CN207536500U - 一种集成电路无氧真空储存箱设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳，所述外壳内部设有第一工作室与第二工作室，所述第二工作室设于第一工作室一侧，所述第一工作室内部设有多个存储内胆，多个所述存储内胆一侧均设有密封门以及另一侧均设有第一连接管与第二连接管，所述第二连接管设于第一连接管底部，所述第一连接管与第二连接管底部均设有密闭电磁阀，多个所述存储内胆外侧均设有肋片以及底部设有搁板。本实用新型通过设有数字式电阻真空计，由于电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，所以本实用新型还设有PLC控制器对此非线性进行误差修正，从而提高了本实用新型中数字式电阻真空计的测量精度，使得本实用新型的实际使用效果更好。

Description

一种集成电路无氧真空储存箱设备

技术领域

本实用新型涉及真空储存技术领域，特别涉及一种集成电路无氧真空储存箱设备。

背景技术

集成电路无氧真空储存设备是真空储存设备的一种，可用于存储各行业所用到的集成电路、IC、晶圆、CMOS、bumping、tsv和指纹识别设备等精密元器件，其存储方式为在真空无氧状态下的真空无氧储存，但是现有的集成电路无氧真空储存设备在实际使用时还存在一些缺点，如无法准确连接设备内气压值，或检测出的气压值偏差较大等，还有就是设备使用寿命时间较短。

因此，发明一种集成电路无氧真空储存箱设备来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种集成电路无氧真空储存箱设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳，所述外壳内部设有第一工作室与第二工作室，所述第二工作室设于第一工作室一侧，所述第一工作室内部设有多个存储内胆，多个所述存储内胆一侧均设有密封门以及另一侧均设有第一连接管与第二连接管，所述第二连接管设于第一连接管底部，所述第一连接管与第二连接管底部均设有密闭电磁阀，多个所述存储内胆外侧均设有肋片以及底部设有搁板，所述第一工作室内侧设有绝对压力变送器，所述第二工作室内部设有真空泵，所述真空泵一侧设有数字式电阻真空计，所述数字式电阻真空计一侧设有第一氧气含量分析仪，所述第一氧气含量分析仪一侧设有第二氧气含量分析仪，所述第二氧气含量分析仪一侧设有第三氧气含量分析仪，所述第三氧气含量分析仪一侧设有氮气接入管，所述氮气接入管上设有氮气接入阀，所述外壳侧面设有控制柜，所述控制柜内部设有触摸屏，所述触摸屏底部设有PLC控制器，所述外壳底部设有水平支撑架，所述水平支撑架底部设有移动脚轮。

优选的，所述外壳侧面设有门，所述门与外壳之间、密封门与存储内胆之间均设有硅橡胶密封条，所述硅橡胶密封条内部设有压力传感器，所述压力传感器型号设置为LPS25HBTR。

优选的，所述存储内胆由SUS3304拉丝不锈钢板制成，所述存储内胆内表面经过磨光处理，所述密封门上设有矩形观察窗，所述矩形观察窗由钢化玻璃材料制成。

优选的，所述第一工作室和第二连接管均通过管道与真空泵连接。

优选的，所述PLC控制器型号设置为FX-30-48RM，所述第一氧气含量分析仪、第二氧气含量分析仪和第三氧气含量分析仪型号均设置为GAXT-X，所述数字式电阻真空计型号设置为CVM-211，所述绝对压力变送器型号设置为SC3051AP。

优选的，所述数字式电阻真空计、第一氧气含量分析仪、第二氧气含量分析仪、第三氧气含量分析仪、绝对压力变送器和触摸屏均与PLC控制器电性连接。

本实用新型的技术效果和优点：1：本实用新型通过设有数字式电阻真空计，由于电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，所以本实用新型还设有PLC控制器对此非线性进行误差修正，从而提高了本实用新型中数字式电阻真空计的测量精度，使得本实用新型的实际使用效果更好；2：通过设有肋片，以便于增加内室承受压力的能力，从而提高本实用新型的使用效果，延长本实用新型的使用寿命，通过设有绝对压力变送器，以便于将外壳内部的气压效果通过绝对压力变送器进行显示，相较于传统设备显示精度更高；3：通过设有硅橡胶密封，以便于防止外壳内部氮气溢出，从而防止氮气污染工作环境，使得本实用新型具有人性化的环保意识，有效保护使用人员的身体健康。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的存储内胆侧视结构示意图。

图3为本实用新型的整体侧视结构示意图。

图中：1外壳、2第一工作室、3第二工作室、4存储内胆、5密封门、6第一连接管、7第二连接管、8密闭电磁阀、9肋片、10搁板、11真空泵、12数字式电阻真空计、13第一氧气含量分析仪、14第二氧气含量分析仪、15第三氧气含量分析仪、16氮气接入管、17氮气接入阀、18控制柜、19触摸屏、20 PLC控制器、21水平支撑架、22移动脚轮、23绝对压力变送器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳1，所述外壳1内部设有第一工作室2与第二工作室3，所述第二工作室3设于第一工作室2一侧，所述第一工作室2内部设有多个存储内胆4，多个所述存储内胆4一侧均设有密封门5以及另一侧均设有第一连接管6与第二连接管7，所述第二连接管7设于第一连接管6底部，所述第一连接管6与第二连接管7底部均设有密闭电磁阀8，多个所述存储内胆4外侧均设有肋片9以及底部设有搁板10，所述第一工作室2内侧设有绝对压力变送器23，所述第二工作室3内部设有真空泵11，所述真空泵11一侧设有数字式电阻真空计12，数字式电阻真空计12的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化，所述数字式电阻真空计12一侧设有第一氧气含量分析仪13，所述第一氧气含量分析仪13一侧设有第二氧气含量分析仪14，所述第二氧气含量分析仪14一侧设有第三氧气含量分析仪15，所述第三氧气含量分析仪15一侧设有氮气接入管16，所述氮气接入管16上设有氮气接入阀17，所述外壳1侧面设有控制柜18，所述控制柜18内部设有触摸屏19，所述触摸屏19底部设有PLC控制器20，所述外壳1底部设有水平支撑架21，所述水平支撑架21底部设有移动脚轮22。

