CN207340261U - 一种等离子发生器电路 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种等离子发生器电路,包括电源电路、能量传递控制电路、负高压输出电路和正高压输出电路,所述电源电路包括电感L1、电阻RF1、变压器T1、电容C3、电容C4和电容C5,所述能量传递控制电路包括电阻R3、三极管Q1、电阻R4、电容C9和二极管D4,本实用新型等离子发生器电路运行更稳定,抗干扰能力强。对应工艺和生产都大大提高了效率。ECM性能得到有效保障。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种等离子发生器,具体是一种等离子发生器电路。
背景技术
现有的等离子发生器通过使用高匝比的变压器,通过震荡产生高压输出,在输出端通常都是一个高压交流信号,然后通过整流电路得到正负高压通过高压放电针产生正负离子。
目前普遍采用的是自激的方式来进行震荡,存在以下缺陷:①以这种方式产生的震荡其频率不稳定,在收到环境温度影响时会改变或者受到干扰是破坏了其起震条件震荡电路就会停止工作或者损坏变压器和开关器件;当电路正常起震后,变压器上的电流是时时在变化的,其频率和振荡频率一致。也就是说当开关管开通后线圈上的电流很大,当开关管关断时线圈电流几乎为0,那么就会对电源产生干扰,②电源波动很大就会对其他模块产生EMC干扰。因此有待于改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种等离子发生器电路,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种等离子发生器电路,包括电源电路、能量传递控制电路、负高压输出电路和正高压输出电路,所述电源电路包括电感L1、电阻RF1、变压器T1、电容C3、电容C4和电容C5,所述能量传递控制电路包括电阻R3、三极管Q1、电阻R4、电容C9和二极管D4,所述负高压输出电路包括变压器T1、电容C1、电容C2、电阻R1和输出接口J1,所述正高压输出电路包括二极管D5、电容C8、电容C9、电阻R2和输出接口J2,所述电感L1的一端连接电阻RF1和电源端B+,电感L1的另一端连接电容C3,电容C3的另一端连接电容C5、电容C4和地,电阻RF1的另一端连接电容C5的另一端、电容C4的另一端和变压器T1的原边线圈,变压器T1的原边线圈的另一端连接二极管D4的阳极、电容C9和三极管Q1的集电极,电容C9的另一端连接三极管Q1的基极和电阻R3,三极管Q1的发射极通过电阻R4接地,电阻R3的另一端连接PWM控制信号,变压器T1的副边线圈连接电容C1和电容C8,电容C1的另一端连接电容C2、二极管D1的阴极、二极管D2的阳极,电容C2的另一端连接电阻R1和二极管D3的阳极,电阻R1的另一端连接输出接口J1,二极管D2的阴极连接电容C6和变压器T1的次级绕组的另一端并接地,二极管D1的阳极连接二级管D3的阴极和电容C6的另一端,电容C8的另一端连接电容C7、二极管D6的阴极、二极管D7的阳极,电容C7的另一端连接电阻R2和二极管D6的阴极,电阻R2的另一端连接输出接口J2,二极管D6的阳极连接电容C10并接地,二极管D6的阳极连接二级管D7的阴极和电容C10的另一端。
作为本实用新型的优选方案:所述变压器T为高频变压器。
作为本实用新型的优选方案:所述电容C1、二极管D2、C6、二极管D1、电容C2和二极管D3构成3倍倍压电路。
作为本实用新型的优选方案:所述电容C8、二极管D5、电容C10、二极管D7、电容C7和二极管D6构成3倍倍压电路。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型等离子发生器电路运行更稳定,抗干扰能力强。对应工艺和生产都大大提高了效率。ECM性能得到有效保障。
附图说明
图1是等离子发生器电路的电路原理图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1,本实用新型实施例中,一种等离子发生器电路,包括电源电路、能量传递控制电路、负高压输出电路和正高压输出电路,所述电源电路包括电感L1、电阻RF1、变压器T1、电容C3、电容C4和电容C5,所述能量传递控制电路包括电阻R3、三极管Q1、电阻R4、电容C9和二极管D4,所述负高压输出电路包括变压器T1、电容C1、电容C2、电阻R1和输出接口J1,所述正高压输出电路包括二极管D5、电容C8、电容C9、电阻R2和输出接口J2,所述电感L1的一端连接电阻RF1和电源端B+,电感L1的另一端连接电容C3,电容C3的另