CN207540735U - 真空系统测漏装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空系统测漏装置，包括真空泵、控制阀、检测仪和封堵板；其中，真空泵的抽气口与待测真空腔室相连通，真空泵上开设有连接口；控制阀上设置有进气口和出气口，进气口与连接口相连；封堵板封堵在出气口上。检测待测真空腔室是否泄漏时，将封堵板从控制阀的出气口取出，并将检测仪连接在该出气口上，然后打开控制阀，以使控制阀的进气口和出气口相通，从而便于检测仪检测真空腔室的泄漏状况。与现有技术相比，检测真空腔室的泄漏情况时，仅需简单操作控制阀的开关即可，不必频繁的开关真空泵，简化了操作过程，缩短了检测所需时间，提高了检测结果的精确性。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及真空系统测漏装置。
背景技术
随着现代社会的发展，工业越来越发达，各种各样的真空设备应用的越来越多，其中在加工太阳能电池时，需要用到真空蒸镀设备，该真空蒸镀设备设置有一个工艺腔室，加工太阳能电池时，将制造太阳能电池的原材料基片放置在工艺腔室中，然后利用蒸镀源等对基片进行镀膜，从而在基片上形成各种膜层。
在镀膜过程中，工艺腔室需保持真空状态，若工艺腔室出现泄漏的状况，则会导致膜层不均匀，甚至于镀膜失败。因此为了保证镀膜能够顺利进行，需要在加工前对工艺腔室进行检测，确保工艺腔室没有泄漏点。
目前，对工艺腔室进行检测的方式为在对工艺腔室抽真空的真空泵上连接检测仪器，但是该种操作方式，需要频繁的开关真空泵，导致操作过程繁琐，检测耗费时间较长，且检测结果不精确。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种真空系统测漏装置，以解决上述问题，简化操作过程，缩短检测所耗时长，提高检测结果精确性。
本实用新型提供的真空系统测漏装置，包括：
真空泵，所述真空泵的抽气口与待测真空腔室相连通，所述真空泵上开设有连接口；
控制阀，所述控制阀上设置有进气口和出气口，所述进气口与所述连接口相连；
封堵板，所述封堵板封堵在所述出气口上。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，所述控制阀的出气口的内壁上设置有密封圈，所述封堵板卡装在所述密封圈上。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，所述密封圈的内圈设置有卡环，所述封堵板的一侧端面上设置有环形卡槽；所述卡环卡入所述环形卡槽中。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，所述卡环包括嵌入环和凸起环，所述嵌入环固定内嵌至所述密封圈的内圈上；
所述凸起环的一端与所述嵌入环同轴固定连接，另一端沿所述密封圈的中心轴向远离所述密封圈的方向延伸。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，所述封堵板远离所述环形卡槽的一侧端面设置有向所述环形卡槽一侧延伸的弧形翻边。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，还包括第一卡箍，所述第一卡箍连接在所述出气口上。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，还包括连接管，所述连接管的一端与所述连接口相连，所述连接管的另一端向远离所述真空泵的方向延伸；
所述控制阀的出气口与所述连接管远离所述真空泵的一端相连。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，所述连接管远离所述真空泵的一端设置有第二卡箍。
如上所述的真空系统测漏装置，其中，优选的是，所述控制阀上固设有手柄。
本实用新型提供的真空系统测漏装置，包括真空泵、控制阀和封堵板；其中，真空泵的抽气口与待测真空腔室相连通，真空泵上开设有连接口；控制阀上设置有进气口和出气口，进气口与连接口相连；封堵板封堵在出气口上。不检测真空腔室的泄漏情况时，封堵板封堵在控制阀的出气口上，且控制阀处于关闭状态，此时控制阀的进气口与出气口并未连通；检测待测真空腔室是否泄漏时，将封堵板从控制阀的出气口取出，并将检测仪连接在该出气口上，然后打开控制阀，以使控制阀的进气口和出气口相通，从而便于检测仪检测真空腔室的泄漏状况。与现有技术相比，检测真空腔室的泄漏情况时，仅需简单操作控制阀的开关即可，不必频繁的开关真空泵，简化了操作过程，缩短了检测所需时间，提高了检测结果的精确性。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置未连接控制阀的结构示意图；
图3为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置的局部放大图；
图4为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置的封堵板的结构示意图；
图5为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置的封堵板另一方向的结构示意图；
图6为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置的密封圈和卡环的轴测图；
图7为本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置的密封圈和卡环的主视图。
附图标记说明：
10-真空泵 11-连接口 20-控制阀 21-出气口
22-手柄 30-封堵板 31-环形卡槽 32-弧形翻边
40-密封圈 50-卡环 51-嵌入环 52-凸起环
60-第一卡箍 70-连接管 80-第二卡箍
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
如图1至图7所示，本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置，包括真空泵10、控制阀20和封堵板30。
其中，真空泵10的抽气口与待测真空腔室相连通，真空泵10上开设有连接口11；控制阀20上设置有进气口和出气口21，进气口与连接口11相连；封堵板30封堵在出气口21上。
不检测真空腔室的泄漏情况时，封堵板30封堵在控制阀20的出气口21上，且控制阀20处于关闭状态，此时控制阀20的进气口与出气口21并未连通；检测待测真空腔室是否泄漏时，将封堵板30从控制阀20的出气口21取出，并将检测仪连接在该出气口21上，然后打开控制阀20，以使控制阀20的进气口和出气口21相通，从而便于检测仪检测真空腔室的泄漏状况。与现有技术相比，检测真空腔室的泄漏情况时，仅需简单操作控制阀20的开关即可，不必频繁的开关真空泵10，简化了操作过程，缩短了检测所需时间，提高了检测结果的精确性。
