CN207391480U - 退火滴液循环系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，滴液槽的槽底设置有回水管，滴液槽设置有键合线通过通道，滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，水泵输出端接于滴液槽的进水管路，进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，进水泄压管的输出端接于水箱，回水管的输出端接于水箱；位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置。本实用新型可以让退火循环系统处于工作状态下进行过滤装置的更换操作。
Description
技术领域
本实用新型涉及键合线加工设备领域，尤其是涉及一种退火滴液循环系统。
背景技术
键合线属于半导体加工过程中的核心材料，而键合线加工需要进行退火作业，退火作业过程中的退火滴液需要进行循环利用，而反复使用的退火滴液中含有的杂质对于键合线而言是不可接受的，通常情况下，在循环系统中安装过滤装置来过滤掉杂质是常规手段，而过滤装置经过一段时间使用后需要进行更换，这就需要停机，如何让退火滴液循环系统在工作状态下进行更换作业是本实用新型所要解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种退火滴液循环系统，其可以让退火循环系统处于工作状态下进行过滤装置的更换操作。
为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，滴液槽的槽底设置有回水管，滴液槽设置有键合线通过通道，滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，水泵输出端接于滴液槽的进水管路，进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，进水泄压管的输出端接于水箱，回水管的输出端接于水箱；位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置，主过滤管路安装有位于主过滤装置输入口、输出口的控制阀，备份过滤管路安装有位于备份过滤装置输入口、输出口的控制阀。
与现有技术相比，本实用新型提供的退火滴液循环系统在需要更换主过滤装置时，关闭主过滤装置前后的控制阀，同时开启备份过滤装置前后的控制阀，让备份过滤装置进行过滤作业，此时则可更换主过滤装置，从而实现在线更换作业。
进一步，水箱设置有带控制阀的排水口。
进一步，主过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于主过滤管路；
备份过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于备份过滤管路。
进一步，主过滤装置、备份过滤装置包括：
过滤盒体；
安装于过滤盒体内部的过滤网。
附图说明
图1为退火滴液循环系统示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽1，其设置有进水管路6，滴液槽的槽底设置有回水管8，滴液槽设置有键合线通过通道，滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头T。本实施例为两个退火工位，两个退火工位各自的滴液槽均独立作业。设置有液位标尺3的水箱2，该水箱用于向两个退火工位提供冷却液，水箱输出口接于水泵4，水泵输出端接于滴液槽的进水管路6，进水管路通过三通管而分别接至两个退火工位的滴液槽，进水管路6设置有带控制阀的进水泄压管7，进水泄压管7的输出端接于水箱2，回水管8的输出端接于水箱，两个退火工位的回水管通过三通管而接于水箱。位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路C1和备份过滤管路C2，主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置S1，备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置S2，主过滤管路安装有位于主过滤装置输入口、输出口的控制阀，备份过滤管路安装有位于备份过滤装置输入口、输出口的控制阀。
该退火滴液循环系统在需要更换主过滤装置时，关闭主过滤装置前后的控制阀，同时开启备份过滤装置前后的控制阀，让备份过滤装置进行过滤作业，此时则可更换主过滤装置，从而实现在线更换作业。当主过滤装置更换完成后，则关闭备份过滤装置前后的控制阀，开启主过滤装置前后的控制阀，则让主过滤装置进行过滤作业。
主过滤装置S1通过螺纹结构而可拆卸地安装于主过滤管路；备份过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于备份过滤管路。亦或是，主过滤装置通过法兰盘而可拆卸地安装于主过滤管路，备份过滤装置通过法兰盘而可拆卸地安装于备份过滤管路，以主过滤装置为例，在主过滤装置的两个接头设置法兰，而主过滤管路上设置有与主过滤装置两个接头法兰配合的法兰盘，从而可以轻松实现法兰结构连接。
参见图1，水箱设置有带控制阀的排水口5，该控制阀可以设置机械阀，也可以是电磁阀，该电磁阀可以连接于控制器，可以预设水箱排水时间，从而让控制器控制电磁阀打开和关闭排水口。
而主过滤装置、备份过滤装置包括：过滤盒体；安装于过滤盒体内部的过滤网，过滤网可以选择多层过滤网层叠布置，以提高过滤效果，水泵可以提供足够的压力让冷却液体通过过滤装置。
所述过滤盒体可以设置泄压阀，当过滤盒体内部压力过大，则可以利用泄压阀进行泄压操作。另外，该过滤盒体可以采用透明材质制成，例如玻璃钢制成透明的过滤盒体。
本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。
Claims (4)
1.一种退火滴液循环系统，其包括：
对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，所述滴液槽的槽底设置有回水管，所述滴液槽设置有键合线通过通道，所述滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；
设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，所述水泵输出端接于滴液槽的进水管路，所述进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，所述进水泄压管的输出端接于水箱，所述回水管的输出端接于水箱；
其特征在于，位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，所述主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，所述备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置，所述主过滤管路安装有位于主过滤装置输入口、输出口的控制阀，所述备份过滤管路安装有位于备份过滤装置输入口、输出口的控制阀。
2.根据权利要求1所述的退火滴液循环系统，其特征在于，所述水箱设置有带控制阀的排水口。
3.根据权利要求1所述的退火滴液循环系统，其特征在于，所述主过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于主过滤管路；
所述备份过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于备份过滤管路。
4.根据权利要求1所述的退火滴液循环系统，其特征在于，所述主过滤装置、备份过滤装置包括：
过滤盒体；
安装于过滤盒体内部的过滤网。
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