所述外壳1侧面设有门，所述门与外壳1之间、密封门5与存储内胆4之间均设有硅橡胶密封条，所述硅橡胶密封条内部设有压力传感器，以便于当操作人员手动关闭密封门5,硅橡胶密封条内部的压力传感器检测到压力，PLC控制器20控制第一连接管6上的密闭电磁阀8关闭，第二连接管7上的密闭电磁阀8打开，真空泵11对当前存储内胆4进行抽真空，所述压力传感器型号设置为LPS25HBTR，所述存储内胆4由SUS3304拉丝不锈钢板制成，具有良好的强度与硬度，所述存储内胆4内表面经过磨光处理，所述密封门5上设有矩形观察窗，所述矩形观察窗由钢化玻璃材料制成，以便于操作人员观察存储内胆4内部，所述第一工作室2和第二连接管7均通过管道与真空泵11连接，所述PLC控制器20型号设置为FX-30-48RM，所述第一氧气含量分析仪13、第二氧气含量分析仪14和第三氧气含量分析仪15型号均设置为GAXT-X，所述数字式电阻真空计12型号设置为CVM-211，所述绝对压力变送器23型号设置为SC3051AP，所述数字式电阻真空计12、第一氧气含量分析仪13、第二氧气含量分析仪14、第三氧气含量分析仪15、绝对压力变送器23和触摸屏19均与PLC控制器20电性连接。

本实用新型工作原理：工作时，操作人员通过触摸屏19输入人工信息以及产品信息，然后PLC控制器20控制氮气接入阀17打开，外壳1内部破真空，外壳1上的门转动打开，然后PLC控制器20控制某个空闲的存储内胆4连接的第一连接管6上的密闭电磁阀8打开，当前存储内胆4破真空后自动打开，操作人员将物品放置在当前存储内胆4中，然后手动关闭密封门5,硅橡胶密封条内部的压力传感器检测到压力，PLC控制器20控制第一连接管6上的密闭电磁阀8关闭，第二连接管7上的密闭电磁阀8打开，真空泵11对当前存储内胆4进行抽真空，同理真空泵11再将第一工作室2进行抽真空，产品存储完毕，通过设有数字式电阻真空计12，由于电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，所以本实用新型还设有PLC控制器对此非线性进行误差修正，从而提高了本实用新型中数字式电阻真空计12的测量精度，使得本实用新型的实际使用效果更好。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内部设有第一工作室（2）与第二工作室（3），所述第二工作室（3）设于第一工作室（2）一侧，所述第一工作室（2）内部设有多个存储内胆（4），多个所述存储内胆（4）一侧均设有密封门（5）以及另一侧均设有第一连接管（6）与第二连接管（7），所述第二连接管（7）设于第一连接管（6）底部，所述第一连接管（6）与第二连接管（7）底部均设有密闭电磁阀（8），多个所述存储内胆（4）外侧均设有肋片（9）以及底部设有搁板（10），所述第一工作室（2）内侧设有绝对压力变送器（23），所述第二工作室（3）内部设有真空泵（11），所述真空泵（11）一侧设有数字式电阻真空计（12），所述数字式电阻真空计（12）一侧设有第一氧气含量分析仪（13），所述第一氧气含量分析仪（13）一侧设有第二氧气含量分析仪（14），所述第二氧气含量分析仪（14）一侧设有第三氧气含量分析仪（15），所述第三氧气含量分析仪（15）一侧设有氮气接入管（16），所述氮气接入管（16）上设有氮气接入阀（17），所述外壳（1）侧面设有控制柜（18），所述控制柜（18）内部设有触摸屏（19），所述触摸屏（19）底部设有PLC控制器（20），所述外壳（1）底部设有水平支撑架（21），所述水平支撑架（21）底部设有移动脚轮（22）。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述外壳（1）侧面设有门，所述门与外壳（1）之间、密封门（5）与存储内胆（4）之间均设有硅橡胶密封条，所述硅橡胶密封条内部设有压力传感器，所述压力传感器型号设置为LPS25HBTR。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述存储内胆（4）由SUS3304拉丝不锈钢板制成，所述存储内胆（4）内表面经过磨光处理，所述密封门（5）上设有矩形观察窗，所述矩形观察窗由钢化玻璃材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述第一工作室（2）和第二连接管（7）均通过管道与真空泵（11）连接。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述PLC控制器（20）型号设置为FX-30-48RM，所述第一氧气含量分析仪（13）、第二氧气含量分析仪（14）和第三氧气含量分析仪（15）型号均设置为GAXT-X，所述数字式电阻真空计（12）型号设置为CVM-211，所述绝对压力变送器（23）型号设置为SC3051AP。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述数字式电阻真空计（12）、第一氧气含量分析仪（13）、第二氧气含量分析仪（14）、第三氧气含量分析仪（15）、绝对压力变送器（23）和触摸屏（19）均与PLC控制器（20）电性连接。