CN207525333U - 一种适用真空镀膜机的翻板阀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。本实用新型实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

Description

一种适用真空镀膜机的翻板阀装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤指一种适用真空镀膜机的翻板阀装置。

背景技术

由于由于冷冻线圈前置，使其在常态下必须与空气隔开，随即翻板阀装置应运而生。

翻板阀的目的在于在真空室交替门工作的时候，为了能够让超级冷冻机不停歇的工作，达到节约时间的目的，将冷冻线圈与大气隔开。翻板阀的另一个目的，也在于和前置初阀的配合下，保护高真空腔体不受污染。在前处理的时候，只需低真空状态就可以完成的工艺，会往腔体内注入适量硅油气体，此时只需打开初阀，而翻板阀处于关闭状态，这样多余的硅油就不会污染高真空腔体，为以后的设备保养省时省力。现有技术中，主要通过旋转气缸来实现翻板阀的启闭，但这种传动方式在气缸出现断电或断气的时候，会出现翻板阀卡死的现象，导致真空室和主阀腔之间无法导通，不便于后续的维护和维修工作，给真空镀膜机的后期维护和维修带来很大的不便。

因此，本实用新型致力于提供一种适用真空镀膜机的翻板阀装置。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：

用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；

所述阀板结构包括用于导通或封闭所述真空室与所述主阀腔的阀板；

用于带动所述阀板转动的转轴机构；

以及，用于驱动所述转轴机构的驱动机构，所述驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；

所述驱动部件通过所述齿轮齿条传动组件带动所述阀板转动。

本技术方案中，通过齿轮齿板驱动转轴机构进而带动阀板的启闭的传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；因为采用齿轮齿条传动非常灵活精密，因而各部件拆卸十分简单，方便维护和更换各种部件；由于传动方式为齿轮齿条传动，因此，即使驱动部件因故停工，阀板也可通过人工方式将其进行打开，使得真空室和主阀腔之间实行导通，不会出现阀板卡死等不良现象，大大简化了本装置后期的维护和维修工作；且齿轮和齿条传动的方式可精确调整阀板的开度，且转轴机构使得本装置无需精密调节并可实现阀板与真空室(或主阀腔)的良好密封效果。且本装置的设置，使得真空室和主阀腔只有在必要的时候才导通，而在非必要时候处于封闭的状态，从而保护了特别是真空室存在工质气体(如硅油等)时，有效避免了该工质气体进入主阀腔内从而污染设置于主阀腔内的冷冻线圈、主阀气缸主轴等，从而保证了主阀腔与冷冻线圈的洁净，进而避免了主阀腔内的打磨、清扫等保养工作；并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

进一步优选地，所述转轴机构包括主旋转轴、悬架以及支撑块；所述主旋转轴与所述齿轮齿条传动组件连接；所述支撑块设于所述阀板的表面上；所述主旋转轴通过所述悬架与所述支撑块连接。

本技术方案中，主旋转轴通过悬架和支撑块来实现阀板与真空室和主阀腔之间的导通或封闭，由于支撑块设置在阀板上，使得阀板不是直接通过主旋转轴直接实现阀板的转动，而是通过悬架将其中一部分的力矩传递到支撑块，从而使得阀板在主旋转轴带动下，进一步通过支撑块的压力来实现阀板的启闭，从而大大加大了阀板的受力点，使得阀板的受力更为均匀，进而实现阀板的良好密封性能及其启闭动作的及时性和精准性。

进一步优选地，所述转轴机构还包括次旋转轴和轴承；所述支撑块为两个，包括第一支撑块和第二支撑块；所述悬架为两个，包括第一悬架和第二悬架；所述次旋转轴与所述主旋转轴平行设置，且所述旋转轴的两端分别贯穿所述第一支撑块和第二支撑块后，分别与所述第一悬架和所述第二悬架连接；所述轴承套设于所述旋转轴的外侧，并安装于所述支撑块。

