连接第一薄膜脱氧设备31，第一薄膜脱氧设备31连接有真空泵37，第一薄膜脱氧设备31连接EDI纯水设备33，EDI纯水设备33连接EDI产水槽34，EDI产水槽34连接循环送水泵35，循环送水泵35连接热交换器36，热交换器36连接第二TOC-UV设备30，第二TOC-UV设备30连接第二薄膜脱氧设备32，第二薄膜脱氧设备32连接温床离子树脂槽8。脱氧EDI装置6通过设置两套TOC-UV设备和薄膜脱氧设备，导电物质将离子化物质从产水中迁移出去,以达到生产高纯水的过程，EDI替代了水处理中传统的混床技术具有很多积极的作用，提升去离子效果。

以上仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此。任何以本实用新型为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出地简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本实用新型的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种超纯水处理系统，其特征在于：包括原水槽、预处理装置、软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置和脱氧EDI装置，所述原水槽的一端连接有原水进管，所述原水进管的另一端连接所述预处理装置，所述预处理装置连接所述软水处理装置，所述软水处理装置连接所述超滤处理装置，所述超滤处理装置连接所述反渗透处理装置，所述反渗透处理装置连接所述脱氧EDI装置，所述脱氧EDI装置连接有温床离子树脂槽，所述温床离子树脂槽连接有终端超滤设备，所述终端超滤设备连接有回水TOC-UV机，所述回水TOC-UV机连接有超纯水出管。

2.根据权利要求1所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述预处理装置包括覆层过滤器、化学加药泵和自动再生软水设备，所述覆层过滤器的一端连接所述原水槽，所述覆层过滤器的另一端连接所述化学加药泵，所述化学加药泵连接所述自动再生软水设备，所述自动再生软水设备连接所述软水处理装置。

3.根据权利要求2所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述软水处理装置包括预过滤器、软水储槽和软水泵，所述预过滤器的一端连接所述自动再生软水设备，所述预过滤器的另一端连接所述软水储槽，所述软水储槽连接所述软水泵。

4.根据权利要求3所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述超滤处理装置包括超滤设备、超滤产水槽、超滤控制泵、超滤清洗组件和超滤反洗组件，所述超滤设备的进水端连接所述软水泵，所述超滤设备的出水端连接所述超滤产水槽，所述超滤产水槽连接所述超滤控制泵，所述超滤控制泵连接所述反渗透处理装置，所述超滤清洗组件设置于所述超滤设备的进水端，所述超滤反洗组件设置于所述超滤设备的出水端。

5.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述超滤清洗组件包括超滤清洗箱和超滤清洗泵，所述超滤清洗箱连接所述超滤清洗泵，所述超滤清洗泵连接于所述超滤设备的进水端。

6.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述超滤反洗组件包括超滤反洗设备、超滤反洗泵和再生水进泵，所述超滤反洗设备的一端连接所述超滤反洗泵，所述超滤反洗泵连接所述超滤产水槽，所述超滤反洗设备的另一端连接所述再生水进泵。

7.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述反渗透处理装置包括反渗透设备和反渗透产水槽，所述反渗透设备的进水端连接所述超滤控制泵，所述反渗透设备的出水端连接所述反渗透产水槽，所述反渗透产水槽连接所述脱氧EDI装置。

8.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述脱氧EDI装置包括EDI送水泵、第一TOC-UV设备、第二TOC-UV设备、第一薄膜脱氧设备、第二薄膜脱氧设备、EDI纯水设备、EDI产水槽、循环送水泵和热交换器，所述EDI送水泵的一端连接所述反渗透产水槽，所述EDI送水泵的另一端连接所述第一TOC-UV设备，所述第一TOC-UV设备连接所述第一薄膜脱氧设备，所述第一薄膜脱氧设备连接所述EDI纯水设备，所述EDI纯水设备连接所述EDI产水槽，所述EDI产水槽连接所述循环送水泵，所述循环送水泵连接所述热交换器，所述热交换器连接第二TOC-UV设备，所述第二TOC-UV设备连接所述第二薄膜脱氧设备，所述第二薄膜脱氧设备连接所述温床离子树脂槽。

9.根据权利要求8所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述第一薄膜脱氧设备连接有真空泵。