CN207556476U - 一种自动化移植板高低差检测仪器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种自动化移植板高低差检测仪器，其本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备、固定台面，将所述固定台面所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面上设有X‑Y轴运动系统和对位补偿板；所述X‑Y轴运动系统包括设置在固定台面上的第一平移轨道，和滑配于该第一平移轨道上、并与第一平移轨道垂直的滑架，所述滑架上设有垂直于第一平移轨道的第二平移轨道，所述第二平移轨道上滑配有光耦测量仪。本自动化移植板高低差检测仪器经过简单的参数设定，由程式自动控制量测位置，电脑快速计算后，得到高度差结果，并可以自动判断OK/NG、主要精度由光电感应零件决定，一般可达到5um以内。

Description

一种自动化移植板高低差检测仪器

技术领域

本实用新型涉及测量设备器技术领域，特别涉及一种自动化移植板高低差检测仪器。

背景技术

现有高低差量测设备，通常采用数字显示式深度规，透过两次量测进行差值计算得出，此技术存在量测速度慢、无法连续输出结果的缺陷，无法满足全面检测的需求，并且只能进行抽样检测，另外由于深度规自身的不足，探测头比较大，带来的误差也比较大，同时测量过程需要人为的计算判断，容易产生误差甚至错误，从而导致量测精度较差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种自动化移植板高低差检测仪器。

为解决上述技术问题，本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备、固定台面，将所述固定台面所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面上设有X-Y轴运动系统和对位补偿板；所述X-Y轴运动系统包括设置在固定台面上的第一平移轨道，和滑配于该第一平移轨道上、并与第一平移轨道垂直的滑架，所述滑架上设有垂直于第一平移轨道的第二平移轨道，所述第二平移轨道上滑配有光耦测量仪，所述滑架和光耦测量仪上均设有驱动步进电机，驱动步进电机与所述终端控制设备连接。

作为优化，所述光耦测量仪为一带有固定架的CCD摄像头。

作为优化，所述对位补偿板设置在所述固定台面，对位补偿板的台面平行于所述固定台面的台面。

作为优化，所述对位补偿板和固定台面之间设有升降装置。

作为优化，所述升降装置包括单片机和伺服电机，其中单片机与所述终端控制设备通讯，所述伺服电机的输出轴固定在所述对位补偿板下表面。

作为优化，所述终端控制设备为一装有控制软件的电脑，所述光耦测量仪通过网络或蓝牙与所述终端控制设备通信。

本实用新型一种自动化移植板高低差检测仪器机械结构简单、制造成本低廉、量测速度快、量测精度高等优点，经过简单的参数设定，由程式自动控制量测位置，电脑快速计算后，得到高度差结果，并可以自动判断OK/NG、主要精度由光电感应零件决定，一般可达到5um以内，满足并高于目前移植板所需要的精度要求。

附图说明

下面结合附图对本实用新型一种自动化移植板高低差检测仪器作进一步说明：

图1是本自动化移植板高低差检测仪器的线框结构示意图；

图2是本自动化移植板高低差检测仪器的平面结构示意图

图中：1-终端控制设备、2-固定台面、3-X-Y轴运动系统、301-第一平移轨道、302-滑架、303-第二平移轨道、304-光耦测量仪、4-对位补偿板、401-升降装置、411-单片机、412-伺服电机。

具体实施方式

如图1、2所示，本自动化移植板高低差检测仪器包括终端控制设备1、固定台面2，将所述固定台面2所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面2上设有X-Y轴运动系统3和对位补偿板4；所述X-Y轴运动系统3包括设置在固定台面2上的第一平移轨道301，和滑配于该第一平移轨道301上、并与第一平移轨道301垂直的滑架302，所述滑架302上设有垂直于第一平移轨道301的第二平移轨道303，所述第二平移轨道303上滑配有光耦测量仪304，所述滑架302和光耦测量仪304上均设有驱动步进电机，驱动步进电机与所述终端控制设备1连接。所述光耦测量仪304为一带有固定架的CCD摄像头。所述对位补偿板4设置在所述固定台面2，对位补偿板4的台面平行于所述固定台面2的台面。所述对位补偿板4和固定台面2之间设有升降装置401。所述升降装置401包括单片机411和伺服电机412，其中单片机411与所述终端控制设备1通讯，所述伺服电机412的输出轴固定在所述对位补偿板4下表面。所述终端控制设备1为一装有控制软件的电脑，所述光耦测量仪304通过网络或蓝牙与所述终端控制设备1通信。

测量过程中，将板子放在下面的固定平台的对位补偿板上，调整高度令CCD正对补偿板上平面待测区域，X-Y轴控制量测头的运动，终端电脑设定量测位置L1与L2，并自动精确定位到量测点L1，再用光电感知获取该点的高度值H1，再微动定位到量测点L2，再次得到一个高度值H2，由电脑控制计算|H1-H2|得到我们所要量测的高度差值。重复上一步的操作，自动获取台面所有需要量测的点的高度差。自动根据设定规格，判断量测结果NG/OK。并标注NG点位置。

上述实施方式旨在举例说明本实用新型可为本领域专业技术人员实现或使用，对上述实施方式进行修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，故本实用新型包括但不限于上述实施方式，任何符合本权利要求书或说明书描述，符合与本文所公开的原理和新颖性、创造性特点的方法、工艺、产品，均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：包括终端控制设备(1)、固定台面(2)，将所述固定台面(2)所在平面内互相垂直的两条直线分别定义为X轴和Y轴，固定台面(2)上设有X-Y轴运动系统(3)和对位补偿板(4)；所述X-Y轴运动系统(3)包括设置在固定台面(2)上的第一平移轨道(301)，和滑配于该第一平移轨道(301)上、并与第一平移轨道(301)垂直的滑架(302)，所述滑架(302)上设有垂直于第一平移轨道(301)的第二平移轨道(303)，所述第二平移轨道(303)上滑配有光耦测量仪(304)，所述滑架(302)和光耦测量仪(304)上均设有驱动步进电机，驱动步进电机与所述终端控制设备(1)连接。

2.根据权利要求1所述的自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：所述光耦测量仪(304)为一带有固定架的CCD摄像头。

3.根据权利要求2所述的自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：所述对位补偿板(4)设置在所述固定台面(2)，对位补偿板(4)的台面平行于所述固定台面(2)的台面。

4.根据权利要求3所述的自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：所述对位补偿板(4)和固定台面(2)之间设有升降装置(401)。

5.根据权利要求4所述的自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：所述升降装置(401)包括单片机(411)和伺服电机(412)，其中单片机(411)与所述终端控制设备(1)通讯，所述伺服电机(412)的输出轴固定在所述对位补偿板(4)下表面。

6.根据权利要求5所述的自动化移植板高低差检测仪器，其特征是：所述终端控制设备(1)为一装有控制软件的电脑，所述光耦测量仪(304)通过网络或蓝牙与所述终端控制设备(1)通信。