CN207489820U - 一种炉管机台 - Google Patents
一种炉管机台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207489820U CN207489820U CN201721592271.6U CN201721592271U CN207489820U CN 207489820 U CN207489820 U CN 207489820U CN 201721592271 U CN201721592271 U CN 201721592271U CN 207489820 U CN207489820 U CN 207489820U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boiler tube
- tube board
- board according
- air valve
- alarm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Respiratory Apparatuses And Protective Means (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种炉管机台，包括上半部的炉管加热器和下半部的反应腔；所述炉管加热器内设置有带圆形顶部的柱形腔；所述柱形腔的外侧面设置有烟雾感应器，所述烟雾感应器与报警器连接。本实用新型的炉管机台通过在炉管加热器外侧面设置烟雾感应器，能检测到炉管加热器区域的温度变化和烟尘量变化，在炉管机台出现温度异常或烟雾异常时能马上感应到，并向可编程逻辑控制器PLC发送信号，PLC将信号发送给报警器报警，使工作人员第一时间察觉到异常，减少设备损失。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种炉管机台。
背景技术
从目前的机台设计来看，在炉管加热器部分是没有温度感应装置的，如果炉管加热器内发生燃烧是无法被机台自身检测到，很容易造成机台的损坏和财产的损失。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能检测到炉管加热器温度异常的炉管机台。
本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：
一种炉管机台，包括上半部的炉管加热器和下半部的反应腔；所述炉管加热器内设置有带圆形顶部的柱形腔；所述柱形腔的外侧面设置有烟雾感应器，所述烟雾感应器与报警器连接。
为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：
优选的，还包括可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器分别与烟雾感应器和报警器连接。
优选的，所述炉管加热器为石英加热管。
更优选的，所述反应腔底部侧面设置有进气口。
更优选的，所述进气口设置有特气阀。
更优选的，所述特气阀为波纹管式特气阀。
更优选的，所述特气阀为膜片式特气阀。
更优选的，所述特气阀为金属膜片式特气阀。
优选的，所述可编程逻辑控制器和报警器均设置在炉管机台外部。
优选的，所述反应腔内设置有石英舟。
本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
本实用新型的炉管机台通过在炉管加热器外侧面设置烟雾感应器，能检测到炉管加热器区域的温度变化和烟尘量变化，在炉管机台出现温度异常或烟雾异常时能马上感应到，并向可编程逻辑控制器(PLC，Programmable Logic Controller)发送信号，PLC将信号发送给报警器报警，使工作人员第一时间察觉到异常，减少设备损失。
附图说明
图1为本实用新型的一种优选实施例的炉管机台的结构示意图；
图2为本实用新型的一种优选实施例的炉管机台的结构示意图；
其中的附图标记为：
1炉管加热器；2加热腔；3报警器；4可编程逻辑控制器；5石英舟；11柱形腔；12烟雾感应器；21进气口；22特气阀。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。
如图1所示，本实用新型的炉管机台，包括上半部的炉管加热器1和下半部的反应腔2；所述炉管加热器1内设置有带圆形顶部的柱形腔11；所述柱形腔11的外侧面设置有烟雾感应器12，所述烟雾感应器12与报警器3连接。
进一步的，在一种较佳的实施例中，还包括可编程逻辑控制器4，所述可编程逻辑控制器4分别与烟雾感应器12和报警器3连接。
再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述炉管加热器1为石英加热管。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述反应腔2底部侧面设置有进气口21。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述进气口21设置有特气阀22。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述特气阀22为波纹管式特气阀。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述特气阀22为膜片式特气阀。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述特气阀22为金属膜片式特气阀。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述可编程逻辑控制器4和报警器3均设置在炉管机台外部。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述反应腔2内设置有石英舟5。
更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述烟雾感应器12也可以为温度感应器。
本实用新型的炉管机台的使用方法为：
