CN207418918U - 一种多尺寸通用石英舟 - Google Patents
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Abstract
一种多尺寸通用石英舟由侧板支架和硅片托架板组成；所述的侧板支架设有地板和立板，底板与立板垂直设置，立板上均匀布设多组安装孔和泄压孔；所述硅片托架板的两端分别设置有与安装孔配合安装的安装卡头，板面上均匀设置有硅片卡槽；所述侧板支架两个一组固定平行布设，硅片托架板分组布设安装在两个侧板支架之间；有益效果在于：兼容性好，可以同时摆放多种规格硅片，不同尺寸硅片可以统一放置，可节约时间，提高了生产效率，而且减少了石英舟使用次数，降低了能耗；侧板支架和硅片托架板可拆卸，单个部件断裂可以单独更换继续使用，降低了损耗，节省了成本。
Description
技术领域
本实用新型属于机械加工技术领域，具体涉及一种硅片热处理工艺与热氧化诱生缺陷工艺的辅助装置。
背景技术
在半导体行业中，为还原硅片真实电阻率，电阻片必须做热处理，特殊硅片也需要做热氧化诱生缺陷检验。直拉硅单晶行业通常需要对样片进行热处理与热氧化诱生，过程需要650℃热处理与1100℃热氧化诱生，热处理过程需要急速冷却，常用的热处理设备有；马弗炉、氧化扩散炉。过程中需要将硅片放置在石英舟内热处理与热氧化诱生。
现有的石英舟都是采用熔接方式制成固定架体，按照处理硅片的规格设置有多种不同规格的石英舟，热处理时一种规格的硅片只能放入同规格石英舟中。由于石英舟在使用过程中经常要经历高温和急速冷却工艺，热胀冷缩过程会造成石英断裂，所以石英舟属于消耗品，只要局部发生开裂等问题，整个石英舟就被损毁，需要使用新的的石英舟。随着生产的需要，每年都要消耗大量的石英舟，如果能够解决石英舟易消耗的问题，解决石英舟使用规格单一，使用率低的问题，将极大的降低石英舟消耗的成本。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决石英舟规格单一、易损耗的问题，提供一种能够多规格同时使用，部件可以更换，损耗率低的石英舟结构。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是采用组合式结构设计石英舟结构，将石英舟的支撑架体和硅片托架板独立设计安装，成为能够拆离的结构；硅片托架板根据不同硅片规格独立设计，替换安装在支撑架体上；支撑架体通过孔洞结构防止应力变化损坏。
本实用新型多尺寸通用石英舟由侧板支架和硅片托架板组成；所述的侧板支架设有地板和立板，底板与立板垂直设置，立板上均匀布设多组安装孔和泄压孔；所述硅片托架板的两端分别设置有与安装孔配合安装的安装卡头，板面上均匀设置有硅片卡槽；所述侧板支架两个一组固定平行布设，硅片托架板分组布设安装在两个侧板支架之间。
所述的硅片托架板分两组对称设置安装在两个侧板支架之间。
所述硅片托架板的截面呈矩形结构，沿长度两端分别设置安装卡头；沿矩形平面均匀设置硅片卡槽。
所述硅片托架板上的硅片卡槽安装面朝上设置，向内侧倾斜45°。
所述硅片托架板上的硅片卡槽规格可以是八英寸或六英寸或三英寸。
所述侧板支架上的安装孔和泄压孔为矩形或圆形或三角形。
本实用新型的有益效果在于：兼容性好，可以同时摆放多种规格硅片，不同尺寸硅片可以统一放置，可节约时间，提高了生产效率，而且减少了石英舟使用次数，降低了能耗；侧板支架和硅片托架板可拆卸，单个部件断裂可以单独更换继续使用，降低了损耗，节省了成本。
附图说明
附图1为本实用新型的整体构造三维示意图；
附图2为本实用新型的整体构造俯视图；
附图3为本实用新型的侧板支架构造示意图；
附图4为本实用新型的硅片支架构造示意图；
附图中：侧板支架1、底板11、立板12、安装孔121、泄压孔122、硅片托架板2、安装卡头21、硅片卡槽22。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
如附图1-4所示，本实用新型多尺寸通用石英舟是采用两个侧板支架1配备多组硅片托架板2组成，附图中为六个硅片托架板2结构：两个侧板支架1固定设置，侧板支架1设有地板11和立板12，通过地板11固定放置，立板12上设置有六组安装孔121；六个硅片托架板2固定安装在两个侧板支架1之间，每个硅片托架板2通过两侧安装卡头21分别固定在两个侧板支架1对应的安装孔121中；六个硅片托架板2分为两组，两组硅片托架板2对称设置；硅片托架板2上设置有硅片卡槽22，硅片卡槽22朝上设置，向内侧倾斜45°。
如附图3所示，本实用新型多尺寸通用石英舟所述的侧板支架1由底板11和立板12两部分组成，底板11与立板12垂直设置；立板12上设置有六个安装孔121和三个泄压孔122；六个安装孔121分两组对称布设在立板12上，呈V字形状；三个泄压孔122分别均匀布设在立板12的中间和两侧。
如附图4所示，本实用新型多尺寸通用石英舟所述的硅片托架板2截面呈矩形结构，沿长度两端分别设置有一个安装卡头21，沿一侧矩形面均匀设置硅片卡槽22。所述的每根硅片托架板2上的硅片卡槽22可以是八英寸卡槽或六英寸卡槽或三英寸卡槽。
使用中，可根据硅片规格选择硅片托架板2，例如同时处理的硅片规格包括了八英寸硅片、六英寸硅片和三英寸硅片三种，可分别选取设有相应规格的三种硅片托架板2，两两一组对称设置安装在两个侧板支架1上，分别将三种待加工的硅片放入相应的硅片卡槽22中，同时加热处理。
Claims (6)
1.一种多尺寸通用石英舟，由侧板支架和硅片托架板组成，其特征在于：所述的侧板支架设有地板和立板，底板与立板垂直设置，立板上均匀布设多组安装孔和泄压孔；所述硅片托架板的两端分别设置有与安装孔配合安装的安装卡头，板面上均匀设置有硅片卡槽；所述侧板支架两个一组固定平行布设，硅片托架板分组布设安装在两个侧板支架之间。
2.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述的硅片托架板分两组对称设置安装在两个侧板支架之间。
3.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述硅片托架板的截面呈矩形结构，沿长度两端分别设置安装卡头；沿矩形平面均匀设置硅片卡槽。
4.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述硅片托架板上的硅片卡槽安装面朝上设置，向内侧倾斜45°。
5.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述硅片托架板上的硅片卡槽规格可以是八英寸或六英寸或三英寸。
6.如权利要求1所述的多尺寸通用石英舟，其特征在于：所述侧板支架上的安装孔和泄压孔为矩形或圆形或三角形。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN109799183A (zh) * | 2019-02-21 | 2019-05-24 | 四川泰美克科技有限公司 | 一种用于3inch大片腐蚀的装夹治具 |
| CN115420093A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-12-02 | 上海华力微电子有限公司 | 石英烘干架及烘干装置 |
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