CN207439129U - 一种固化碳毡保温屏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空烤盘炉技术领域，具体涉及了一种固化碳毡保温屏装置，包括圆筒状的加热器和环绕所述加热器外壁设置的保温屏，所述保温屏包括多块子保温屏，所有的所述子保温屏可拆卸地设置在所述加热器的外壁上。本实用新型提供的一种固化碳毡保温屏装置，通过将多块由固化碳毡材料制成的子保温屏可拆卸地设置在加热器的外壁上，使得本实用新型提供的保温屏装置易于安装、拆卸，维修清洗方便。

Description

一种固化碳毡保温屏装置

技术领域

本实用新型涉及真空烤盘炉技术领域，尤其涉及一种固化碳毡保温屏装置。

背景技术

真空烤盘炉是一种LED制造行业的新型真空设备，与MOCVD设备配套使用，工作原理是炉内抽真空，被处理工件放置于炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗，主要用于有效清除MOCVD承受器上的氮化镓和淡化铝等，可达到有效的清洁处理，提高产品质量，尤其是对于加热器保温屏结构和选材更是尤其重要。

受烤盘炉工件清洁工艺、安装维修、清洁和成本等方面的考虑，现有的保温屏结构均为一体成型的圆柱形，一体成型的圆柱形结构价格昂贵、不易安装、维修清洗不方便。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种固化碳毡保温屏装置，旨在解决现有技术中的圆柱形一体成型保温屏价格昂贵、不易安装、维修清洗不方便的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种固化碳毡保温屏装置，包括圆筒状的加热器和环绕所述加热器外壁设置的保温屏，所述保温屏包括多块子保温屏，所有的所述子保温屏可拆卸地设置在所述加热器的外壁上。

在一个实施方式中，所述保温屏为圆筒状，所述保温屏的横截面为正十二边形。

在一个实施方式中，所述保温屏包括由下至上设置的多个相同的保温屏环。

在一个实施方式中，所述保温屏环的上端面和/或下端面上开设有阶梯槽，相邻的所述保温屏环之间通过所述阶梯槽相卡合。

在一个实施方式中，所述保温屏环包括多块子保温屏，所有的所述子保温屏首尾相连形成一个环状保温屏环，所述子保温屏通过螺栓固定在所述加热器的外壁上。

在一个实施方式中，所述子保温屏的数量为十二块，十二块所述子保温屏首尾相连形成一个环状保温屏环，所述保温屏环的横截面为正十二边形。

在一个实施方式中，所述子保温屏的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底和腰之间的夹角为度。

在一个实施方式中，所述保温屏环包括六块第一子保温屏和六块第三子保温屏，所述第一子保温屏与所述第三子保温屏间隔设置；或者所述保温屏环包括六块第二子保温屏和六块第四子保温屏，所述第二子保温屏与所述第四子保温屏间隔设置；其中，所述第一子保温屏或所述第二子保温屏的横截面形成梯形的上底长度为L1，所述第三子保温屏或所述第四子保温屏的横截面形成梯形上底长度为L2，所述第一子保温屏或所述第二子保温屏的横截面形成梯形的腰长度为L3，所述保温屏环的横截面形成正十二边形的边长为L4，所述L1、L2、L3和L4之间满足以下定义式：L4＝L1＝L2+2L3。

在一个实施方式中，所述保温屏的侧壁上等间距竖直开设多列安装孔。

在一个实施方式中，所述保温屏的侧壁上竖直开设两列穿杆孔。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果：本实用新型提供的一种固化碳毡保温屏装置，通过将多块由固化碳毡材料制成的子保温屏可拆卸地设置在加热器的外壁上，使得本实用新型提供的保温屏装置易于安装、拆卸，维修清洗方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种固化碳毡保温屏装置的侧视图；

图2为本实用新型实施例的一种固化碳毡保温屏装置的俯视图；

图3为图2中沿A-A面的剖视图；

图4为本实用新型实施例的一种固化碳毡保温屏装置中碳毡保温屏的结构示意图；

图5为图4中碳毡保温屏的侧视图；

图6为图4中碳毡保温屏的侧剖视图；

其中，1-加热器；2-保温屏；3-螺栓；

21-第一子保温屏；22-第二子保温屏；23-第三子保温屏；24-第四子保温屏；25-安装孔；26-穿杆孔；27-阶梯槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；除非另有说明，“缺口状”的含义为除截面平齐外的形状。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参见图1至图6所示，本实用新型提供了一种固化碳毡保温屏装置，包括圆筒状的加热器1和环绕加热器1外壁设置的保温屏2，保温屏2包括多块子保温屏，所有的子保温屏可拆卸地设置在加热器1的外壁上。保温屏2采用固化碳毡材料制成，选材为进口固化碳毡，因为其材料各项元素含量达到工艺要求不与工件和工艺气体反应，并且结构稳定易加工。

本实用新型提供的一种固化碳毡保温屏装置，与现有技术相比，通过将多块由固化碳毡材料制成的子保温屏可拆卸地设置在加热器的外壁上，使得本实用新型提供的保温屏装置易于安装、拆卸，维修清洗方便；同时，分块设置的保温屏2，不容易发生在高温下断裂的情况，克服了原有一体成型的保温屏因为局部断裂而导致停机整体更换保温屏的问题。

进一步的，保温屏2包括由下至上设置的多个相同的保温屏环。

具体的，保温屏环的上端面和/或下端面上开设有阶梯槽27，相邻的保温屏环之间通过阶梯槽27相卡合。

更具体的，保温屏环包括多块子保温屏，所有的子保温屏首尾相连形成一个环状保温屏环，子保温屏通过螺栓3固定在加热器1的外壁上。

进一步的，子保温屏的数量为十二块，十二块子保温屏首尾相连形成一个环状保温屏环，保温屏环的横截面为正十二边形；子保温屏的横截面为等腰梯形，等腰梯形的下底和腰之间的夹角为30度。正十二边形的结构，达到结构的稳定性、美观性和工艺需求。

具体的，保温屏环包括六块第一子保温屏21和六块第三子保温屏23，第一子保温屏21与第三子保温屏23间隔设置；或者保温屏环包括六块第二子保温屏22和六块第四子保温屏24，第二子保温屏22与第四子保温屏24间隔设置；

其中，第一子保温屏21或第二子保温屏22的横截面形成梯形的上底长度为L1，第三子保温屏23或第四子保温屏24的横截面形成梯形上底长度为L2，第一子保温屏21或第二子保温屏22的横截面形成梯形的腰长度为L3，保温屏环的横截面形成正十二边形的边长为L4，L1、L2、L3和L4之间满足以下定义式：L4＝L1＝L2+2L3。

进一步的，保温屏2的侧壁上等间距竖直开设多列安装孔25。安装孔25用来对子保温屏进行固定。

进一步的，保温屏2的侧壁上竖直开设两列穿杆孔26。穿杆孔26用来供支撑工件平台的支撑杆穿过。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (10)

1.一种固化碳毡保温屏装置，其特征在于，包括圆筒状的加热器(1)和环绕所述加热器(1)外壁设置的保温屏(2)，所述保温屏(2)包括多块子保温屏，所有的所述子保温屏可拆卸地设置在所述加热器(1)的外壁上。

2.根据权利要求1所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏(2)采用固化碳毡材料制成。

3.根据权利要求1所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏(2)包括由下至上设置的多个相同的保温屏环。

4.根据权利要求3所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏环的上端面和/或下端面上开设有阶梯槽(27)，相邻的所述保温屏环之间通过所述阶梯槽(27)相卡合。

5.根据权利要求3所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏环包括多块子保温屏，所有的所述子保温屏首尾相连形成一个环状保温屏环，所述子保温屏通过螺栓(3)固定在所述加热器(1)的外壁上。

6.根据权利要求5所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述子保温屏的数量为十二块，十二块所述子保温屏首尾相连形成一个环状保温屏环，所述保温屏环的横截面为正十二边形。

7.根据权利要求6所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述子保温屏的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底和腰之间的夹角为30度。

8.根据权利要求7所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏环包括六块第一子保温屏(21)和六块第三子保温屏(23)，所述第一子保温屏(21)与所述第三子保温屏(23)间隔设置；或者所述保温屏环包括六块第二子保温屏(22)和六块第四子保温屏(24)，所述第二子保温屏(22)与所述第四子保温屏(24)间隔设置；其中，所述第一子保温屏(21)或所述第二子保温屏(22)的横截面形成梯形的上底长度为L1，所述第三子保温屏(23)或所述第四子保温屏(24)的横截面形成梯形上底长度为L2，所述第一子保温屏(21)或所述第二子保温屏(22)的横截面形成梯形的腰长度为L3，所述保温屏环的横截面形成正十二边形的边长为L4，所述L1、L2、L3和L4之间满足以下定义式：L4＝L1＝L2+2L3。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏(2)的侧壁上等间距竖直开设多列安装孔(25)。

10.根据权利要求9所述的固化碳毡保温屏装置，其特征在于，所述保温屏(2)的侧壁上竖直开设两列穿杆孔(26)。