将石英舟上放置好晶圆，推入所述开启进气口21处的特气阀22，充入反应气体，晶圆反应时开启烟雾感应器12，实时感应烟雾，如有烟雾时，烟雾感应器12感应到烟雾，直接发送信号给报警器3或者发送信号给可编程逻辑控制器4(PLC，Programmable LogicController)，PLC接收到信号后发送信号给报警器3，报警器3接收到信号后报警，警示工作人员烟雾异常。工作人员再关闭电源和特气阀，以防更大的损失。
综上所述，本实用新型的炉管机台通过在炉管加热器外侧面设置烟雾感应器，能检测到炉管加热器区域的温度变化和烟尘量变化，在炉管机台出现温度异常或烟雾异常时能马上感应到，并向可编程逻辑控制器PLC发送信号，PLC将信号发送给报警器报警，使工作人员第一时间察觉到异常，减少设备损失。
以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。
Claims (10)
1.一种炉管机台，其特征在于：包括上半部的炉管加热器(1)和下半部的反应腔(2)；所述炉管加热器(1)内设置有带圆形顶部的柱形腔(11)；所述柱形腔(11)的外侧面设置有烟雾感应器(12)，所述烟雾感应器(12)与报警器(3)连接。
2.根据权利要求1所述的炉管机台，其特征在于：还包括可编程逻辑控制器(4)，所述可编程逻辑控制器(4)分别与烟雾感应器(12)和报警器(3)连接。
3.根据权利要求1或2所述的炉管机台，其特征在于：所述炉管加热器(1)为石英加热管。
4.根据权利要求1或2所述的炉管机台，其特征在于：所述反应腔(2)底部侧面设置有进气口(21)。
5.根据权利要求4所述的炉管机台，其特征在于：所述进气口(21)设置有特气阀(22)。
6.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于：所述特气阀(22)为波纹管式特气阀。
7.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于：所述特气阀(22)为膜片式特气阀。
8.根据权利要求7所述的炉管机台，其特征在于：所述特气阀(22)为金属膜片式特气阀。
9.根据权利要求2所述的炉管机台，其特征在于：所述可编程逻辑控制器(4)和报警器(3)均设置在炉管机台外部。
10.根据权利要求1或2所述的炉管机台，其特征在于：所述反应腔(2)内设置有石英舟(5)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721592271.6U CN207489820U (zh) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 一种炉管机台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721592271.6U CN207489820U (zh) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 一种炉管机台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207489820U true CN207489820U (zh) | 2018-06-12 |
Family
ID=62471325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721592271.6U Active CN207489820U (zh) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 一种炉管机台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207489820U (zh) |
-
2017
- 2017-11-24 CN CN201721592271.6U patent/CN207489820U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206310919U (zh) | 一种陶瓷金属化气氛烧结炉 | |
| CN207489820U (zh) | 一种炉管机台 | |
| CN106996555B (zh) | 一种全自动燃气热水蒸汽发生系统 | |
| CN210894267U (zh) | 气体浓度检测装置的气路加热结构 | |
| CN207871785U (zh) | 一种简易烟气降温与脱硫装置 | |
| CN107917536A (zh) | 一种燃热设备热负荷自适应方法及装置 | |
| CN106073473B (zh) | 一种新型高效节能蒸柜 | |
| CN201569159U (zh) | 过流即热液体加热装置及采用该装置的暖热两用机 | |
| CN206119993U (zh) | 食物蒸制机 | |
| CN203928380U (zh) | 一种燃气沸水器 | |
| CN211119405U (zh) | 一种蓄热式直燃氧化反烧设备 | |
| CN207438868U (zh) | 一种温控节能的锅炉 | |
| CN206183005U (zh) | 一种新型高效节能蒸柜 | |
| CN207527857U (zh) | 一种防燃气泄漏的壁挂炉 | |
| CN210801620U (zh) | 制药过程中使用的锅炉燃气系统 | |
| CN110220299A (zh) | 一种燃气热水设备及燃气热水设备的控制方法 | |
| CN205909937U (zh) | 一种卫生型智能温度变送器 | |
| CN207865707U (zh) | 一种有机热载体锅炉及其温度监测装置 | |
| CN204165229U (zh) | 一种化工用锅炉 | |
| CN206831459U (zh) | 一种环保型锅炉 | |
| CN208720365U (zh) | 一种即开即用开水机 | |
| JP5237992B2 (ja) | スモークハウス | |
| CN216013212U (zh) | 一种臭氧传感器基线校准系统 | |
| CN219109268U (zh) | 一种淋浴模块箱的淋浴系统及淋浴模块箱 | |
| CN108506956A (zh) | 一种具有烟气回收功能的环保锅炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |