CN207440456U - 一种基板气浮装置及基板测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种基板气浮装置及基板测试设备，涉及显示技术领域，以降低显示基板性能测试的成本。所述基板气浮装置包括气浮本体以及供气单元；气浮本体内设伸缩支撑单元，气浮本体上设有供伸缩支撑单元穿梭的多个间隙，还包括阀门控制器，与搬运机器人交互的回缩控制器，以及用于检测伸缩支撑单元最大伸出位置的位置传感器，回缩控制器的输出端分别与伸缩支撑单元的控制端和阀门控制器的输入端连接，阀门控制器的输入端还与位置传感器的输出端连接，阀门控制器的输出端与可控阀门的控制端连接。所述基板测试设备包括上述技术方案所提的基板气浮装置。本实用新型提供的基板气浮装置及基板测试设备用于基板性能测中。

Description

一种基板气浮装置及基板测试设备

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板气浮装置及基板测试设备。

背景技术

在制作液晶显示器时，一般会对液晶显示器的显示基板进行各种性能测试，以保证液晶显示器具有较长的使用寿命和优良的显示性能。

目前，对液晶显示器的显示基板进行性能检测时，一般利用基板气浮装置提供气浮气流，以利用气浮气流实现显示基板悬浮，然后对显示基板进行检测；而且，不管是否进行显示基板性能检测，基板气浮装置不间断的提供气浮气流，导致显示基板性能测试的成本比较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板气浮装置及基板测试设备，以降低显示基板性能测试的成本。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种基板气浮装置，包括气浮本体、以及用于向所述气浮本体供气的供气单元；所述气浮本体内设伸缩支撑单元，所述伸缩支撑单元的伸缩方向与所述气浮本体的气浮方向平行，所述气浮本体上设有供所述伸缩支撑单元穿梭的多个间隙，所述供气单元设有控制供气单元供气的可控阀门；所述基板气浮装置还包括阀门控制器，与搬运机器人交互的回缩控制器，以及用于检测伸缩支撑单元最大伸出位置的位置传感器，所述回缩控制器的输出端分别与所述伸缩支撑单元的控制端和所述阀门控制器的输入端连接，所述阀门控制器的输入端还与所述位置传感器的输出端连接，所述阀门控制器的输出端与所述可控阀门的控制端连接。

与现有技术相比，本实用新型提供的基板气浮装置中，气浮本体内设伸缩支撑单元，伸缩支撑单元的伸缩方向与气浮本体的气浮方向平行，而气浮本体上设有供伸缩支撑单元穿梭的多个间隙，这样在基板进行性能测试时，可利用伸缩支撑单元通过间隙伸出气浮本体，以保证搬运机器人将基板转移至基板气浮装置时，伸缩支撑单元能够支撑基板，避免基板掉落到气浮板上；而由于回缩控制器与搬运机器人交互，回缩控制器的输出端分别与伸缩支撑单元的控制端和阀门控制器的输入端连接，这使得回缩控制器在接收到搬运机器人发送的搬运完成信号后，可以控制伸缩支撑单元回缩到气浮本体中，同时通过阀门控制器开启可控阀门，以向基板提供气浮气流，保证基板气浮在气浮本体上；而由于阀门控制器的输入端还与检测伸缩支撑单元最大伸出位置的位置传感器的输出端连接，使得基板测试完毕后，伸缩支撑单元顶起基板上升到最大伸出位置，阀门控制器可利用在位置传感器所提供的信号下关闭可控阀门，以终止向气浮本体供气，从而保证在基板性能测试完毕后，基板气浮装置不会有气浮气流喷出，这样就能够降低显示基板性能测试成本。

本实用新型还提供了一种基板测试设备，包括上述技术方案提供的所述基板气浮装置。

与现有技术相比，本实用新型提供的基板测试设备的有益效果与上述技术方案提供的基板气浮装置的有益效果相同，在此不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的基板气浮装置的俯视示意图；

