CN207542554U - 放电激励式气体激光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种放电激励式气体激光装置，包括：腔室，其将激光气体封装在内部；风扇，其使所述激光气体在所述腔室内循环流动；一对电极，其被设置成在所述腔室内彼此相对；以及声波扩散板，其具有多个长方形孔，并且使由于所述一对电极之间的放电而产生的声波扩散。由此，通过该声波扩散板的长方形孔使声波扩散，能够进一步减弱激光腔室内产生的声波。

Description

放电激励式气体激光装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种放电激励式气体激光装置。

背景技术

伴随着半导体集成电路的细微化、高集成化，在半导体曝光装置中要求提高分辨率。以下将半导体曝光装置简称为“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的波长在变短。在曝光用光源中代替现有的水银灯而使用了气体激光装置。例如，使用输出波长248nm的紫外线的KrF准分子激光装置以及输出波长193nm的紫外线的ArF准分子激光装置，作为曝光用的气体激光装置。

当以1KHz以上的高频率使激光驱动时，电极之间的放电会产生声波。由于在激光腔室内产生声波，因此对放电产生不良影响，激光的输出可能变得不稳定，需要吸收或降低所产生的声波。

现有技术中，例如专利文献1使用多孔质吸音材料来抑制声波的影响。

专利文献1：日本专利申请公开2006-148016号

应当注意，上面对背景技术的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

发明人发现：现有方案对于声波的抑制仍然不够理想，因此期待能够进一步减弱激光腔室内产生的声波。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种放电激励式气体激光装置。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供了一种放电激励式气体激光装置，包括：

腔室，其将激光气体封装在内部；

风扇，其使所述激光气体在所述腔室内循环流动；

一对电极，其被设置成在所述腔室内彼此相对；以及

声波扩散板，其具有多个长方形孔，并且使由于所述一对电极之间的放电而产生的声波扩散。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述长方形孔的长度方向被设置为与所述激光气体的流动方向平行。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述声波扩散板中的所述多个长方形孔的数量为20个以上。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述声波扩散板中的所述多个长方形孔的数量为50个以上。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述长方形孔的长度方向上的尺寸为20毫米以上。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述声波扩散板沿着所述腔室的内壁呈R型弯曲。

根据本实用新型实施例的第七方面，其中，所述声波扩散板通过螺栓固定在所述腔室的内壁上。

根据本实用新型实施例的第八方面，其中，所述声波扩散板以拆卸自如的方式被配置在所述腔室的内壁上。

本实用新型的有益效果在于：放电激励式气体激光装置包括有声波扩散板，其具有多个长方形孔，并且使由于一对电极之间的放电而产生的声波扩散。由此，通过该声波扩散板的长方形孔使声波扩散，能够进一步减弱激光腔室内产生的声波。

参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。

附图说明

所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本实用新型的放电激励式气体激光装置100的剖面示意图；

图2是本实用新型的声波扩散板的示例图。

具体实施方式

参照附图，通过下面的说明，本实用新型的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本实用新型的特定实施方式，其表明了其中可以采用本实用新型的原则的部分实施方式，应了解的是，本实用新型不限于所描述的实施方式，相反，本实用新型包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。

在本实用新型实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。

在本实用新型实施例中，单数形式“一”、“该”等可以包括复数形式，应广义地理解为“一种”或“一类”而并不是限定为“一个”的含义；此外术语“所述”应理解为既包括单数形式也包括复数形式，除非上下文另外明确指出。此外术语“根据”应理解为“至少部分根据……”，术语“基于”应理解为“至少部分基于……”，除非上下文另外明确指出。

在本实用新型的下述说明中，为了说明的方便，将与沿着轴(例如风扇的驱动轴)延伸的方向平行的方向称为“轴向”，将以轴为中心的半径方向称为“径向”，将以轴为中心的包围径向外侧的方向称为“周向”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该放电激励式气体激光装置使用和制造时的朝向。

在本实用新型的下述说明中，为了说明的方便，可以将电极所在的一侧称为“上侧”或者“上方”，将风扇或热交换器所在的一侧称为“下侧”或者“下方”。但值得注意的是，这些只是为了说明的方便，并不限定该放电激励式气体激光装置使用和制造时的朝向。

下面参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。

本实用新型实施例提供一种放电激励式气体激光装置。

图1是本实用新型的放电激励式气体激光装置100的剖面示意图，示出了放电激励式气体激光装置100被剖开的一部分部件。如图1所示，该放电激励式气体激光装置100可以包括：