一端连接电容C5、电容C4和地,电阻RF1的另一端连接电容C5的另一端、电容C4的另一端和变压器T1的原边线圈,变压器T1的原边线圈的另一端连接二极管D4的阳极、电容C9和三极管Q1的集电极,电容C9的另一端连接三极管Q1的基极和电阻R3,三极管Q1的发射极通过电阻R4接地,电阻R3的另一端连接PWM控制信号,变压器T1的副边线圈连接电容C1和电容C8,电容C1的另一端连接电容C2、二极管D1的阴极、二极管D2的阳极,电容C2的另一端连接电阻R1和二极管D3的阳极,电阻R1的另一端连接输出接口J1,二极管D2的阴极连接电容C6和变压器T1的次级绕组的另一端并接地,二极管D1的阳极连接二级管D3的阴极和电容C6的另一端,电容C8的另一端连接电容C7、二极管D6的阴极、二极管D7的阳极,电容C7的另一端连接电阻R2和二极管D6的阴极,电阻R2的另一端连接输出接口J2,二极管D6的阳极连接电容C10并接地,二极管D6的阳极连接二级管D7的阴极和电容C10的另一端。
所述变压器T为高频变压器。电容C1、二极管D2、C6、二极管D1、电容C2和二极管D3构成3倍倍压电路。电容C8、二极管D5、电容C10、二极管D7、电容C7和二极管D6构成3倍倍压电路。
本实用新型的工作原理是:本实用新型采用的是他激的一种震荡方式,实现了频率可控占空比可控的特点。他激的震荡模块中电路的设计和变压器线圈互不干扰,都是独立运行的。即使变压器感量变化漏感都不会影响到震荡部分,从而解决了①的问题。
在电源端和变压器输入端串联一个小的电阻并在电阻的后端并联一个大电容,这样在开关管开的时候首先消耗的是电容上储存的能量,另外一部分是电源端通过电阻提供一部分电流,这样就大大减小了变压器震荡对电压的影响,当开关管截止的时候电源端在通过电阻给后端电容充电补充电能,周而复始从而解决②的问题。
具体电路如图1所示,图中1部分为电源电路,C3、L1、RF1、C5为高频变压器T1的原边线圈提供稳定的电源。C3、C4实现高频滤波,C5实现低频滤波,L1和RF1减小电路上电流dI/dt的变化量。
2部分为能量传递控制电路。D4、C9为吸收电路,防止因Q1截止时产生的尖峰电压损坏Q1。R3为限流电阻,R4为采样电阻。Q1为开关管,实现能量传递。
3部分为负高压输出电路。C1、D2、C6、D1、C2、D3构成3倍倍压电路,R1为限流电阻。
4部分为正高压输出电路。C8、D5、C10、D7、C7、D6构成3倍倍压电路,R2为限流电阻。
Claims (4)
1.一种等离子发生器电路,包括电源电路、能量传递控制电路、负高压输出电路和正高压输出电路,其特征在于,所述电源电路包括电感L1、电阻RF1、变压器T1、电容C3、电容C4和电容C5,所述能量传递控制电路包括电阻R3、三极管Q1、电阻R4、电容C9和二极管D4,所述负高压输出电路包括变压器T1、电容C1、电容C2、电阻R1和输出接口J1,所述正高压输出电路包括二极管D5、电容C8、电容C9、电阻R2和输出接口J2,所述电感L1的一端连接电阻RF1和电源端B+,电感L1的另一端连接电容C3,电容C3的另一端连接电容C5、电容C4和地,电阻RF1的另一端连接电容C5的另一端、电容C4的另一端和变压器T1的原边线圈,变压器T1的原边线圈的另一端连接二极管D4的阳极、电容C9和三极管Q1的集电极,电容C9的另一端连接三极管Q1的基极和电阻R3,三极管Q1的发射极通过电阻R4接地,电阻R3的另一端连接PWM控制信号,变压器T1的副边线圈连接电容C1和电容C8,电容C1的另一端连接电容C2、二极管D1的阴极、二极管D2的阳极,电容C2的另一端连接电阻R1和二极管D3的阳极,电阻R1的另一端连接输出接口J1,二极管D2的阴极连接电容C6和变压器T1的次级绕组的另一端并接地,二极管D1的阳极连接二级管D3的阴极和电容C6的另一端,电容C8的另一端连接电容C7、二极管D6的阴极、二极管D7的阳极,电容C7的另一端连接电阻R2和二极管D6的阴极,电阻R2的另一端连接输出接口J2,二极管D6的阳极连接电容C10并接地,二极管D6的阳极连接二级管D7的阴极和电容C10的另一端。
2.根据权利要求1所述的等离子发生器电路,其特征在于,所述变压器T为高频变压器。
3.根据权利要求1所述的等离子发生器电路,其特征在于,所述电容C1、二极管D2、C6、二极管D1、电容C2和二极管D3构成3倍倍压电路。
4.根据权利要求1所述的等离子发生器电路,其特征在于,所述电容C8、二极管D5、电容C10、二极管D7、电容C7和二极管D6构成3倍倍压电路。
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