CN207498464U - 一种真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀室中。本实用新型在真空镀膜机中增加深冷泵，将深冷泵中的冷凝盘管安装在与真空腔体相连通的高阀中，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空腔体中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并且能获得洁净的真空环境，提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

Description

一种真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机。

背景技术

现有真空镀膜机抽气系统主要由机械泵、罗茨泵、油扩散泵/分子泵组成，实行分级抽真空。

对于使用油扩散泵的镀膜机在高真空环境中都存在着一定的残余气体，其中大部分为水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，造成其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响，影响了产品质量和生产效率

因此，上述技术问题需要解决。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提出一种真空镀膜机，在真空抽气系统中加入深冷泵，提高抽气速度和产品质量。

为了解决上述的技术问题，本实用新型提出的基本技术方案为：

一种真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；所述冷凝盘管包括加热除霜装置。

其中，所述冷凝盘管呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管的线圈结构不小于三圈。

其中，所述高阀腔体的一端与所述真空腔体通过管道相连，另一端与高阀连接。

所述真空镀膜机还包括油扩散泵，所述高阀腔体与所述油扩散泵通过高阀连接。

其中，所述冷凝盘管安装在所述高阀和所述真空腔体之间。

其中，所述冷凝盘管为铜管。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供一种真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中。本实用新型在真空镀膜机中增加深冷泵，将深冷泵中的冷凝盘管安装在与真空腔体相连通的高阀腔体中，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空腔体中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并且能获得洁净的真空环境，提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例提供的一种真空镀膜机的结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				1	真空腔体	2	深冷泵
3	冷凝盘管	4	高阀腔体
				5	油扩散泵	6	高阀

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示) 下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

参照图1，本实施例提供一种真空镀膜机，包括真空腔体1和深冷泵2，所述深冷泵2包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管3，所述冷凝盘管3安装在与所述真空腔体1通过管道连通的高阀腔体4中。

本实施例中，所述冷凝盘管3呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管3的线圈结构不小于三圈。

本实施例中，所述高阀腔体4的一端与所述真空腔体1通过管道相连，另一端与高阀连接。

本实施例中的真空镀膜机还包括油扩散泵4，所述高阀腔体4与所述油扩散泵5通过高阀6连接。附图1中高阀6的位置仅为示意，可根据实际情况调整，主要作为油扩散泵5抽取高阀腔体4及真空腔体1中的气体和水汽的阀门。

本实施例中，通过油扩散泵5抽走真空腔体1中的气体，气体的流向依次为真空腔体1、高阀腔体4、高阀6、油扩散泵5，高阀腔体4中的冷凝盘管3 能快速吸附流动的气体和水汽，加快真空抽气的速度，同时提高了真空的洁净度，使得产品质量更高。

具体的，所述冷凝盘管3安装在所述高阀6和所述真空腔体1之间。

优选的，所述冷凝盘管3为铜管；所述冷凝盘管3包括加热除霜装置。本实施例中，冷凝盘管3需要有加热除霜装置，使冷凝盘管3在每次开门之前恢复到常温，避免低温的冷凝盘管3从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。

另一优选的，在真空镀膜机不工作时，在冷凝盘管3的表面设置一密闭的钟罩，将冷凝盘管3置于密闭空间内，避免外界大气中的水分进入到冷凝盘管 3进行冷凝，可有效实现冷凝盘管3除霜的目的。其中，钟罩的材料为玻璃或是金属。

本实施例中，在真空镀膜机中增加深冷泵2，将深冷泵2中的冷凝盘管3 安装在与真空腔体1通过管道相连的高阀腔体4中；深冷泵2的工作原理是将一个能到-120℃以下的冷凝盘管3，放置在高阀腔体4中，且位于油扩散泵5 的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空腔体中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并且能获得洁净的真空环境，提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括真空腔体(1)和深冷泵(2)，所述深冷泵(2)包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管(3)，所述冷凝盘管(3)安装在与所述真空腔体(1)通过管道连通的高阀腔体(4)中；所述冷凝盘管(3)包括加热除霜装置。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述冷凝盘管(3)呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管(3)的线圈结构不小于三圈。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述高阀腔体(4)的一端与所述真空腔体(1)通过管道相连，另一端与高阀(6)连接。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，还包括油扩散泵(5)，所述高阀腔体(4)与所述油扩散泵(5)通过高阀(6)连接。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于，所述冷凝盘管(3)安装在所述高阀(6)和所述真空腔体(1)之间。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述冷凝盘管(3)为铜管。