图2为本实用新型实施例中气浮本体的侧视示意图；

图3为本实用新型实施例中气浮本体与伸缩支撑单元的配合示意图；

图4为本实用新型实施例中供气单元的侧视示意图；

图5为本实用新型实施例中控制单元的控制原理框图。

附图标记：

1-气浮本体， 01-搬运机器人；

10-间隙， 101-第一间隙；

102-第二间隙， 11-第一气浮板；

12-第二气浮板， 13-第三气浮板；

2-供气单元， 20-供气管；

21-流量检测器， 22-可控阀门；

220-电磁阀排气口， 221-电磁阀；

222-球阀， 23-过滤减压阀；

24-阀岛， 25-气压检测器；

3-伸缩支撑单元， 30-压缩气缸；

31-第一支撑杆， 32-第二支撑杆；

4-光感应单元， 5-控制单元；

51-回缩控制器， 52-阀门控制器；

53-位置传感器， 54-延时器；

55-滑块控制器， 6-报警器；

7-滑块单元， 70-滑块；

8-基板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图5，本实用新型实施例提供的基板气浮装置包括气浮本体1、以及用于向气浮本体1供气的供气单元2；气浮本体1内设伸缩支撑单元3，伸缩支撑单元3的伸缩方向与气浮本体1的气浮方向平行，气浮本体1的气浮方向是指气浮本体1的气浮气流喷出方向，如图2中箭头a所示，伸缩支撑单元3的伸缩方向如图2中箭头b所示，且气浮本体1的气浮方向是指气浮本体1的气浮气流喷出方向应当垂直于气浮本体1喷出气体的表面；气浮本体1上设有供所述伸缩支撑单元3穿梭的多个间隙10，供气单元2设有控制供气开关的可控阀门22。

如图5所示，上述基板气浮装置还包括与搬运机器人01交互的控制单元5，控制单元5具体包括与搬运机器人01交互的回缩控制器51、阀门控制器52，以及用于检测伸缩支撑单元3最大伸出位置的位置传感器53，回缩控制器51的输出端分别与伸缩支撑单元3的控制端和阀门控制器52的输入端连接，阀门控制器52的输入端还与位置传感器53的输出端连接，阀门控制器52的输出端与可控阀门22的控制端连接。

在需要进行基板8性能测试时，伸缩支撑单元3穿过间隙10伸出气浮本体1达到最大伸出位置，搬运机器人01将需要进行性能测试的基板8放置在伸缩支撑单元3的伸出端，使得伸缩支撑单元3的伸出端支撑基板8，搬运机器人完成搬运后向回缩控制器51发出搬运完成信号，回缩控制器51在搬运完成信号的触发下控制伸缩支撑单元3逐渐回缩到气浮本体1中，回缩控制器51还通过阀门控制器52控制可控阀门22开启，使得可控阀门22控制供气单元向气浮本体1供气，这样气浮本体1在基板8放置到伸缩支撑单元3的伸出端后，就能够提供气浮气流，使得基板8处在气浮状态；其中，基板8处在气浮状态的时候，基板8已经无需伸缩支撑单元3支撑，因此，伸缩支撑单元3通过间隙10缩回气浮本体1中；在此基础上，利用定位单元(图中未示出)对基板8进行对位，然后开始进行基板8扫描，以测试基板8性能。

当结束基板8测试时，伸缩支撑单元3穿过间隙10将基板8顶起到最大伸出位置，位置传感器53检测到伸缩支撑单元最大伸出位置并向阀门控制器52发出最大伸出位置信号，阀门控制器52接收到最大伸出位置信号后，控制可控阀门22关闭，从而使得供气单元2停止向气浮本体1供气，这样气浮本体1就在基板8测试结束后停止气浮气流的供给。

基于上述实用新型实施例提供的基板气浮装置的结构和工作过程可知，气浮本体1内设伸缩支撑单元3，伸缩支撑单元3的伸缩方向与气浮本体1的气浮方向平行，而气浮本体1上设有供伸缩支撑单元3穿梭的多个间隙10，这样在基板8进行性能测试时，可利用伸缩支撑单元3通过间隙10伸出气浮本体1，以保证搬运机器人将基板8转移至基板气浮装置时，伸缩支撑单元3能够支撑基板8，避免基板8掉落到气浮板上；而由于回缩控制器51与搬运机器人01交互，回缩控制器51的输出端分别与伸缩支撑单元3的控制端和阀门控制器52的输入端连接，这使得回缩控制器51在接收到搬运机器人发出的搬运完成信号后，可以控制伸缩支撑单元3回缩到气浮本体1中，同时通过阀门控制器52开启可控阀门22，以向基板提供气浮气流，保证基板气浮在气浮本体1上；而由于阀门控制器52的输入端还与检测伸缩支撑单元3最大伸出位置的位置传感器的输出端连接，使得基板测试完毕后，伸缩支撑单元3顶起基板上升到最大伸出位置，阀门控制器52可利用在位置传感器53所提供的信号下关闭可控阀门22，以终止向气浮本体1供气，从而保证在基板性能测试完毕后，基板气浮装置不会有气浮气流喷出，这样就能够降低显示基板性能测试成本。

需要说明的是，如图5所示，上述实施例中回缩控制器51的功能相当于在接收到搬运机器人发送的搬运完成信号后，触发伸缩支撑单元3回缩到气浮本体1中，并通过阀门控制器52开启可控阀门22。

而为了确保基板已经放置在伸缩支撑单元3的伸出端，如图3和图5所示，上述实施例中伸缩支撑单元3设有用于感应基板的光感应单元4，光感应单元4可以为光线传感器或光线放大器，光感应单元4的输出端与回缩控制器51的输入端连接，这样当光感应单元4感应到基板时，说明基板已经位于伸缩支撑单元3的伸出端上，从而更为安全的将基板移动到所需的气浮高度。

示例性的，如图2、图3和图5所示，本实用新型实施例中伸缩支撑单元3包括压缩气缸30以及设在压缩气缸30上用于支撑基板的多个支撑杆；回缩控制器51的输出端与压缩气缸的控制端连接，多个支撑杆与多个间隙10一一对应，光感应单元4设在其中一个支撑杆中；支撑基板时，压缩气缸控制多个支撑杆穿过对应间隙10支撑基板8。

而当光感应单元4的输出端与回缩控制器51的输入端连接时，回缩控制器51的功能相当于一个与门电路，与门电路的输入端分别连接光感应单元4的输出端和搬运机器人的输出端，与门电路的输出端分别连接阀门控制器52的输入端和伸缩支撑单元3的控制端。

例如：当搬运机器人以高电平的形式向与门电路发送的搬运完成信号，光感应单元4感应出基板向与门电路发送高电平，则与门电路输出高电平，以控制伸缩支撑单元3回缩和阀门控制器52开启。而当搬运机器人以高电平的形式发送的搬运完成信号，但光感应单元4没有感应出基板，即与门电路与光感应单元4连接的一端为低电平，此时与门电路输出低电平，伸缩支撑单元3不发生回缩，阀门控制器52保持关闭。

可以知道的是，如图1-图5所示，在伸缩支撑单元3通过间隙10缩回气浮本体1后，光感应单元4仍然可以通过间隙10感应到气浮本体1上处在气浮状态的基板8的存在，因此，在伸缩支撑单元3缩回气浮本体1的这个时间段，控制单元5仍然可以控制可控阀门22处在开启状态。

示例性的，如图1和图3所示，设置光感应单元4的支撑杆内设有空腔，光感应单元4设在空腔中，设置光感应单元4的支撑杆的吸附面上设有与空腔连通的开口，这样当支撑杆穿过对应间隙10支撑基板8时，光感应单元4就能够感应到光线变化，从而向回缩控制器51发出光电信号。

如图5所示，上述实施例中阀门控制器52的功能是用于在接收到伸缩支撑单元3发送的最大伸出位置信号时，根据最大伸出位置信号控制可控阀门22关闭；可见，阀门控制器52相当于一收到信号触发的触发器，当然也可以用逻辑电路实现功能，如非门电路，并使得非门电路的输入端与位置传感器53的输入端连接，非门电路的输出端与可控阀门的控制端连接；当位置传感器53以高电平的形式发出最大伸出位置信号，非门将高电平转换为低电平，并利用低电平控制可控阀门关断。

