CN207503950U - 一种用于晶圆加工的轴心定位工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆加工的轴心定位工装，包括：载片台、导向杆组、滑块、滑套、螺纹块、驱动丝杆、驱动电机、立柱，所述的载片台为圆形平台，载片台的直径小于加工晶圆的直径，所述的导向杆组为两组，两组导向杆组对称设置在载片台的下端面，所述的滑块通过滑套滑动连接在导向杆组上，其中单个导向杆组上对称设置有两个滑块，所述的螺纹块与同侧的两个滑块固接，所述的驱动丝杆两端通过轴承座安装，驱动丝杆通过螺纹与螺纹块连接，两个螺纹块对称设置，驱动丝杆两端的螺纹方向相反，所述的驱动电机的输出轴与驱动丝杆固接，所述的立柱固接在滑块上部。本实用新型具有结构简单、减小劳动成本、定位准确等优点。

Description

一种用于晶圆加工的轴心定位工装

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种用于晶圆加工的轴心定位工装。

背景技术

光刻涂胶工艺是将晶圆放置在光刻涂胶机的载片台上，液态光刻胶滴在晶圆中心，载片台带动晶圆高速旋转，光刻胶依靠离心力向外扩展，均匀涂布在晶圆表面的工艺。晶圆中心和载片台中心必须高度重合，以确保晶圆表面的光刻胶厚度均匀一致，没有晕圈慧尾等现象，从而保证图形能够精确转移。

在生产过程中，采用手动对准晶圆中心和载片台中心时，很难保证两个中心的完全重合，从而影响了所涂覆的光刻胶厚度的均匀性，工艺稳定性无法保证，并且手动对准过程需要反复调整晶圆位置，确认是否对准，耗时较久，工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆加工的轴心定位工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆加工的轴心定位工装，包括：载片台、导向杆组、滑块、滑套、螺纹块、驱动丝杆、驱动电机、立柱，所述的载片台为圆形平台，载片台的直径小于加工晶圆的直径，所述的导向杆组为两组，两组导向杆组对称设置在载片台的下端面，所述的滑块通过滑套滑动连接在导向杆组上，其中单个导向杆组上对称设置有两个滑块，所述的螺纹块与同侧的两个滑块固接，所述的驱动丝杆两端通过轴承座安装，驱动丝杆通过螺纹与螺纹块连接，两个螺纹块对称设置，驱动丝杆两端的螺纹方向相反，所述的驱动电机的输出轴与驱动丝杆固接，所述的立柱固接在滑块上部。

进一步的，所述的立柱为光滑材料制成，且立柱的直径自上而下逐渐减小。

进一步的，所述的导向杆组之间的距离可根据晶圆的大小进行调整。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.结构简单、造价低廉；

2.取代人工，减小劳动成本；

3.定位准确，使用效果好。

本实用新型具有结构简单、减小劳动成本、定位准确等优点。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型的侧视结构示意图；

图中：1-载片台；2-导向杆组；3-滑块；4-滑套；5-螺纹块；6-驱动丝杆；7-驱动电机；8-立柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、2，本实用新型提供了一种用于晶圆加工的轴心定位工装，包括：载片台1、导向杆组2、滑块3、滑套4、螺纹块5、驱动丝杆6、驱动电机7、立柱8，所述的载片台1为圆形平台，载片台1的直径小于加工晶圆的直径，所述的导向杆组2为两组，两组导向杆组2对称设置在载片台1的下端面，所述的滑块3通过滑套4滑动连接在导向杆组2上，其中单个导向杆组2上对称设置有两个滑块3，所述的螺纹块5与同侧的两个滑块3固接，所述的驱动丝杆6两端通过轴承座安装，驱动丝杆6通过螺纹与螺纹块5连接，两个螺纹块5对称设置，驱动丝杆6两端的螺纹方向相反，所述的驱动电机7的输出轴与驱动丝杆6固接，所述的立柱8固接在滑块3上部。

进一步的，所述的立柱8为光滑材料制成，且立柱8的直径自上而下逐渐减小。直径自上而下逐渐减小的立柱8可将晶圆仅仅压紧到载片台1上。

进一步的，所述的导向杆组2之间的距离可根据晶圆的大小进行调整。

工作原理：本实用新型提供了一种用于晶圆加工的轴心定位工装，具体使用时，将晶圆放置到载片台1上，进行初步的调整，启动驱动电机7，带动驱动丝杆6转动，从而驱动螺纹块5，由于驱动丝杆6两端的螺纹方向相反，四个立柱8会向内运动，由于导向杆组2是对称设置的，且螺纹块5也是对称设置的，四个立柱8会将晶圆固定，固定后，晶圆的圆心与载片台1圆心重叠。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种用于晶圆加工的轴心定位工装，包括：载片台(1)、导向杆组(2)、滑块(3)、滑套(4)、螺纹块(5)、驱动丝杆(6)、驱动电机(7)、立柱(8)，其特征在于：所述的载片台(1)为圆形平台，载片台(1)的直径小于加工晶圆的直径，所述的导向杆组(2)为两组，两组导向杆组(2)对称设置在载片台(1)的下端面，所述的滑块(3)通过滑套(4)滑动连接在导向杆组(2)上，其中单个导向杆组(2)上对称设置有两个滑块(3)，所述的螺纹块(5)与同侧的两个滑块(3)固接，所述的驱动丝杆(6)两端通过轴承座安装，驱动丝杆(6)通过螺纹与螺纹块(5)连接，两个螺纹块(5)对称设置，驱动丝杆(6)两端的螺纹方向相反，所述的驱动电机(7)的输出轴与驱动丝杆(6)固接，所述的立柱(8)固接在滑块(3)上部。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的轴心定位工装，其特征在于：所述的立柱(8)为光滑材料制成，且立柱(8)的直径自上而下逐渐减小。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的轴心定位工装，其特征在于：所述的导向杆组(2)之间的距离可根据晶圆的大小进行调整。