可以理解的是，上述检测仪可以为氦检仪。真空泵10包括泵体和接通管，接通管的一端连接至泵体上，另一端连接至待测真空腔室中，连接口11开设在接通管上。
请参考图6和图7，为保证控制阀20的密封性能，避免控制阀20与封堵板30之间的缝隙可能出现的泄漏情况，需要封堵该缝隙。因此，控制阀20的出气口21的内壁上设置有密封圈40，封堵板30卡装在密封圈40上。优选地，该密封圈40可以为橡胶密封圈。
具体安装封堵板30时，密封圈40的内圈设置有卡环50，请参考图4，封堵板30的一侧端面上设置有环形卡槽31；卡环50卡入环形卡槽31中。优选地，该卡环50为钢材等刚性材质制成。
请参考图6，具体地，卡环50包括嵌入环51和凸起环52，嵌入环51固定内嵌至密封圈40的内圈上；凸起环52的一端与嵌入环51同轴固定连接，另一端沿密封圈40的中心轴向远离密封圈40的方向延伸。具体地，封堵板30上的环形卡槽31与凸起环52相配合，也即该凸起环52卡入环形卡槽31中。凸起环52与封堵板30上的环形卡槽31相配合，一方面将封堵板30固定，另一方面可以增强密封性能。
进一步地，请参考图5，封堵板30远离环形卡槽31的一侧端面设置有向环形卡槽31一侧延伸的弧形翻边32。在凸起环52卡入环形卡槽31中时，弧形翻边32紧密贴合在密封圈40上，进一步增加密封可靠性。
进一步地，本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置还包括第一卡箍60，第一卡箍60连接在出气口21上。将封堵板30拆卸，连接检测仪时，首先打开第一卡箍60，然后将检测仪连接至出气口21上，然后关闭第一卡箍60，从而将检测仪固定，避免在检测过程中检测仪松脱，从而降低对检测精度的影响。检测完成后，关闭控制阀，然后打开第一卡箍60，将检测仪21拆卸，再将封堵板30封堵至出气口21处。
进一步地，本实用新型实施例提供的真空系统测漏装置还包括连接管70，连接管70的一端与连接口11相连，连接管70的另一端向远离真空泵10的方向延伸；控制阀20的出气口21与连接管70远离真空泵10的一端相连。该连接管70主要用于将控制阀20连接至真空泵10的出气口21上，从而便于工人进行安装，简化操作过程。
进一步地，连接管70远离真空泵10的一端设置有第二卡箍80。连接控制阀20至连接口11上时，首先打开第二卡箍80，然后将控制阀20连接至连接口11上，关闭第二卡箍80，从而将控制阀20固定，避免控制阀20松脱影响真空泵10的密封性能，避免影响检测精度。
为了方便工人进行操作，控制阀20上固设有手柄22。安装或者拆卸控制阀20时，可以手持手柄22进行操作。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。
Claims (9)
1.一种真空系统测漏装置，其特征在于，包括：
真空泵，所述真空泵的抽气口与待测真空腔室相连通，所述真空泵上开设有连接口；
控制阀，所述控制阀上设置有进气口和出气口，所述进气口与所述连接口相连；
封堵板，所述封堵板封堵在所述出气口上。
2.根据权利要求1所述的真空系统测漏装置，其特征在于，所述控制阀的出气口的内壁上设置有密封圈，所述封堵板卡装在所述密封圈上。
3.根据权利要求2所述的真空系统测漏装置，其特征在于，所述密封圈的内圈设置有卡环，所述封堵板的一侧端面上设置有环形卡槽；所述卡环卡入所述环形卡槽中。
4.根据权利要求3所述的真空系统测漏装置，其特征在于，所述卡环包括嵌入环和凸起环，所述嵌入环固定内嵌至所述密封圈的内圈上；
所述凸起环的一端与所述嵌入环同轴固定连接，另一端沿所述密封圈的中心轴向远离所述密封圈的方向延伸。
5.根据权利要求3所述的真空系统测漏装置，其特征在于，所述封堵板远离所述环形卡槽的一侧端面设置有向所述环形卡槽一侧延伸的弧形翻边。
6.根据权利要求1所述的真空系统测漏装置，其特征在于，还包括第一卡箍，所述第一卡箍连接在所述出气口上。
7.根据权利要求1所述的真空系统测漏装置，其特征在于，还包括连接管，所述连接管的一端与所述连接口相连，所述连接管的另一端向远离所述真空泵的方向延伸；
所述控制阀的出气口与所述连接管远离所述真空泵的一端相连。
8.根据权利要求7所述的真空系统测漏装置，其特征在于，所述连接管远离所述真空泵的一端设置有第二卡箍。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空系统测漏装置，其特征在于，所述控制阀上固设有手柄。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721805837.9U CN207540735U (zh) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | 真空系统测漏装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721805837.9U CN207540735U (zh) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | 真空系统测漏装置 |
Publications (1)
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| CN207540735U true CN207540735U (zh) | 2018-06-26 |
Family
ID=62619053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201721805837.9U Active CN207540735U (zh) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | 真空系统测漏装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN207540735U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1029702B1 (nl) * | 2021-08-19 | 2023-03-20 | Atlas Copco Airpower Nv | Lekdetectie in een vacuümsysteem |
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2017
- 2017-12-21 CN CN201721805837.9U patent/CN207540735U/zh active Active
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