示例性的，如图4所示，可控阀门22包括电磁阀221和球阀222，球阀222可以为C-UTFE 25A气动球阀，此时阀门控制器52的输出端与电磁阀221连接，当然电磁阀221还可以配备有电磁阀排气口220。

具体的，如图4和图5所示，上述实施例中回缩控制器51的输出端与阀门控制器52的输入端通过延时器54连接。具体实施时，回缩控制器51接收到搬运机器人发送的搬运完成信号后，通过延时器54延时后，利用阀门控制器52控制可控阀门开启，其中，延时时间可以根据实际需要设定，只要保证延时时间内，基板不与气浮本体1的气浮面(即气浮本体1喷出气浮气流的表面)接触即可，这样就能够最大限度的减少气浮气流的供给时间，从而节省成本。

需要说明的是，本实用新型实施例中虽然涉及到延时器54，但是并没有对阀门控制器52的控制策略进行改进，其功能相当于信号触发器，而延时器54也没有对其功能进行改进，其可以为延时电路(如555电路)或具有延时功能的电子器件。

而考虑到在供气的过程中，容易出现气压不稳和/或流量不稳的现象，导致基板安全受到威胁，如图1和图5所示，上述实施例提供的基板气浮装置还包括用于支撑基板8以控制基板气浮位置的滑块单元7，控制单元5还包括用于控制滑块单元7的滑块控制器55，滑块控制器55的信号输出端还与滑块单元7的控制端连接；其中，

供气单元2上设有流量检测器21，流量检测器21的信号输出端与滑块控制器55的信号输入端连接，以利用滑块控制器55检测流量检测器21所检测的供气流量是否超过流量阈值，如果超过，则滑块控制器55控制滑块单元7停止工作；和/或，

供气单元2上设有气压检测器25，气压检测器25的信号输出端与滑块控制器55的信号输入端连接，以利用滑块控制器55检测气压检测器25所检测的供气气压是否超过气压阈值，如果超过，则滑块控制器55控制滑块单元7停止工作。

通过上述流量检测器21和/或气压检测器25与滑块控制器55的相互配合，保证了基板8的气浮安全，避免供气流量和/供气气压不稳对基板的损害。

而为了提醒作业人员，如图5所示，上述实施例中流量检测器21的信号输出端和/或气压检测器25的信号输出端还与报警器6连接，以使得在供气流量超过流量阈值或气压阈值时，控制报警器6报警。

值得注意的是，上述实施例中滑块控制器55的功能相当于判断器，其可通过现有比较电路或判断电路实现。因此，上述实施例中虽然涉及到滑块控制器55，但并未对其功能做出任何改进，可采用现有技术中任何具有该功能的电子器件。

需要说明的是，对于基板气浮装置来说，上述实施例在进行基板扫描检测时，一般会配备有上述滑块单元7，以利用滑块单元7的滑块70吸附基板，使得基板从初始气浮位置开始移动，从而保证基板需要扫描的位置被扫描到。而在结束扫描后，利用滑块单元7的滑块70将基板拉回初始气浮位置，以等待伸缩支撑单元3将基板顶起。

示例性的，如图4所示，上述实施例中供气单元2包括气源和供气管20，所述气源通过滤减压阀23与每个供气管20的入口连接，供气管20的出口通过阀岛24分别与各个气浮板的进气口连接，且气压检测器25和流量检测器21设在供气管20上。此处可以知道的是，气浮板为一种具有气腔的板体，其板体的底部开设有进气口，以供气体进入板体内的气腔内，板体的板面上开设有若干与气腔连通的气孔，以供气腔内的气体喷出，形成气浮气流。

示例性的，图4中给出了三根供气管20，每根供气管20的出口均连接有阀岛24，并通过阀岛24与多个气浮板连接。

可选的，如图1-图3所示，上述实施例中气浮本体1包括气浮支架和设在气浮支架的支撑面的多个气浮板，多个气浮板的气浮面位于同一平面，相邻两个气浮板之间形成间隙10。

示例性的，图1中给出了两个气浮板，分别为第一气浮板11和第二气浮板12，利用第一气浮板11和第二气浮板12所喷出的气浮气流使得基板8气浮；第一气浮板11和第二气浮板12之间具有间隙10，供上述伸缩支撑单元3的支撑杆穿过。

