CN207480345U - 一种单晶硅切片生产用抛光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅切片生产用抛光装置，包括底板，所述底板顶端外壁焊接有箱体，所述箱体的一侧外壁开有操作窗，所述箱体的顶端内壁焊接有上液体箱，所述箱体底端内壁焊接有下液体箱，且下液体箱和上液体箱均位于远离操作窗的一侧，所述上液体箱和下液体箱内均盛有抛光液，且上液体箱的底端外壁和下液体箱的顶端外壁均通过螺栓固定有等距离分布的液体流量开关，所述箱体一侧外壁靠近顶端处开有第一通孔，所述箱体一侧外壁靠近底端处开有第二通孔。本实用新型结构简单，设计新颖，可以让工作人员方便且快捷的操作该设备，省时省力，且能够让单晶硅的抛光质量更高更易符合所需要的要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅切片生产技术领域，尤其涉及一种单晶硅切片生产用抛光装置。
背景技术
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，单晶硅切片抛光，是指单晶硅表面需要改善微缺陷，从而获得高平坦度的抛光，目前，单晶硅切片的抛光装置大多存在结构复杂且不能获得高平坦度的抛光的缺点，降低了工作效率，浪费了资源。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶硅切片生产用抛光装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种单晶硅切片生产用抛光装置，包括底板，所述底板顶端外壁焊接有箱体，所述箱体的一侧外壁开有操作窗，所述箱体的顶端内壁焊接有上液体箱，所述箱体底端内壁焊接有下液体箱，且下液体箱和上液体箱均位于远离操作窗的一侧，所述上液体箱和下液体箱内均盛有抛光液，且上液体箱的底端外壁和下液体箱的顶端外壁均通过螺栓固定有等距离分布的液体流量开关，所述箱体一侧外壁靠近顶端处开有第一通孔，所述箱体一侧外壁靠近底端处开有第二通孔，且第二通孔和第一通孔均位于远离操作窗的一侧，所述第一通孔的内壁焊接有第一回流管，所述底板的顶端焊接有固定座，且固定座的顶端通过螺栓固定有回流泵，所述第二通孔的内壁焊接有第二回流管，且第二回流管远离下液体箱的一端与回流泵的进口端连接，所述箱体的一侧内壁焊接有两个固定块，两个所述固定块的一侧外壁均开有凹槽，且两个凹槽内分别插接有上滚轴和下滚轴，所述上滚轴和下滚轴的外壁均套接有抛光滚筒，所述箱体的两侧内壁均开有电动滑槽，两个所述电动滑槽的内壁均嵌接有滑座，且两个滑座均位于两个抛光滚筒之间，所述箱体的底端内壁焊接有集杂箱，且集杂箱位于抛光滚筒的下方，所述箱体的一侧外壁焊接有电机箱体，所述电机箱体顶端内壁通过螺栓固定有电机，所述箱体的一侧外壁通过螺栓固定有时间继电器，且时间继电器位于远离电机的一侧，所述箱体的一侧外壁通过螺栓固定有控制盘，且控制盘位于时间继电器的下方，所述底板的顶端通过螺栓固定有蓄电池。
优选的，两排所述液体流量开关之间留有缝隙，且缝隙的高度与单晶硅切片的高度相适配。
优选的，所述抛光滚筒的为沥青材料制成，且抛光滚筒的长度为箱体宽度的2/3到4/5之间。
优选的，所述箱体的一侧内壁开有两个大小相等的圆孔，且两个滚轴远离固定块的一端分别通过圆孔延伸至箱体外。
优选的，所述电机的输出轴和下滚轴远离时间继电器的一端均焊接有齿轮，且两个尺轮的外壁啮合有同一个传动链条。
优选的，所述电动滑槽、时间继电器、控制盘、液体流量开关和电机均连接有控制器，且控制器的型号均为DATA-7311。
优选的，所述蓄电池位于电机箱体的下方，且蓄电池通过导线与时间继电器、液体流量开关、电动滑槽和控制盘连接。