本技术方案中，通过次旋转轴来实现悬架之间的连接，使得主旋转轴在旋转的过程中带动次旋转轴自适性的旋转，便于阀板在开启或封闭时的自动找位和定位，从而保证阀板转动时的自适性以及自动调整性能；且多数量的支撑块以及悬架的设置，保证了本装置连接、动作到位等可靠性、机械强度等；更优的，为了延长次旋转轴的使用寿命，本装置还通过轴承来承担其力矩，从而保护次旋转轴。

进一步优选地，所述转轴机构还包括用于限制所述次旋转轴沿垂直于所述主旋转轴的轴线方向上的位移的限位组件，所述限位组件安装于所述阀板的表面上，并设于所述第一支撑块和所述第二支撑块之间。

本技术方案中，为了保证阀板与真空室的密封性能，因此通过限位组件对次旋转轴进行限位，使得次旋转轴在被动旋转的同时还保证了阀板与真空室的良好密封性能。

进一步优选地，所述限位组件包括支撑座、第一限位块和第二限位块；所述支撑座设于所述阀板的表面；所述第一限位块和所述第二限位块设于所述支撑座，并沿垂直于所述主旋转轴的轴线方向上分布，使得所述次旋转轴设于所述第一限位块和所述第二限位块之间。

进一步优选地，所述阀板结构设有两个。

本技术方案中，将阀板结构设置成两个，大大降低了转轴机构转动阀板时的力矩，进而大大降低了驱动部件的动力输出，使得本装置的阀板的启闭动作更易于实现和控制，且两个阀板的设置使得真空室和主阀腔之间的开度得到有效的控制，即可同时开两个阀板，也可指开一个阀板；根据实际情况进行调整。

进一步优选地，还包括：设置于所述真空室和所述主阀腔之间的阀框组件，所述阀框组件包括阀框和固定块；所述阀框设有两个与所述阀板相适配的门洞，两个所述门洞之间设有隔板；所述固定块设于所述阀框上；所述转轴机构轴接于所述固定块上。

本技术方案中，阀板结构中的转轴机构设置在阀框上，从而通过阀板启闭设置在阀框上的门洞，进而实现真空室和主阀腔之间的导通或封闭，大大简化了本装置的安装复杂度以及加工难度。

进一步优选地，所述驱动部件为气缸；所述齿轮齿条传动组件包括齿轮和齿条板；所述齿条板与所述气缸的推杆连接；所述齿轮与所述转轴机构的主旋转轴连接；所述齿条板与所述齿轮啮合。

本技术方案中，气缸的动作精准度高且价格低廉，从而降低本装置制作成本。

进一步优选地，所述阀板结构为铝材；和/或，所述阀板靠近所述真空室一侧的表面设有内衬，所述内衬与所述阀板可拆卸式连接；和/或，所述转轴机构与所述阀板可拆卸式连接。

本技术方案中，本装置通过铝材制成，从而大大降低了本装置的重量以及制造成本，进而使得本装置的安装、维护变得更为便利。

本技术方案中，由于真空室内会因其加工的部件不同，有的部件需要加入工质气体，有的部件不需要加入工质气体，这样当真空镀膜机在加工需要加入工质气体的部件后，再加工不需要加入工质气体的部件时，由于工质气体的残留，会影响后续加工的部件的成品质量，因此，需要对真空室进行清扫、打磨等工序，使用非常不便力，因此，本装置通过在阀板靠近真空室一侧的表面设置可拆卸的内衬，使得真空镀膜机在更换加工部件的时候，只需将内衬进行更换或拆卸，便可继续加工下一个部件，极大缩短了真空镀膜机的加工流程和维护工序，从而大大提高了真空镀膜机的工作效率。

本技术方案中，为了便于本装置使用过程中的维护、维修、更换，转轴机构与阀板可拆卸式连接。

本实用新型提供的一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，能够带来以下至少一种有益效果：

1、本实用新型中，传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；因为采用齿轮齿条传动非常灵活精密，因而各部件拆卸十分简单，方便维护和更换各种部件；由于传动方式为齿轮齿条传动，因此，即使驱动部件因故停工，阀板也可通过人工方式将其进行打开，使得真空室和主阀腔之间实行导通，不会出现阀板卡死等不良现象，大大简化了本装置后期的维护和维修工作；且齿轮和齿条传动的方式可精确调整阀板的开度，且转轴机构使得本装置无需精密调节并可实现阀板与真空室(或主阀腔)的良好密封效果。且本装置的设置，使得真空室和主阀腔只有在必要的时候才导通，而在非必要时候处于封闭的状态，从而保护了特别是真空室存在工质气体(如硅油等)时，有效避免了该工质气体进入主阀腔内从而污染设置于主阀腔内的冷冻线圈、主阀气缸主轴等，从而保证了主阀腔与冷冻线圈的洁净，进而避免了主阀腔内的打磨、清扫等保养工作；并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。