示例性的，图2中给出了三个气浮板，分别为第一气浮板11、第二气浮板12和第三气浮板13，利用第一气浮板11、第二气浮板12和第三气浮板13所喷出的气浮气流使得基板8气浮。

图2中第一气浮板11和第二气浮板12之间具有第一间隙101，第二气浮板12和第三气浮板13之间具有第二间隙102。而图3中给出了具体的伸缩支撑单元3的示意图，该伸缩支撑单元3具体包括压缩气缸以及设在压缩气缸上的第一支撑杆31和第二支撑杆32；当需要支撑基板8时，第一支撑杆31通过第一间隙101支撑基板8，第二支撑杆32通过第二间隙102支撑基板8。

本实用新型还提供了一种基板测试设备，该基板测试设备包括上述技术方案提供的基板气浮装置。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的基板测试设备的有益效果与上述技术方案提供的基板气浮装置的有益效果相同，在此不做赘述。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基板气浮装置，其特征在于，包括气浮本体、以及用于向所述气浮本体供气的供气单元；所述气浮本体内设伸缩支撑单元，所述伸缩支撑单元的伸缩方向与所述气浮本体的气浮方向平行，所述气浮本体上设有供所述伸缩支撑单元穿梭的多个间隙，所述供气单元设有控制供气单元供气的可控阀门；所述基板气浮装置还包括阀门控制器，与搬运机器人交互的回缩控制器，以及用于检测伸缩支撑单元最大伸出位置的位置传感器，所述回缩控制器的输出端分别与所述伸缩支撑单元的控制端和所述阀门控制器的输入端连接，所述阀门控制器的输入端还与所述位置传感器的输出端连接，所述阀门控制器的输出端与所述可控阀门的控制端连接。

2.根据权利要求1所述的基板气浮装置，其特征在于，所述回缩控制器的输出端与所述阀门控制器的输入端通过延时器连接。

3.根据权利要求1所述的基板气浮装置，其特征在于，所述基板气浮装置还包括用于吸附基板以控制基板气浮位置的滑块单元，以及用于控制所述滑块单元的滑块控制器，所述滑块控制器的输出端还与所述滑块单元的控制端连接；其中，

所述供气单元上设有用于检测供气流量的流量检测器，所述流量检测器的信号输出端与所述滑块控制器的信号输入端连接，和/或，

所述供气单元上设有用于检测供气气压的气压检测器，所述气压检测器的信号输出端与所述滑块控制器的信号输入端连接。

4.根据权利要求3所述的基板气浮装置，其特征在于，所述流量检测器的信号输出端和/或所述气压检测器的信号输出端还与报警器连接。

5.根据权利要求1所述的基板气浮装置，其特征在于，所述伸缩支撑单元设有用于感应基板的光感应单元，所述光感应单元的输出端与所述回缩控制器的输入端连接。

6.根据权利要求5所述的基板气浮装置，其特征在于，所述伸缩支撑单元包括压缩气缸以及设在所述压缩气缸上用于支撑基板的多个支撑杆；所述回缩控制器的输出端与所述压缩气缸的控制端连接，多个所述支撑杆与多个所述间隙一一对应，所述光感应单元设在其中一个所述支撑杆中。

7.根据权利要求6所述的基板气浮装置，其特征在于，设置所述光感应单元的支撑杆内设有空腔，所述光感应单元设在所述空腔中，设置所述光感应单元的支撑杆的支撑面上设有与所述空腔连通的开口。

8.根据权利要求1～7任一项所述的基板气浮装置，其特征在于，所述气浮本体包括气浮支架和设在所述气浮支架的支撑面的多个气浮板，多个所述气浮板的气浮面位于同一平面，相邻两个所述气浮板之间形成间隙。

9.根据权利要求8所述的基板气浮装置，其特征在于，所述供气单元包括气源和供气管，所述气源通过过滤减压阀与所述供气管的入口连接，所述供气管的出口通过阀岛分别与各个所述气浮板的进气口连接。

10.一种基板测试设备，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述基板气浮装置。