本实用新型的有益效果为：该设备结构简单，通电动滑槽的设置，可实现对抛光的单晶硅切片进行定时喷洒抛光液；通过上、下抛光滚筒的设置，可实现单晶硅切片的双面抛光；通过时间继电器和液体流量开关的设置，可准确控制抛光液与单晶硅切片表面的反应时间；通过回流泵、第一回流管和第二回流管的设置，可以将抛光液回收再利用，节约了资源；通过操作窗的设置，工作人员可事实观察抛光进度；通过控制盘的的设置，可以让工作人员准确控制抛光的平整度。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种单晶硅切片生产用抛光装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种单晶硅切片生产用抛光装置的剖面结构示意图。
图中：1箱体、2上滚轴、3操作窗、4抛光滚筒、5集杂槽、6底板、7上液体箱、8液体流量开关、9单晶硅切片、10回流泵、11电动滑槽、12滑座、13时间继电器、14控制盘、15电机、16传动链条、17蓄电池。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种单晶硅切片生产用抛光装置，包括底板6，底板6顶端外壁焊接有箱体1，箱体1的一侧外壁开有操作窗3，箱体1的顶端内壁焊接有上液体箱7，箱体1底端内壁焊接有下液体箱，且下液体箱和上液体箱7均位于远离操作窗3的一侧，上液体箱7和下液体箱内均盛有抛光液，且上液体箱7的底端外壁和下液体箱的顶端外壁均通过螺栓固定有等距离分布的液体流量开关8，箱体1一侧外壁靠近顶端处开有第一通孔，箱体1一侧外壁靠近底端处开有第二通孔，且第二通孔和第一通孔均位于远离操作窗3的一侧，第一通孔的内壁焊接有第一回流管，底板6的顶端焊接有固定座，且固定座的顶端通过螺栓固定有回流泵10，第二通孔的内壁焊接有第二回流管，且第二回流管远离下液体箱的一端与回流泵10的进口端连接，箱体1的一侧内壁焊接有两个固定块，两个固定块的一侧外壁均开有凹槽，且两个凹槽内分别插接有上滚轴2和下滚轴，上滚轴2和下滚轴的外壁均套接有抛光滚筒4，箱体1的两侧内壁均开有电动滑槽11，两个电动滑槽11的内壁均嵌接有滑座12，且两个滑座12均位于两个抛光滚筒4之间，箱体1的底端内壁焊接有集杂箱5，且集杂箱5位于抛光滚筒4的下方，箱体1的一侧外壁焊接有电机箱体，电机箱体顶端内壁通过螺栓固定有电机15，箱体1的一侧外壁通过螺栓固定有时间继电器13，且时间继电器13位于远离电机15的一侧，箱体1的一侧外壁通过螺栓固定有控制盘14，且控制盘14位于时间继电器13的下方，底板6的顶端通过螺栓固定有蓄电池17。
本实用新型中，两排液体流量开关8之间留有缝隙，且缝隙的高度与单晶硅切片9的高度相适配，抛光滚筒4的为沥青材料制成，且抛光滚筒4的长度为箱体1宽度的2/3到4/5之间，箱体1的一侧内壁开有两个大小相等的圆孔，且两个滚轴2远离固定块的一端分别通过圆孔延伸至箱体1外，电机15的输出轴和下滚轴远离时间继电器13的一端均焊接有齿轮，且两个尺轮的外壁啮合有同一个传动链条16，电动滑槽11、时间继电器13、控制盘14、液体流量开关8和电机15均连接有控制器，且控制器的型号均为DATA-7311，蓄电池17位于电机箱体的下方，且蓄电池17通过导线与时间继电器13、液体流量开关8、电动滑槽11和控制盘14连接。
工作原理：使用时，将单晶硅切片9卡放在滑座12上，在控制盘14上设定好抛光液喷洒时间后，启动电机15，此时电机15 带动抛光滚筒4对单晶硅切片9进行双面抛光，抛光一定时间后，单晶硅切片9在滑座12的带动下平移至上下液体流量开关的缝隙处，此时液体流量开关启动开始对单晶硅切光喷洒抛光液，达到设定时间后，单晶硅切片9再次被滑座12平移至原来位置进行抛光，周而复始，至抛光达到要求即可结束。