2、本实用新型中，主旋转轴通过悬架和支撑块来实现阀板与真空室和主阀腔之间的导通或封闭，由于支撑块设置在阀板上，使得阀板不是直接通过主旋转轴直接实现阀板的转动，而是通过悬架将其中一部分的力矩传递到支撑块，从而使得阀板在主旋转轴带动下，进一步通过支撑块的压力来实现阀板的启闭，从而大大加大了阀板的受力点，使得阀板的受力更为均匀，进而实现阀板的良好密封性能及其启闭动作的及时性和精准性。

3、本实用新型中，通过次旋转轴来实现悬架之间的连接，使得主旋转轴在旋转的过程中带动次旋转轴自适性的旋转，便于阀板在开启或封闭时的自动找位和定位，从而保证阀板转动时的自适性以及自动调整性能；且多数量的支撑块以及悬架的设置，保证了本装置连接、动作到位等可靠性、机械强度等；更优的，为了延长次旋转轴的使用寿命，本装置还通过轴承来承担其力矩，从而保护次旋转轴。

4、本实用新型中，将阀板结构设置成两个，大大降低了转轴机构转动阀板时的力矩，进而大大降低了驱动部件的动力输出，使得本装置的阀板的启闭动作更易于实现和控制，且两个阀板的设置使得真空室和主阀腔之间的开度得到有效的控制，即可同时开两个阀板，也可指开一个阀板；根据实际情况进行调整。

附图说明

下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对适用真空镀膜机的翻板阀装置的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。

图1是本实用新型的第一种实施例的主视图结构示意图；

图2是本实用新型的第二种实施例的结构示意图。

附图标号说明：

11.阀板，121.主旋转轴，122.悬架，123.支撑块，124.次旋转轴，125.轴承，126.限位组件，1261.支撑座，1262.第一限位块，1263.第二限位块，127.联轴器，131.阀框，1311.安装孔，1312.隔板，132.固定块，141.气缸，142.齿轮，143.罩壳，144.安装座，145.推杆。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

为使图面简洁，各图中的只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。在本文中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。在本文中，上、下、左和右是指所描述的附图的上、下、左和右，并不完全代表实际情况。

在实施例一中，如图1和2所示，一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室(图中未标示)和主阀腔(图中未标示)之间的阀板结构(图中未标示)；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板11；用于带动阀板11转动的转轴机构(图中未标示)；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构(图中未标示)，驱动机构包括驱动部件(图中未标示)和齿轮齿条传动组件(图中未标示)；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板11转动。

在实施例二中，如图1和2所示，在实施例一的基础上，转轴机构包括主旋转轴121、悬架122以及支撑块123；主旋转轴121与齿轮齿条传动组件连接；支撑块123设于阀板11的表面上；主旋转轴121通过悬架122与支撑块123连接。进一步优选地，转轴机构还包括次旋转轴124和轴承125；支撑块123为两个，包括第一支撑块(图中未标示)和第二支撑块(图中未标示)；悬架122为两个，包括第一悬架(图中未标示)和第二悬架(图中未标示)；次旋转轴124与主旋转轴121平行设置，且旋转轴的两端分别贯穿第一支撑块和第二支撑块后，分别与第一悬架和第二悬架连接；轴承125套设于旋转轴的外侧，并安装于支撑块123上。