腔室101，其将激光气体封装在内部；

风扇102，其使所述激光气体在所述腔室101内循环流动；如图1中的箭头所示。

一对电极1031和1032，其被设置成在所述腔室101内彼此相对；其中电极1031可以被设置在腔室101的上方。

该放电激励式气体激光装置100中还可以设置电绝缘部1033和脉冲功率模块(PPM，Pulse Power Module)1034。电极1032可以被设置在腔室101的中部，由电极架1035所保持，该放电激励式气体激光装置100中还可以设置气体引导部1036和热交换器1037。关于其他一般放电激励式气体激光装置所具有的部件，具体可以参照相关技术，此处省略说明。此外，图1中未特别指明的部件或元素，可以参考相关技术，本实用新型并不对此进行限制。

如图1所示，所述放电激励式气体激光装置100还可以包括：

声波扩散板1041和1042(图1以设置两个声波扩散板为例，但本实用新型不限于此)，其分别设置在腔室101的左下部和右下部。每个声波扩散板具有多个长方形孔，并且使由于所述一对电极1031和1032之间的放电而产生的声波扩散。

由此，通过该声波扩散板的长方形孔使声波扩散，能够进一步减弱激光腔室内产生的声波。

值得注意的是，图1仅对本实用新型的放电激励式气体激光装置进行了示意性说明，但本实用新型不限于此。例如声波扩散板可以被设置为一个、两个或以上，此外还可以将该声波扩散板设置在腔室内的左上部或右上部或其他部位。

图2是本实用新型的声波扩散板的示例图，示例性示出了声波扩散板的一种情况。如图2所示，该声波扩散板200具有多个长方形孔201，并且使由于一对电极之间的放电而产生的声波扩散。

值得注意的是，图2仅示意性示出了声波扩散板200为曲面板状的情况，但本实用新型不限于此。例如，该声波扩散板200可以呈平面板状。再例如，如图1所示，声波扩散板1041和1042沿着所述腔室101的内壁呈R型弯曲。

在一个实施方式中，声波扩散板200的长方形孔的长度方向被设置为与所述激光气体的流动方向平行。由此，通过将长方形孔的长度方向设为与气体的流动方向平行，能够抑制气体流动的紊乱。

在一个实施方式中，所述声波扩散板200中的所述多个长方形孔的数量可以为20个以上。在另一个实施方式中，所述声波扩散板200中的所述多个长方形孔的数量可以为50个以上。但本实用新型不限于此，可以根据实际需求确定长方形孔的具体数量。

在一个实施方式中，所述长方形孔的长度方向上的尺寸可以为20毫米(mm)以上。但本实用新型不限于此，可以根据实际需求确定长方形孔的具体尺寸。

在一个实施方式中，所述声波扩散板200沿着所述腔室的内壁呈R型弯曲。

在一个实施方式中，所述声波扩散板200可以通过螺栓固定在所述腔室的内壁上。

在一个实施方式中，所述声波扩散板200可以以拆卸自如的方式被配置在所述腔室的内壁上。

值得注意的是，以上各个实施方式仅对本实用新型进行了示例性说明，但本实用新型不限于此，还可以在以上各个实施方式的基础上进行适当的变型。例如，可以将以上各个实施方式中的一种或多种结合起来。

以上结合具体的实施方式对本实用新型进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本实用新型保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本实用新型的精神和原理对本实用新型做出各种变型和修改，这些变型和修改也在本实用新型的范围内。

以上参照附图描述了本实用新型的优选实施方式。这些实施方式的许多特征和优点根据该详细的说明书是清楚的，因此所附权利要求旨在覆盖这些实施方式的落入其真实精神和范围内的所有这些特征和优点。此外，由于本领域的技术人员容易想到很多修改和改变，因此不是要将本实用新型的实施方式限于所例示和描述的精确结构和操作，而是可以涵盖落入其范围内的所有合适修改和等同物。

Claims (8)

1.一种放电激励式气体激光装置，包括：

腔室，其将激光气体封装在内部；

风扇，其使所述激光气体在所述腔室内循环流动；

一对电极，其被设置成在所述腔室内彼此相对；

其特征在于，所述放电激励式气体激光装置还包括：

声波扩散板，其具有多个长方形孔，并且使由于所述一对电极之间的放电而产生的声波扩散。

2.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述长方形孔的长度方向被设置为与所述激光气体的流动方向平行。

3.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述声波扩散板中的所述多个长方形孔的数量为20个以上。

4.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述声波扩散板中的所述多个长方形孔的数量为50个以上。

5.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述长方形孔的长度方向上的尺寸为20毫米以上。

6.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述声波扩散板沿着所述腔室的内壁呈R型弯曲。

7.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述声波扩散板通过螺栓固定在所述腔室的内壁上。

8.根据权利要求1所述的放电激励式气体激光装置，其中，所述声波扩散板以拆卸自如的方式被配置在所述腔室的内壁上。