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种单晶硅切片生产用抛光装置，包括底板（6），其特征在于，所述底板（6）顶端外壁焊接有箱体（1），所述箱体（1）的一侧外壁开有操作窗（3），所述箱体（1）的顶端内壁焊接有上液体箱（7），所述箱体（1）底端内壁焊接有下液体箱，且下液体箱和上液体箱（7）均位于远离操作窗（3）的一侧，所述上液体箱（7）和下液体箱内均盛有抛光液，且上液体箱（7）的底端外壁和下液体箱的顶端外壁均通过螺栓固定有等距离分布的液体流量开关（8），所述箱体（1）一侧外壁靠近顶端处开有第一通孔，所述箱体（1）一侧外壁靠近底端处开有第二通孔，且第二通孔和第一通孔均位于远离操作窗（3）的一侧，所述第一通孔的内壁焊接有第一回流管，所述底板（6）的顶端焊接有固定座，且固定座的顶端通过螺栓固定有回流泵（10），所述第二通孔的内壁焊接有第二回流管，且第二回流管远离下液体箱的一端与回流泵（10）的进口端连接，所述箱体（1）的一侧内壁焊接有两个固定块，两个所述固定块的一侧外壁均开有凹槽，且两个凹槽内分别插接有上滚轴（2）和下滚轴，所述上滚轴（2）和下滚轴的外壁均套接有抛光滚筒（4），所述箱体（1）的两侧内壁均开有电动滑槽（11），两个所述电动滑槽（11）的内壁均嵌接有滑座（12），且两个滑座（12）均位于两个抛光滚筒（4）之间，所述箱体（1）的底端内壁焊接有集杂箱（5），且集杂箱（5）位于抛光滚筒（4）的下方，所述箱体（1）的一侧外壁焊接有电机箱体，所述电机箱体顶端内壁通过螺栓固定有电机（15），所述箱体（1）的一侧外壁通过螺栓固定有时间继电器（13），且时间继电器（13）位于远离电机（15）的一侧，所述箱体（1）的一侧外壁通过螺栓固定有控制盘（14），且控制盘（14）位于时间继电器（13）的下方，所述底板（6）的顶端通过螺栓固定有蓄电池（17）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅切片生产用抛光装置，其特征在于，两排所述液体流量开关（8）之间留有缝隙，且缝隙的高度与单晶硅切片（9）的高度相适配。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅切片生产用抛光装置，其特征在于，所述抛光滚筒（4）的为沥青材料制成，且抛光滚筒（4）的长度为箱体（1）宽度的2/3到4/5之间。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅切片生产用抛光装置，其特征在于，所述箱体（1）的一侧内壁开有两个大小相等的圆孔，且两个滚轴（2）远离固定块的一端分别通过圆孔延伸至箱体（1）外。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅切片生产用抛光装置，其特征在于，所述电机（15）的输出轴和下滚轴远离时间继电器（13）的一端均焊接有齿轮，且两个尺轮的外壁啮合有同一个传动链条（16）。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅切片生产用抛光装置，其特征在于，所述电动滑槽（11）、时间继电器（13）、控制盘（14）、液体流量开关（8）和电机（15）均连接有控制器，且控制器的型号均为DATA-7311。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅切片生产用抛光装置，其特征在于，所述蓄电池（17）位于电机箱体的下方，且蓄电池（17）通过导线与时间继电器（13）、液体流量开关（8）、电动滑槽（11）和控制盘（14）连接。
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Granted publication date: 20180612 Termination date: 20180928 |
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