在实施例三中，如图1和2所示，在实施例一或二的基础上，还包括设置于真空室和主阀腔之间的阀框组件(图中未标示)，阀框组件包括阀框131和固定块132；阀框131设有与阀板11相适配的门洞(图中未标示)；固定块132设于阀框131上；转轴机构轴接于固定块132上。在实际应用中，通过阀框131实现了真空室和主阀腔之间隔断，且通过阀板11启闭阀框131上与其相适配的门洞，进而实现真空室与主阀腔之间的导通和关闭。优选地，阀框131可拆卸式设于真空室内，即通过设置在其上的安装孔1311实现阀框131与真空室之间的可拆卸式连接，且固定块132沿上下方向分别设置在阀框131的边缘处，且位于下方的固定块132的上表面开有槽(图中未标示)，使得主旋转轴121的下端轴接于下面的固定块132上，而主旋转轴121的上端贯穿上方的固定块132后与齿轮齿条传动组件连接。进一步优选地，齿轮齿条传动组件包括齿轮142和齿条板(图中未标示)；齿条板与驱动部件连接；齿轮142与主旋转轴121的上端连接；齿条板与齿轮142啮合。进一步优选地，齿轮142包括与齿条板啮合的齿轮部(图中未标示)以及设于齿轮部中部的轴部(图中未标示)；其中轴部由齿轮部的下表面向下方延展形成，且轴部通过联轴器127与主旋转轴121可拆卸式连接，当然，齿轮142与主旋转轴121也可一体成型。进一步优选地，驱动部件为气缸141，且齿条板与气缸141的推杆145连接，从而使得气缸141的推杆145在做往复运动的时候，带动齿条板做往复运动，由于齿条板与齿轮142啮合，从而齿轮142将气缸141的推杆145的直线运动转换为转动运动，从而实现主旋转轴121的转动，进而实现阀板11的开启和关闭，进而实现真空室与主阀腔之间的导通或封闭关系的切换。当然，值得指出的是，驱动部件也可为电机，但电机的成本比较高，因此，本装置优选气缸141作为其驱动部件。且驱动机构优选设置在阀板11的上方，并通过安装座144进行安装。进一步优选地，齿轮齿条传动组件的外侧套设有罩壳143，避免外部的水、灰尘或工质气体等进入齿轮齿条传动组件的内部而影响其传动性能。

值得指出的是，阀框131上的门洞可根据阀板结构来进行设置，当阀板结构为一个时，此时，阀框131上的门洞为一个；当阀板结构设有两个时，阀框131上的门洞可为一个，且在真空室和主阀腔处于封闭状态时，两个阀板11在其接触处为密封接合；当阀板结构设有两个时，阀框131上的门洞可为两个，且该两个门洞之间通过隔板1312间隔设置，此时，阀板11与与之对应设置的门洞相匹配。

在实施例四中，如图1和2所示，在实施例二或三的基础上，转轴机构还包括用于限制次旋转轴124沿垂直于主旋转轴121的轴线方向上的位移的限位组件126，限位组件126安装于阀板11的表面上，并设于第一支撑块和第二支撑块之间。优选地，限位组件126包括支撑座1261、第一限位块1262和第二限位块1263；支撑座1261设于阀板11的表面；第一限位块1262和第二限位块1263设于支撑座1261，并沿垂直于主旋转轴121的轴线方向上分布，使得次旋转轴124设于第一限位块1262和第二限位块1263之间。

在实际应用中，由于次旋转轴124距离阀板11的表面具有一定的距离，因此，支撑座1261优选通过两根螺纹杆固定在阀板11上，使得两根螺纹杆、支撑座1261以及阀板11围设形成一容置空间，此时，次旋转轴124可贯穿该容置空间，使得次旋转轴124只能在该容置空间内活动，从而限制阀板11的开度的同时还对次旋转轴124的位移进行了有效的限制，此时两根螺纹杆分别形成了第一限位块1262和第二限位块1263；当然，次旋转轴124也可放置在支撑座1261远离该容置空间一侧的表面，此时，两根螺纹杆均贯穿支撑座1261并在靠近次旋转轴124的端部套设有螺母，此时套设有螺母的螺纹杆形成了第一限位块1262和第二限位块1263。值得指出的是，第一限位块1262和第二限位块1263也可只为两根固定在阀板11上螺纹杆或是杆状结构。且限位组件126可设置在第一支撑块和第二支撑块之间，也可设置在之外。

在实施例五中，如图1和2所示，在实施例一、二、三或四的基础上，阀板结构为铝材；进一步优选地，阀板11靠近真空室一侧的表面设有内衬(图中未标示)，内衬与阀板11可拆卸式连接，优选地，内衬围设于阀板11靠近真空室一侧的表面，以及四周侧壁，且内衬优选为钢板；进一步优选地，转轴机构与阀板11可拆卸式连接。进一步优选地，阀板11于真空室内活动，且其与阀框131的接触处为凹凸配合结构，即，阀框131朝向主阀腔一侧凹陷形成阶梯状的凹槽(图中未标示)，而阀板11靠近阀框131一侧的边缘为与凹槽相适配的凸台结构(图中未标示)。

在实施例六中，如图1和2所示，一种真空镀膜机，包括：机体(图中未标示)，机体上设有真空室(图中未标示)和主阀腔(图中未标示)；其中，上述任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置设于真空室和主阀腔之间，并用于导通或封闭真空室和主阀腔；主阀腔内设有冷冻线圈(图中未标示)。优选地，阀板11于真空室内转动，进一步优选地，真空室的内壁设有内衬(图中未标示)，该内衬与真空室的内壁可拆卸式连接。

应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于，包括：

用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；

所述阀板结构包括用于导通或封闭所述真空室与所述主阀腔的阀板；

用于带动所述阀板转动的转轴机构；

以及，用于驱动所述转轴机构的驱动机构，所述驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；

所述驱动部件通过所述齿轮齿条传动组件带动所述阀板转动。

2.根据权利要求1所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述转轴机构包括主旋转轴、悬架以及支撑块；

所述主旋转轴与所述齿轮齿条传动组件连接；

所述支撑块设于所述阀板的表面上；

所述主旋转轴通过所述悬架与所述支撑块连接。

3.根据权利要求2所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述转轴机构还包括次旋转轴和轴承；

所述支撑块为两个，包括第一支撑块和第二支撑块；

所述悬架为两个，包括第一悬架和第二悬架；

所述次旋转轴与所述主旋转轴平行设置，且所述旋转轴的两端分别贯穿所述第一支撑块和第二支撑块后，分别与所述第一悬架和所述第二悬架连接；

所述轴承套设于所述旋转轴的外侧，并安装于所述支撑块。

4.根据权利要求3所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述转轴机构还包括用于限制所述次旋转轴沿垂直于所述主旋转轴的轴线方向上的位移的限位组件，

所述限位组件安装于所述阀板的表面上，并设于所述第一支撑块和所述第二支撑块之间。

5.根据权利要求4所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述限位组件包括支撑座、第一限位块和第二限位块；

所述支撑座设于所述阀板的表面；

所述第一限位块和所述第二限位块设于所述支撑座，并沿垂直于所述主旋转轴的轴线方向上分布，使得所述次旋转轴设于所述第一限位块和所述第二限位块之间。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述阀板结构设有两个。

7.根据权利要求6所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于，还包括：

设置于所述真空室和所述主阀腔之间的阀框组件，所述阀框组件包括阀框和固定块；

所述阀框设有两个与所述阀板相适配的门洞，两个所述门洞之间设有隔板；

所述固定块设于所述阀框上；

所述转轴机构轴接于所述固定块上。

8.根据权利要求1-5任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述驱动部件为气缸；

所述齿轮齿条传动组件包括齿轮和齿条板；

所述齿条板与所述气缸的推杆连接；

所述齿轮与所述转轴机构的主旋转轴连接；

所述齿条板与所述齿轮啮合。

9.根据权利要求1-5或7任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置，其特征在于：

所述阀板结构为铝材；

和/或，

所述阀板靠近所述真空室一侧的表面设有内衬，所述内衬与所述阀板可拆卸式连接；

和/或，

所述转轴机构与所述阀板可拆卸式连接。

10.一种真空镀膜机，其特征在于，包括：

上述权利要求1-9任意一项所述的适用真空镀膜机的翻板阀装置；以及，冷冻线圈；

所述冷冻线圈放置于主阀腔内；

所述翻板阀装置设于真空室和所述主阀腔之间，并导通或封闭所述真空室和所述主阀腔。